光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
纤维增强复合材料具有卓越的物理机械性能,在航空航天、高铁、汽车等工程领域得到广泛应用。《纤维增强复合材料结构无损检测和评价(英文版)》聚焦于纤维增强复合材料的缺陷检测、定位和评价。《纤维增强复合材料结构无损检测和评价(英文版)》主要介绍纤维增强复合材料的介绍和研究背景,纤维增强复合材料无损检测与评价导论,纤维增强复合材料的外观试验,纤维增强复合材料结构无损检测技术,纤维增强复合材料的红外热成像测试与评价,纤维增强复合材料太赫兹测试技术,声发射技术在纤维增强复合材料检测中的应用,纤维增强复合材料结构的其他无损检测方法,以及纤维增强复合材料无损检测的结论、发展现状与展望等内容。
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
《在线分析仪器手册》是“十一五”国家重点图书。本书是一部在线分析仪器及在线分析系统方面的工具书,由多位具有丰富实践经验的专家历经数年时间精心编写而成。 全书主要介绍各种在线分析仪表的原理、构成、选型、安装、使用、维护和校准;取样和样品处理技术,样品系统的设计和计算;在线分析仪系统的安装施工,工程文件和图纸的编制。 本书可供石化、化工、炼油、冶金、轻工等流程工业和环保行业在线分析仪器使用维护、工程设计和安装施工人员参考。
本书分为气体性质、结构特点、选型使用、安装运行、维修维护以及综合技术,共6章。 书中以问答的形式分别讲述“涉及风机技术”的气体性质(包括基本名词术语和概念),结构特点(包括风机归属机械的类别、与风机相关的定义、设计计算方法);针对不同风机产品阐述了各自的选型使用基本原则和指导意见;分别对不同风机产品说明了安装、找正、调试、运行等基本要领和安全运行的经验。根据风机制造企业和使用单位总结的经验教训,列举了维修维护的具体措施和主要方法、注意事项及风机专业现行的技术标准目录。 本书可供风机行业专业技术人员、供销人员及相关行业风机配套选用人员参考使用。
为了进一步提高地质调查工作的水平,推进地质调查工作现代化,加大新技术新仪器推广应用,本次系统收集中国地质调查局属单位研制的新技术新装备,涵盖了地球物理、遥感、钻探、分析测试、地质信息、海洋地质、水文地
本书介绍了齿轮箱轴承选型与维护中的相关技术。书中内容从常见的齿轮箱与齿轮箱相关轴承基本性能入手,介绍了齿轮箱轴承的选型原则、齿轮箱轴承的配置、齿轮箱轴承的选型计算、齿轮箱轴承的润滑等在齿轮箱设计过程中
本手册不但全面、系统地介绍了液压缸设计常用标准、公式和资料,还根据相关标准及作者实践经验的总结,给出了液压缸及缸零件的技术要求、液压缸的设计与制造禁忌、液压缸的试验方法,以及经过实机检验(或实证性试验)的大量液压缸产品图样,而且进一步通过研究及工程试验(含部分验证与复检),筛选出了具有实用价值或工程应用前景的液压缸设计与(再)制造新技术等。 本手册具有内容新颖、信息量大、取材广泛、规格齐全、实用性强、数据可靠、使用方便等特点。 本手册可供从事液压缸及液压机械、设备或装置的选型、设计、工艺、加工、装配、试验、验收、现场维护及保养、再制造及产品营销的人员使用,也可供高等院校相关专业的师生参考。
本书系统全面地提供了关于近20种传感器的理论(物理原理)、设计和实际应用的知识体系。主要涵盖了数据获取、传递函数、传感器特性、感知的物理原理、传感器的光学元件及接口电路等基本原理, 以及人体探测器、位置与位移和水平传感器、速度和加速度传感器、力和力变传感器、压力传感器、流量传感器、声传感器、湿度传感器、光探测器、电离辐射探测器、温度传感器、化学和生物传感器及传感器材料与技术等领域的技术与应用。结构层次分明, 内容翔实丰富, 希望能为广大读者的学习和研究带来帮助。 本书可供传感器领域的研发设计人员、应用工程师、技术人员, 以及对现代仪器感兴趣的研究人员使用, 也可供高等院校相关专业本科生及研究生参考。
