本书系统全面地提供了关于近20种传感器的理论(物理原理)、设计和实际应用的知识体系。主要涵盖了数据获取、传递函数、传感器特性、感知的物理原理、传感器的光学元件及接口电路等基本原理, 以及人体探测器、位置与位移和水平传感器、速度和加速度传感器、力和力变传感器、压力传感器、流量传感器、声传感器、湿度传感器、光探测器、电离辐射 探测器、温度传感器、化学和生物传感器及传感器材料与技术等领域的技术与应用。结构层次分明, 内容翔实丰富, 希望能为广大读者的学习和研究带来帮助。 本书可供传感器领域的研发设计人员、应用工程师、技术人员, 以及对现代仪器感兴趣的研究人员使用, 也可供高等院校相关专业本科生及研究生参考。

光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

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本书为《中国石油高技能人才培训丛书》中的一本，分上、下两册。上册讲述了大型机组控制技术；执行器的结构．测试、安装、设计及故障分析；集散控制系统的配置、编程；可编程控制系统及其应用程序。下册讲述了现场总线控制系统的结构、特征；安全仪表系统的安全等级、应用程序；数据采集与监控系统及其应用；控制系统通信网络组成、特点及应用实例；先进控制技术的概念及工业应用；企业管理信息系统的组成、功能及应用。 本书主要用于仪表维修技师的培训，也可供工程技术人员参考。

纤维增强复合材料具有卓越的物理机械性能，在航空航天、高铁、汽车等工程领域得到广泛应用。《纤维增强复合材料结构无损检测和评价（英文版）》聚焦于纤维增强复合材料的缺陷检测、定位和评价。《纤维增强复合材料结构无损检测和评价（英文版）》主要介绍纤维增强复合材料的介绍和研究背景，纤维增强复合材料无损检测与评价导论，纤维增强复合材料的外观试验，纤维增强复合材料结构无损检测技术，纤维增强复合材料的红外热成像测试与评价，纤维增强复合材料太赫兹测试技术，声发射技术在纤维增强复合材料检测中的应用，纤维增强复合材料结构的其他无损检测方法，以及纤维增强复合材料无损检测的结论、发展现状与展望等内容。

本书对离心泵内部的流动机理、 受力振动、 机械磨损和设计方法进行了深入细致的讲解和阐述， 包括离心泵的水力设计、 设计工况与非设计工况的三维流动、 空化、 压力脉动、 振动与噪声等内部流动机理。 同时也涵盖了气液、 固液等离心泵内部极其复杂的多相流现象， 以及叶轮等关键水力部件的磨损、 侵蚀及材料选择等关键问题。本书共 １７ 章， 主要包括流体动力学原理、 离心泵的分类和性能参数、泵水力学和物理概念、 特性曲线、 部分载荷工况下三维流动现象对泵性能的影响、 吸入性能和空化、 水力部件设计、 数值流动计算、 液力、 振动与噪声、 离心泵的运行、 透平工况及特性、 介质对性能的影响、 高流速下材料的选择、 泵选型和质量控制、 泵的测试、 数据资料和其他文献及标准资料。 本书图文并茂、 深入浅出， 其中大量数据和图表都

随着MEMS技术的不断成熟和全面走向应用，MEMS芯片的量产问题变得越来越重要。显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行，但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同，这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺问题。本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构，进而实现硅基MEMS芯片的批量制造，系统介绍了硅基MEMS芯片制造技术。由于MEMS涉及学科较多，为了让不同学科背景的人能够快速读懂本书，本书先对MEMS的来龙去脉及MEMS出现的原因进行了简单介绍，然后详细介绍了相关内容，尽量做到通俗易懂。希望读者通过本书能全面了解硅基MEMS芯片制造技术，为从事与MEMS相关的工作打下基础。

《仪器仪表常用标准汇编 工业自动化与控制装置卷，工业控制机与计算机技术应用装置分册》 收入本套汇编的所有国家标准和行业标准都是现行的、有效的。由于标准的时效性，汇编所收的标准可能会被修订或重新制定，请读者使用时注意采用*的有效版本。 本汇编为《仪器仪表常用标准汇编 工业自动化与控制装置卷 工业控制机与计算机技术应用装置分册》，共收集工业控制机与计算机技术应用装置标准28项，其中国家标准9项，机械行业标准9项。 本汇编在使用时请读者注意以下几点： 1.鉴于收入标准出版年代不尽相同，对于其中的量和单位不统一之处及各标准格式不一致之处未做改动。 2.本汇编收集的标准的属性已在本目录上表明（强制性或推荐性），标准年号用四位数字表示。鉴于部分标准是在标准清理整顿前出版的，现尚未修订，故正文部

本书共9章，内容涵盖原子力显微镜的设备介绍、使用方法及其相关的应用研究领域，既包含了原子力显微镜技术的基本原理，又探讨了其应用在不同生物组织系统中的关键问题。 本书适合从事与原子力显微镜技术相关的如生物学、材料学、食品科学等领域的技术人员、科研人员及相关专业的师生阅读参考。

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