光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。

《机器人触觉传感器设计》对触觉传感器和触觉显示器的设计进行阐述，内容包括触觉传感器和触觉显示器设计中的基础知识、机器人三轴触觉传感器设计、VR触觉显示器设计，以及触觉传感器和触觉显示器应用实例等。《机器人触觉传感器设计》内容是笔者多年的研究成果，结合以往的经验，指出触觉传感器和触觉显示器的终研究方向。

全书共8章，内容包括引言、电位分析法、紫外-可见分光光度法、红外吸收光谱法、原子吸收光谱法、气相色谱法、高效液相色谱法、答疑与解惑(附答案)。介绍了常用仪器分析方法的基本原理、仪器结构和使用方法、应用范围、条件选择与优化、定性方法与定量方法。书中涉及的仪器既有生产实际中的常用仪器，也有具有较大应用潜力的新型仪器，内容新颖、实用。每种方法均安排有多个典型应用实例，分析项目涉及化学、化工、冶金、食品、医药、生物、环境监测等方面，同时编写了实用且具有启发性的选择题与问答题，并附有答案。本书还编写了不同仪器分析方法具有科学性、趣味性和前瞻性的阅读材料。书末附录1至附录4可供查阅常用数据，附录5常见分析化学术语汉英对照可为学习者提供参考。本书既可满足各行业化验员的学习和提高需求，也可作为职业技

本书介绍了32个典型的传感器技术设计案例，内容包含液化气检测报警电路设计、铂热电阻温度测量电路设计、大气压力测量电路设计、电流输出型温度传感器测量电路设计、电阻应变片压力电桥测量电路设计、房间湿度测量电路设计、霍尔转速计电路设计、酒精检测电路设计、空气质量检测电路设计、热电偶温度测量电路设计、位移测量电路设计、温差测量电路设计、温度测量电路设计、烟雾测量电路设计、阳光强度测量显示电路设计、液位测量显示电路设计、转速测量电路设计、振动检测电路设计、一氧化碳测量电路设计、加速度测量电路设计、小型称重电路设计、数字电容测量电路设计、位置检测电路设计、电阻测量电路设计、频率测量电路设计、红外测温电路设计、人体感应自动开关电路设计、红外线自动洗手控制电路设计、红外测距电路设计、基于单片

本书是按照试题形式编写的控制仪表培训教材和参考工具书。本书从基础知识入手，由浅入深并简明扼要地介绍了常用控制系统、通信和过程控制原理等，内容连贯，系统性、实用性和可操作性强。 本书共分为6章，包括可编程控制器（PLC）、集散控制系统（DCS）、安全仪表系统（SIS）、其他控制系统、数据通信与网络、过程控制原理，共精选编录了938道试题，并附有缩略词。各章节安排紧凑，着重对操作步骤、实际应用和操作进行讲解，在语言上力求简洁，通俗易懂。书中部分章节采用提示和注释说明帮助理解，期望解决理论和实际脱节、理论分析枯燥乏味等问题，有利于读者提高控制系统相关的分析问题和解决问题的能力。本书适合仪表工培训、考试和实操维护使用，也可供从事仪表相关工作的工程技术人员和院校师生参考。

本书是全国大学生电子设计竞赛培训教程第5分册，是针对全国大学生电子设计竞赛的特点和需求编写的。全书共7章，内容包括：时频测量仪设计、电气参数测量仪、时域测量仪、元件参数测量仪、频域测量仪、数据域测量仪和其他测量仪的工作原理、设计基础、设计方法及大量设计举例。本书内容丰富实用、叙述条理清晰、工程性强，可作为高等学校电子信息类、自动化类、电气类、计算机类专业的大学生参加全国及省级电子设计竞赛、课程设计与制作、毕业设计的参考书，以及电子工程各类技术人员的参考书。

《射线数字检测技术》内容包括概述、辐射探测器与其他器件、数字射线检测基本理论、数字射线检测基本技术、工业常用数字射线检测系统、等价性问题、实验及附录。经过本次修订，本书在内容上构成了一个基本完整的数字射线检测技术知识系统，形成了比较清楚的Ⅱ级人员与Ⅲ级人员要求的区分界定。

《振动与噪声前沿理论及应用/研究生创新教育系列教材》主要是为工科研究生和专业人员提供振动与噪声控制领域的前沿理论及应用的相关研究成果，为读者提供该领域全新的理论研究方法及其对工程应用的指导作用。《振动与噪声前沿理论及应用/研究生创新教育系列教材》的创新独到之处是将振动与噪声物理层次上的基础理论和工程应用充分结合在一起，从而能够从这些深入的基础理论中找寻分析和解决实际工程问题的技巧和方法。书中内容都是作者及作者研究团队近几年来的研究成果，其中第1章介绍了应用湍流统计理论分析非阻塞振动颗粒流的运动状态及耗能特性，第2章介绍了应用湍流类比理论定量分析多孔金属材料吸声特性，第3章介绍了声子晶体局域共振带隙理论及其在低频减振降噪中的应用，第4章介绍了电晕噪声产生机理及理论模型。 《振动与噪

本书紧跟国家发展战略的步伐，首先介绍了机械装备设计的基本知识，包括概念、研究现状、发展趋势及应用动态等；其次详细讲解了金属切削机床设计、典型部件设计、机床夹具设计的相关内容；然后结合机器人和生产物流系统的发展现状，介绍了机器人机构及应用和生产物流系统设计；最后融入了前沿的机械加工自动化生产线总体设计的内容。 本书可作为高等院校机械类、近机械类各专业的教学用书，也可作为机械类相关专业的工程技术人员的参考用书，同时也可作为各种层次的继续工程教育的培训教材。

本书汇集了高端装备、智能终端及信息技术、数控机床与机器人、航空航天装备、节能与新能源汽车、节能环保与新能源装备、治金新型材料现代化工材料、新型绿色建材、生物医药、现代家居、轻纺、造纸印刷冷链与休闲食品 14 个领域 31 家企业成功实现智能制造项目的真实案例详细介绍了智能制造项目实施的解决方案，包括项目规划、框架搭建、技术路线、多种系统与平台的建设、数字化产品设计、数字化工艺规划、智能化生产制造等丰富内容，对智能制造的实施与推广起到了示范作用。 本书可供企事业单位建设智能制造项目借鉴，也可作为政府部门制定智能制造建设规划的参考，还可供高校相关专业师生学习。