武兵书主编的《中国战略性新兴产业研究与发展(模具)》系统研究了 、 模具产业链的现状和发展趋势,从战略角度为我国模具产业创新驱动发展提供了有价值和可操作性的指导建议。全书共9章正文和3个附录:第1章深入分析了模具的作用及其战略地位;第2~4章全面分析了 、 模具产业的发展历程和发展现状;第5章较系统地分析了我国模具产业的发展环境和面临的形势;第6章对我国模具产业的发展思路、发展战略和发展目标提出了具体指导性意见;第7章提出了我国模具产业未来5~8年重点发展的领域,介绍了我国模具行业进行的一部分共性技术、专项技术的研发情况和取得的进展;第8章提出了我国模具产业创新驱动发展的措施;第9章对我国模具产业的发展风险做了初步分析,并对促进我国模具产业的健康发展提出了政策建议;附录部分提供了模具行业相关
本书对离心泵内部的流动机理、 受力振动、 机械磨损和设计方法进行了深入细致的讲解和阐述, 包括离心泵的水力设计、 设计工况与非设计工况的三维流动、 空化、 压力脉动、 振动与噪声等内部流动机理。 同时也涵盖了气液、 固液等离心泵内部极其复杂的多相流现象, 以及叶轮等关键水力部件的磨损、 侵蚀及材料选择等关键问题。本书共 17 章, 主要包括流体动力学原理、 离心泵的分类和性能参数、泵水力学和物理概念、 特性曲线、 部分载荷工况下三维流动现象对泵性能的影响、 吸入性能和空化、 水力部件设计、 数值流动计算、 液力、 振动与噪声、 离心泵的运行、 透平工况及特性、 介质对性能的影响、 高流速下材料的选择、 泵选型和质量控制、 泵的测试、 数据资料和其他文献及标准资料。 本书图文并茂、 深入浅出, 其中大量数据和图表都
本书从温度测量实际出发,全面系统地介绍了温度计量与测试的基本原理与实用测温技术。全书内容包括:温度与温标的基础知识及测温技术的新进展,膨胀式温度计、电阻温度计、热电温度计及辐射温度计的工作原理、结构、特性、选择与应用,光纤温度传感器等新型温度传感器,测温防爆技术,热电偶保护管所用材料的分类、特性及应用,温度量值传递、测温系统在线原位校准与标准化,固体内部与表面、气体、高温熔体、核电站、芯片与半导体以及航空航天、冶金、石油化工等领域的实用测温技术与应用。本书内容全面、新颖,紧密联系实际,反映了 外有关测温的新理论、新动向,具有很强的系统性、科学性、实用性。 本书可供从事热工计量测试的工程技术人员、科研工作者参考,也可作为高等院校相关专业师生的教学用书或参考书。
本手册是一本关于机械工程常用材料的工具书。本手册以机械工程设计及制造选用材料为出发点,以实用、科学、 为编写原则,收集了用于装配工业设计制造的各种材料(包括钢铁材料、有色金属材料、粉末冶金材料、工程用塑料及塑料制品、橡胶及橡胶制品陶瓷材料及其他机械工程用材料)的品种、牌号、规格和技术性能,并以实际生产经验为基础,介绍了各种材料的性能特点、使用条件、使用范围和用途,所选用大多数材料的技术资料均符合现行 标准和行业标准。某些尚未列入 标准和行业标准的新材料品种,其技术资料均取自企业的产品标准。 本手册可供机械装备、冶金工程、矿山工程、交通、化工、石油、仪器仪表等工业领域的设计、工艺人员以及产品购销人员使用,也可作为高等工科院校和职业技术学校相关专业师生 的工具书。
衡器技术特别是现代电子称量技术,是物理、力学、机械加工技术、热处理技术、传感器技术、通信及电子计算机等多学科的综合技术结晶。为了快捷而深入地了解电子衡器及自动称量技术方面的相关知识,作者以词条的形式,依据 外相关标准术语和 外相关资料的 信息,汇编了《衡器与自动称量技术简明读本》。本书包括两方面的含义:一是反映了衡器由机械秤(杠杆秤)一机电结合秤一电子秤及自动称量系统的发展历程;二是反映了从物理、力学、机械、传感技术、信息传递及微机等先进技术在此领域内相互渗透带来的丰富硕果。全书共有词条4400余条,每个词条后都有汉英对照,英文名词取自国内外的相关术语、相关资料及产品样本等。本书可供从事衡器设计制造的研究人员、工程技术人员,从事质量计量测试、检定和操作的技术人员使用,还可供高等院校
本书系统全面地提供了关于近20种传感器的理论(物理原理)、设计和实际应用的知识体系。主要涵盖了数据获取、传递函数、传感器特性、感知的物理原理、传感器的光学元件及接口电路等基本原理, 以及人体探测器、位置与位移和水平传感器、速度和加速度传感器、力和力变传感器、压力传感器、流量传感器、声传感器、湿度传感器、光探测器、电离辐射探测器、温度传感器、化学和生物传感器及传感器材料与技术等领域的技术与应用。结构层次分明, 内容翔实丰富, 希望能为广大读者的学习和研究带来帮助。 本书可供传感器领域的研发设计人员、应用工程师、技术人员, 以及对现代仪器感兴趣的研究人员使用, 也可供高等院校相关专业本科生及研究生参考。