光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。

《机器人触觉传感器设计》对触觉传感器和触觉显示器的设计进行阐述，内容包括触觉传感器和触觉显示器设计中的基础知识、机器人三轴触觉传感器设计、VR触觉显示器设计，以及触觉传感器和触觉显示器应用实例等。《机器人触觉传感器设计》内容是笔者多年的研究成果，结合以往的经验，指出触觉传感器和触觉显示器的终研究方向。

全书共8章，内容包括引言、电位分析法、紫外-可见分光光度法、红外吸收光谱法、原子吸收光谱法、气相色谱法、高效液相色谱法、答疑与解惑(附答案)。介绍了常用仪器分析方法的基本原理、仪器结构和使用方法、应用范围、条件选择与优化、定性方法与定量方法。书中涉及的仪器既有生产实际中的常用仪器，也有具有较大应用潜力的新型仪器，内容新颖、实用。每种方法均安排有多个典型应用实例，分析项目涉及化学、化工、冶金、食品、医药、生物、环境监测等方面，同时编写了实用且具有启发性的选择题与问答题，并附有答案。本书还编写了不同仪器分析方法具有科学性、趣味性和前瞻性的阅读材料。书末附录1至附录4可供查阅常用数据，附录5常见分析化学术语汉英对照可为学习者提供参考。本书既可满足各行业化验员的学习和提高需求，也可作为职业技

本书介绍了32个典型的传感器技术设计案例，内容包含液化气检测报警电路设计、铂热电阻温度测量电路设计、大气压力测量电路设计、电流输出型温度传感器测量电路设计、电阻应变片压力电桥测量电路设计、房间湿度测量电路设计、霍尔转速计电路设计、酒精检测电路设计、空气质量检测电路设计、热电偶温度测量电路设计、位移测量电路设计、温差测量电路设计、温度测量电路设计、烟雾测量电路设计、阳光强度测量显示电路设计、液位测量显示电路设计、转速测量电路设计、振动检测电路设计、一氧化碳测量电路设计、加速度测量电路设计、小型称重电路设计、数字电容测量电路设计、位置检测电路设计、电阻测量电路设计、频率测量电路设计、红外测温电路设计、人体感应自动开关电路设计、红外线自动洗手控制电路设计、红外测距电路设计、基于单片

本书是按照试题形式编写的控制仪表培训教材和参考工具书。本书从基础知识入手，由浅入深并简明扼要地介绍了常用控制系统、通信和过程控制原理等，内容连贯，系统性、实用性和可操作性强。 本书共分为6章，包括可编程控制器（PLC）、集散控制系统（DCS）、安全仪表系统（SIS）、其他控制系统、数据通信与网络、过程控制原理，共精选编录了938道试题，并附有缩略词。各章节安排紧凑，着重对操作步骤、实际应用和操作进行讲解，在语言上力求简洁，通俗易懂。书中部分章节采用提示和注释说明帮助理解，期望解决理论和实际脱节、理论分析枯燥乏味等问题，有利于读者提高控制系统相关的分析问题和解决问题的能力。本书适合仪表工培训、考试和实操维护使用，也可供从事仪表相关工作的工程技术人员和院校师生参考。

本书是全国大学生电子设计竞赛培训教程第5分册，是针对全国大学生电子设计竞赛的特点和需求编写的。全书共7章，内容包括：时频测量仪设计、电气参数测量仪、时域测量仪、元件参数测量仪、频域测量仪、数据域测量仪和其他测量仪的工作原理、设计基础、设计方法及大量设计举例。本书内容丰富实用、叙述条理清晰、工程性强，可作为高等学校电子信息类、自动化类、电气类、计算机类专业的大学生参加全国及省级电子设计竞赛、课程设计与制作、毕业设计的参考书，以及电子工程各类技术人员的参考书。

《射线数字检测技术》内容包括概述、辐射探测器与其他器件、数字射线检测基本理论、数字射线检测基本技术、工业常用数字射线检测系统、等价性问题、实验及附录。经过本次修订，本书在内容上构成了一个基本完整的数字射线检测技术知识系统，形成了比较清楚的Ⅱ级人员与Ⅲ级人员要求的区分界定。

本书主要介绍了仪表维修常用仪器及工具的使用、自动化装置故障诊断方法、压力测量仪表、物位测量仪表、流量测量仪表、温度测量仪表、在线分析仪表、调节阀、安全栅等辅助单元仪表、控制系统、DCS、PLC与ESD、旋转机械状态监测系统等的维护、常见故障与处理及故障实例分析。本书可作为仪表维修人员的参考用书，也适合职业院校自动化仪表专业学生职业技能训练参考。