光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。

本书介绍了32个典型的传感器技术设计案例，内容包含液化气检测报警电路设计、铂热电阻温度测量电路设计、大气压力测量电路设计、电流输出型温度传感器测量电路设计、电阻应变片压力电桥测量电路设计、房间湿度测量电路设计、霍尔转速计电路设计、酒精检测电路设计、空气质量检测电路设计、热电偶温度测量电路设计、位移测量电路设计、温差测量电路设计、温度测量电路设计、烟雾测量电路设计、阳光强度测量显示电路设计、液位测量显示电路设计、转速测量电路设计、振动检测电路设计、一氧化碳测量电路设计、加速度测量电路设计、小型称重电路设计、数字电容测量电路设计、位置检测电路设计、电阻测量电路设计、频率测量电路设计、红外测温电路设计、人体感应自动开关电路设计、红外线自动洗手控制电路设计、红外测距电路设计、基于单片

《机器人触觉传感器设计》对触觉传感器和触觉显示器的设计进行阐述，内容包括触觉传感器和触觉显示器设计中的基础知识、机器人三轴触觉传感器设计、VR触觉显示器设计，以及触觉传感器和触觉显示器应用实例等。《机器人触觉传感器设计》内容是笔者多年的研究成果，结合以往的经验，指出触觉传感器和触觉显示器的终研究方向。

全书共8章，内容包括引言、电位分析法、紫外-可见分光光度法、红外吸收光谱法、原子吸收光谱法、气相色谱法、高效液相色谱法、答疑与解惑(附答案)。介绍了常用仪器分析方法的基本原理、仪器结构和使用方法、应用范围、条件选择与优化、定性方法与定量方法。书中涉及的仪器既有生产实际中的常用仪器，也有具有较大应用潜力的新型仪器，内容新颖、实用。每种方法均安排有多个典型应用实例，分析项目涉及化学、化工、冶金、食品、医药、生物、环境监测等方面，同时编写了实用且具有启发性的选择题与问答题，并附有答案。本书还编写了不同仪器分析方法具有科学性、趣味性和前瞻性的阅读材料。书末附录1至附录4可供查阅常用数据，附录5常见分析化学术语汉英对照可为学习者提供参考。本书既可满足各行业化验员的学习和提高需求，也可作为职业技

本书主要介绍仪表工必须掌握的技能，包括标准仪器、通用仪表的使用，仪表电路图、机械图的识读，仪表修理，钳工操作，仪表技术信息的获取、科技写作方法以及仪表工职业道德修养等共23章内容。 为便于仪表工使用，本书除介绍仪表工要掌握的基本技能外，还用较大的篇幅介绍了仪表的调校方法、维修方法，PID参数整定方法等实用性强的技能，书中的一些图表可供现场操作时参考。 本书可供新上岗的仪表工自学使用，亦可供其他仪表工及仪表技术人员、自控仪表专业的师生使用，也可作为培训教材使用。

本书从用户的角度出发，介绍如何根据具体的要求、具体的工 况、使用环境等，对流量测量仪表进行合理选型、合理安装、正确调试和维护，同时也介绍了流量测量仪表的数字通信与流量数据采集监控系统。 本书除了介绍蒸汽、空气、煤气、天然气、水、油品等典型流 体的流量测量外，还对测量难度较高的微小流量、大流量、腐蚀性介质流量、多相流流量、热量（冷量）的测量以及流量批量控制进行了详细讨论。 本书可供设计单位、工程公司、企业仪表车间、计量部门从事仪表设计、使用、安装、维修、调试的人员参考，并非常适合作为培训班的。

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本书在介绍了失效分析基本内容的基础上，全面系统地介绍了断裂失效、腐蚀失效和磨损失效的机理，并对各种失效提出了有针对性的预防对策。其中，断裂失效部分包括过载断裂、脆性断裂、蠕变断裂、低熔点金属致脆断裂、氢脆型断裂和疲劳断裂的失效机理分析和对策等，腐蚀失效部分包括均匀腐蚀、局部腐蚀、流动诱导腐蚀、应力腐蚀开裂和腐蚀疲劳的失效机理分析和对策等，磨损失效部分包括黏着磨损、磨粒磨损、腐蚀磨损、微动磨损、冲蚀和气蚀磨损、疲劳磨损的失效机理和对策等。本书将现代失效机理和传统的经典理论相结合，将各种失效机理模型化或公式化，用实际检测中拍摄到的图片印证失效机理，使失效分析工作有理、有据、有源，实用性和针对性强。 本书可供失效分析工作者阅读使用，也可作为企业质量管理人员、司法机构的技术人员

本书介绍了万用表使用的基础知识、基本特点、性能参数、工作原理、使用方法和注意事项，重点介绍使用指针型万用表、数字型万用表、汽车专用万用表检测判断基本元器件、家用电器、手机、电脑维修以及低压电器中元器件的方法和参数指标。 本书可供电工、家电维修人员等人员学习和参考。

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为做好GB/T 786《流体传动系统及元件图形符号和回路图》（所有部分） 标准新版本的宣传贯彻工作，使科研技术和管理人员尽快熟悉、掌握和熟练运用该标准，作者结合行业专家、企业用户的意见与建议，重点解读相关标准规定的各条目，根据 读者阅读习惯重新汇编了标准中相关要素的顺序，并融入了大量实例，梳理了标准使用过程中可能遇到的问题、出现的错误，*终编写完成本书。本书在编写过程中，力求兼顾理论性、系统性和可操作性，作者基于Visio软件制作了全套标准中各图形符号的电子模板库，以便读者使用。 本书适合液压气动应用领域的科研院所、生产企业和销售机构等单位的技术人员使用，也可作为高校、研究所流体传动与控制专业专科生、本科生及研究生的参考教材，对本专业书刊编写、审校和绘图人员也具有很高的参考价值。