本书系统全面地提供了关于近20种传感器的理论(物理原理)、设计和实际应用的知识体系。主要涵盖了数据获取、传递函数、传感器特性、感知的物理原理、传感器的光学元件及接口电路等基本原理, 以及人体探测器、位置与位移和水平传感器、速度和加速度传感器、力和力变传感器、压力传感器、流量传感器、声传感器、湿度传感器、光探测器、电离辐射 探测器、温度传感器、化学和生物传感器及传感器材料与技术等领域的技术与应用。结构层次分明, 内容翔实丰富, 希望能为广大读者的学习和研究带来帮助。 本书可供传感器领域的研发设计人员、应用工程师、技术人员, 以及对现代仪器感兴趣的研究人员使用, 也可供高等院校相关专业本科生及研究生参考。

光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

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本手册是一部自动控制原理和自动化仪表在实际工业生产过程中应用的工具书。 手册共分6篇32章，主要内容包括工业生产过程和自动控制系统基础知识；测量仪表和执行器；DCS、PLC、现场总线及工业计算机技术； 控制技术及企业综合自动化；工业生产过程自动控制应用示例，其中包括：化工、炼油、火力发电和钢铁生产等过程； 还介绍了仪表控制系统工程设计的基本知识。 本手册可供广大从事仪表和自动控制的工程技术人员使用，也可作为大专院校师生以及科技管理工作者的常用参考资料。

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衡器技术特别是现代电子称量技术，是物理、力学、机械加工技术、热处理技术、传感器技术、通信及电子计算机等多学科的综合技术结晶。为了快捷而深入地了解电子衡器及自动称量技术方面的相关知识，作者以词条的形式，依据 外相关标准术语和 外相关资料的 信息，汇编了《衡器与自动称量技术简明读本》。本书包括两方面的含义：一是反映了衡器由机械秤(杠杆秤）一机电结合秤一电子秤及自动称量系统的发展历程；二是反映了从物理、力学、机械、传感技术、信息传递及微机等先进技术在此领域内相互渗透带来的丰富硕果。全书共有词条4400余条，每个词条后都有汉英对照，英文名词取自国内外的相关术语、相关资料及产品样本等。本书可供从事衡器设计制造的研究人员、工程技术人员，从事质量计量测试、检定和操作的技术人员使用，还可供高等院校

齿轮的设计是一项涉及多学科的综合技术，本书作为机构设计与应用创新丛书之一，只从实现某种运动的机构设计的角度，对齿轮机构设计与应用的一些基本问题予以介绍。本书除了介绍一般的圆柱齿轮、锥齿轮和蜗杆传动外，还介绍了一些特殊形状的齿轮，如偏心齿轮、变齿厚齿轮、非圆齿轮和准椭球齿轮等。对于每种形状的齿轮，首先介绍其一对齿轮的设计方法，然后再介绍以其组成的齿轮机构，其中又主要介绍这种齿轮组成的行星机构的设计与应用，实用性非常强。. 本书适于从事齿轮机构设计与应用的技术人员使用，也可作为大专院校相关专业的教材及参考书。