光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。

本书介绍了32个典型的传感器技术设计案例，内容包含液化气检测报警电路设计、铂热电阻温度测量电路设计、大气压力测量电路设计、电流输出型温度传感器测量电路设计、电阻应变片压力电桥测量电路设计、房间湿度测量电路设计、霍尔转速计电路设计、酒精检测电路设计、空气质量检测电路设计、热电偶温度测量电路设计、位移测量电路设计、温差测量电路设计、温度测量电路设计、烟雾测量电路设计、阳光强度测量显示电路设计、液位测量显示电路设计、转速测量电路设计、振动检测电路设计、一氧化碳测量电路设计、加速度测量电路设计、小型称重电路设计、数字电容测量电路设计、位置检测电路设计、电阻测量电路设计、频率测量电路设计、红外测温电路设计、人体感应自动开关电路设计、红外线自动洗手控制电路设计、红外测距电路设计、基于单片

《机器人触觉传感器设计》对触觉传感器和触觉显示器的设计进行阐述，内容包括触觉传感器和触觉显示器设计中的基础知识、机器人三轴触觉传感器设计、VR触觉显示器设计，以及触觉传感器和触觉显示器应用实例等。《机器人触觉传感器设计》内容是笔者多年的研究成果，结合以往的经验，指出触觉传感器和触觉显示器的终研究方向。

全书共8章，内容包括引言、电位分析法、紫外-可见分光光度法、红外吸收光谱法、原子吸收光谱法、气相色谱法、高效液相色谱法、答疑与解惑(附答案)。介绍了常用仪器分析方法的基本原理、仪器结构和使用方法、应用范围、条件选择与优化、定性方法与定量方法。书中涉及的仪器既有生产实际中的常用仪器，也有具有较大应用潜力的新型仪器，内容新颖、实用。每种方法均安排有多个典型应用实例，分析项目涉及化学、化工、冶金、食品、医药、生物、环境监测等方面，同时编写了实用且具有启发性的选择题与问答题，并附有答案。本书还编写了不同仪器分析方法具有科学性、趣味性和前瞻性的阅读材料。书末附录1至附录4可供查阅常用数据，附录5常见分析化学术语汉英对照可为学习者提供参考。本书既可满足各行业化验员的学习和提高需求，也可作为职业技

本书主要介绍仪表工必须掌握的技能，包括标准仪器、通用仪表的使用，仪表电路图、机械图的识读，仪表修理，钳工操作，仪表技术信息的获取、科技写作方法以及仪表工职业道德修养等共23章内容。 为便于仪表工使用，本书除介绍仪表工要掌握的基本技能外，还用较大的篇幅介绍了仪表的调校方法、维修方法，PID参数整定方法等实用性强的技能，书中的一些图表可供现场操作时参考。 本书可供新上岗的仪表工自学使用，亦可供其他仪表工及仪表技术人员、自控仪表专业的师生使用，也可作为培训教材使用。

《中华人民共和国电力行业标准（DL/T 596—2021·代替DL/T 596-1996）：电力设备预防性试验规程》规定了运行中交流电力设备预防性试验的项目、周期、判据和方法等要求。《中华人民共和国

《供水仪表工》是根据国家建设部1996年颁布的城市供水行业《供水仪表工技能标准》的要求，结合供水行业的特点，坚持理论联系实际的原则，由专业人员集体编写而成。 本书共分四篇，包括仪表安装施工基本常识和基础、测量转换技术、水厂常用数据的测量、自动控制系统介绍和计算机基础知识等内容。本书对水厂自劝控制系统及其自动控制理论、常用参数等内容，特别是针对供水仪表工的实际工作需要做了更为详尽深入的描述，具有实践指导意义。 本书可作为各地区供水行业对供水仪表工初、中、高级工人进行职业技能培训的教材使用，也可供具有高中文化以下的城市供水行业职工自学和参考。

