本书系统全面地提供了关于近20种传感器的理论(物理原理)、设计和实际应用的知识体系。主要涵盖了数据获取、传递函数、传感器特性、感知的物理原理、传感器的光学元件及接口电路等基本原理, 以及人体探测器、位置与位移和水平传感器、速度和加速度传感器、力和力变传感器、压力传感器、流量传感器、声传感器、湿度传感器、光探测器、电离辐射 探测器、温度传感器、化学和生物传感器及传感器材料与技术等领域的技术与应用。结构层次分明, 内容翔实丰富, 希望能为广大读者的学习和研究带来帮助。 本书可供传感器领域的研发设计人员、应用工程师、技术人员, 以及对现代仪器感兴趣的研究人员使用, 也可供高等院校相关专业本科生及研究生参考。
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
【新华书店旗舰店】 作者编辑常用标准及规范(第5版),中国标准出版社 作者 中国标准出版社 原价 ¥260.00 出版社 中国标准出版社 出版时间 2024-04-01
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
本书详细地介绍了超声无损检测技术的研究热点:导波检测技术、非线超声检测技术、分布式点源法(DPSM)和声源定位技术,并提供了相关典型案例及详解。全书共分5章。第1章介绍了超声波无损检测的基础理论 弹性波力学(线性分析);第2章介绍了弹性导波在无损检测中的分析和应用;第3章针对分布式点源法(DPSM)的原理,以及不同介质中的声场分析过程进行了介绍;第4章详细介绍了非线性超声无损检测技术的基本理论和应用实例;第5章对不同情况下的声源定位方法进行了介绍。
Chemical sensors are integral to the automation of a myriadindustrial processes, as well as everyday moni-toring of suchactivities as public safety, testing and monitoring, medicaltherapeutics, and many more.This massive reference work will coverall major categories of both the materials used for chemicalsensors and their applications. This is THE reference work onsensors used for chemical detection and analysis.
本书为《中国石油高技能人才培训丛书》中的一本,分上、下两册。上册讲述了大型机组控制技术;执行器的结构.测试、安装、设计及故障分析;集散控制系统的配置、编程;可编程控制系统及其应用程序。下册讲述了现场总线控制系统的结构、特征;安全仪表系统的安全等级、应用程序;数据采集与监控系统及其应用;控制系统通信网络组成、特点及应用实例;先进控制技术的概念及工业应用;企业管理信息系统的组成、功能及应用。 本书主要用于仪表维修技师的培训,也可供工程技术人员参考。
【新华书店旗舰店】 压力管道规范 工业管道 GB/T 20801.1~20801.6-2020,中国标准出版社 作者 中国标准出版社 原价 ¥280.00 出版社 中国标准出版社 出版时间 2018-01-01