《等离子体技术与应用实验教程》内容涵盖等离子体技术典型应用和等离子体技术领域进展,把等离子体技术的理论知识与实践教学有机结合起来,设计实验教学体系并配套搭建等离子体技术实验教学平台,培养学生从事科研工作的兴趣,提高学生的创新意识和能力。全书分为部分,部分为等离子体基本原理实验,第二部分为等离子体在材料工程中的应用,第三部分为等离子体在微电子中的应用,第四部分为等离子体在环境工程中的应用。本书可作为理工科院校材料、物理、化学、环境等相关专业本科生、研究生的实验,也可供从事等离子体技术应用的工程技术人员使用和参考。
针对微电子工业中的材料处理工艺(如半导体芯片加工),介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性,涉及目前很重要的三种射频等离子体源(单频及多频电容耦合,电感耦合,螺旋波耦合)及其关联性。书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备等领域应用的很新进展及相关技术问题。作者在书中精心设计了超过100道习题,有利于读者深入了解掌握所涉及的基本概念。
本书是讨论非线性波的动力学的一本专著,全书约30万字,共分10章。章是引言.第二章讨论了线性波和非线性波的一些基本概念.第三章介绍了从流体和等离子体实际系统中导出的几个非线性波动方程,书中用于分析非线性波的动力学的主要模型就是在其中一些方程基础上建立的.第四章和第五章分别扼要地介绍了哈密顿系统和耗散系统的非线性动力学,它们是本书用于分析非线性波的动力学的理论基础.第六章讨论了波一波相互作用系统,第七章及以后各章讨论了依赖于空间变量的非线性演化方程的动力学,在这几章中通过实例分析了定态波失稳并逐步发展为弱湍和强湍的途径,以及在不同状态下非线性波动系统的动力学现象和规律。本书注重理论联系实际,内容深入浅出,图文并茂。
本书全面、系统地介绍了高荷电离子物理学,内容包括实验室高温等离子体与天体物理等离子体中高荷电离子状态下出现的主要的X射线辐射和基本的原子过程。作者强调对高荷电离子物理学的物理理解,避免多余的数学推导,使本书更便于从事原子物理与等离子体物理、天体物理、激光物理与光谱学等领域的科技工作者的理解。