本书第二版与版相比有以下变化：（1）删除了版中常用仪表、控制装置的型号、规格和性能指标方面的内容；（2）对版做了一面更新和较大扩充，新编内容约占第二版的70%以上。《仪表常用数据手册》(第二版l共

本书的内容分为两个主要部分：（1） 光子在生物组织中传输的基本原理；（2） 光学成像。在靠前部分，我们首先简单介绍了生物医学光学，然后介绍了单个散射体的理论、光子传输的蒙特卡罗模拟、卷积求宽光束响应、辐射传输方程和扩散理论、混合蒙特卡罗方法和扩散理论以及光学参数和光谱的测量。在第二部分，我们介绍了弹道光成像、光学相干层析成像、扩散光学层析成像、光声层析成像、超声调制光学层析成像。本书可供生物医学光学相关专业作为教材使用，也可供相关研究人员参考使用。

《液压与气动技术（第4版）》是根据高等教育的要求而编写的。在编写理念上力求基础理论以应用为目的，以必需、够用为度，贯彻理论联系实际的原则，注重基本概念和原理的阐述，突出理论知识的应用，加强针对性和应用性，注重引入新技术。 《液压与气动技术（第4版）》共10章，主要内容包括：液压传动基础、常用液压元件的结构原理、液压基本回路、典型液压系统实例分析、液压系统的设计及气压传动等。每章后附有思考题与习题，便于学生巩固提高。全书配有大量的工业应用图例，有利于提高学生分析问题和解决问题的能力。 《液压与气动技术（第4版）》可作为高等院校机电一体化、模具、数控、自动化等专业的教材，也可作为相关专业人员和相关技术人员的参考用书。

《机械测量技术》共有七个项目，主要内容包括机械测量基础知识、尺寸公差及检测、角度公差及检测、形状公差及检测、方向与位置公差及检测、螺纹的检测以及表面粗糙度的检测等。根据项目知识点和技能点的要求，又分化成若干个任务，由零化整，逐渐深入，通过典型项目，以任务为驱动开展知识点和技能点的学习。 《机械测量技术》可作为高等院校机械制造、机电一体化、模具制造、数控技术等专业的专业基础课程的教材，也可作为相关人员的自学用书和参考书。

本书除介绍金属材料的制造过程，以及内部组织、性能、测试、检验、用途和材料的选择等知识外，还用了相当多的篇幅介绍了非金属材料、复合材料和新材料，并尽量以图作辅助说明。本书内容系统、全面、通俗，虽说是“入门”书籍，但也有相当多的知识面拓展和应用要点。本书宗旨是便于机械专业在校或毕业后新入职的大学生、职业院校学生系统、全面地学习，以便能对这方面的知识有一个更加全面的了解，更好地胜任自己的工作，同时本书也可供工程材料领域的管理人员、技师和工人参考。

本书在介绍了失效分析基本内容的基础上，全面系统地介绍了断裂失效、腐蚀失效和磨损失效的机理，并对各种失效提出了有针对性的预防对策。其中，断裂失效部分包括过载断裂、脆性断裂、蠕变断裂、低熔点金属致脆断裂、氢脆型断裂和疲劳断裂的失效机理分析和对策等，腐蚀失效部分包括均匀腐蚀、局部腐蚀、流动诱导腐蚀、应力腐蚀开裂和腐蚀疲劳的失效机理分析和对策等，磨损失效部分包括黏着磨损、磨粒磨损、腐蚀磨损、微动磨损、冲蚀和气蚀磨损、疲劳磨损的失效机理和对策等。本书将现代失效机理和传统的经典理论相结合，将各种失效机理模型化或公式化，用实际检测中拍摄到的图片印证失效机理，使失效分析工作有理、有据、有源，实用性和针对性强。 本书可供失效分析工作者阅读使用，也可作为企业质量管理人员、司法机构的技术人员

为加强上海市水利工程施工质量管理，统一施工质量验收标准，规范质量验收工作，特制定本标准。本标准适用于上海市中、小型水利工程施工质量验收。本标准主要内容包括：总则；术语；基本规定；地基与基础工程；河湖