光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。

《机器人触觉传感器设计》对触觉传感器和触觉显示器的设计进行阐述，内容包括触觉传感器和触觉显示器设计中的基础知识、机器人三轴触觉传感器设计、VR触觉显示器设计，以及触觉传感器和触觉显示器应用实例等。《机器人触觉传感器设计》内容是笔者多年的研究成果，结合以往的经验，指出触觉传感器和触觉显示器的终研究方向。

全书共8章，内容包括引言、电位分析法、紫外-可见分光光度法、红外吸收光谱法、原子吸收光谱法、气相色谱法、高效液相色谱法、答疑与解惑(附答案)。介绍了常用仪器分析方法的基本原理、仪器结构和使用方法、应用范围、条件选择与优化、定性方法与定量方法。书中涉及的仪器既有生产实际中的常用仪器，也有具有较大应用潜力的新型仪器，内容新颖、实用。每种方法均安排有多个典型应用实例，分析项目涉及化学、化工、冶金、食品、医药、生物、环境监测等方面，同时编写了实用且具有启发性的选择题与问答题，并附有答案。本书还编写了不同仪器分析方法具有科学性、趣味性和前瞻性的阅读材料。书末附录1至附录4可供查阅常用数据，附录5常见分析化学术语汉英对照可为学习者提供参考。本书既可满足各行业化验员的学习和提高需求，也可作为职业技

本书介绍了32个典型的传感器技术设计案例，内容包含液化气检测报警电路设计、铂热电阻温度测量电路设计、大气压力测量电路设计、电流输出型温度传感器测量电路设计、电阻应变片压力电桥测量电路设计、房间湿度测量电路设计、霍尔转速计电路设计、酒精检测电路设计、空气质量检测电路设计、热电偶温度测量电路设计、位移测量电路设计、温差测量电路设计、温度测量电路设计、烟雾测量电路设计、阳光强度测量显示电路设计、液位测量显示电路设计、转速测量电路设计、振动检测电路设计、一氧化碳测量电路设计、加速度测量电路设计、小型称重电路设计、数字电容测量电路设计、位置检测电路设计、电阻测量电路设计、频率测量电路设计、红外测温电路设计、人体感应自动开关电路设计、红外线自动洗手控制电路设计、红外测距电路设计、基于单片

本书是按照试题形式编写的控制仪表培训教材和参考工具书。本书从基础知识入手，由浅入深并简明扼要地介绍了常用控制系统、通信和过程控制原理等，内容连贯，系统性、实用性和可操作性强。 本书共分为6章，包括可编程控制器（PLC）、集散控制系统（DCS）、安全仪表系统（SIS）、其他控制系统、数据通信与网络、过程控制原理，共精选编录了938道试题，并附有缩略词。各章节安排紧凑，着重对操作步骤、实际应用和操作进行讲解，在语言上力求简洁，通俗易懂。书中部分章节采用提示和注释说明帮助理解，期望解决理论和实际脱节、理论分析枯燥乏味等问题，有利于读者提高控制系统相关的分析问题和解决问题的能力。本书适合仪表工培训、考试和实操维护使用，也可供从事仪表相关工作的工程技术人员和院校师生参考。

本书是《分析仪器使用与维护丛书》的分册。 本书介绍了紫外可见分光光度计分析测量的基本原理和结构，深入讨论了紫外可见分光光度计的主要技术指标及其测试方法；用较多篇幅，从实际应用的角度，全面、详细地介绍了如何评价或如何挑选紫外可见分光光度计仪器、如何选择分析测试条件、影响分析测试准确度的主要因素、分析测试误差的估算方法，以及对仪器的保养、维修等有关问题。 本书通俗易懂，适用性强，可供科研院所、大专院校、工矿企业中从事紫外可见分光光度计分析测试工作的广大科技工作者阅读。

本书是全国大学生电子设计竞赛培训教程第5分册，是针对全国大学生电子设计竞赛的特点和需求编写的。全书共7章，内容包括：时频测量仪设计、电气参数测量仪、时域测量仪、元件参数测量仪、频域测量仪、数据域测量仪和其他测量仪的工作原理、设计基础、设计方法及大量设计举例。本书内容丰富实用、叙述条理清晰、工程性强，可作为高等学校电子信息类、自动化类、电气类、计算机类专业的大学生参加全国及省级电子设计竞赛、课程设计与制作、毕业设计的参考书，以及电子工程各类技术人员的参考书。

离子色谱法作为一种经典的色谱分离技术，具有快速方便、选择性好、灵敏度高、多组分同时分析的特点。自二十世纪70年代离子色谱仪问世以来，很快成为水溶液中阴、阳离子的重要分离检测工具，在环境监测、食品安全、生命科学等领域得到了广泛应用。我国离子色谱仪的产品化，是全国仪器仪表行业专家智慧的结晶。为了回顾和记录产学研用各界专家对离子色谱发展的贡献，《我国离子色谱仪发展30年回顾》以我国离子色谱仪及其关键部件的研制进程为主线，将1983年以来三十多年的发展情况按艰难起步、万众创新和蓬勃发展阶段进行了分段整理和编辑，并对中国离子色谱领域发展进行了展望，同时对三十年来我国离子色谱技术的部分发展史料进行了汇编。

本书对机械系统可靠性维修及决策模型作了较全面、详细的论述，重点突出工程 应用。主要内容有机械系统故障的概念及其故障分析方法，机械系统可靠性维修，机械系统预防性维修周期决策与维修策略，机械系统维修分配和维修预测。 本书对工程技术人员和从事机械工程及其相关专业的教师、研究生和学生均有较大的参考价值 。

《机械设计零件与实用装置图册》是极具典型性和启发性的一本图册，经过数十年搜集与总结，提供了多类型设备中的上千张机构装置图，以及实用的关键数据和方程。 《机械设计零件与实用装置图册》按照装置、动力传动机构和单体零件部分安排内容，章～第5章包括精巧结构，创新装置，连杆，连接，锁紧装置与方法；第6章~0章图解了机械动力传动机构，包括齿轮与齿轮传动，离合器，链、链轮和棘轮，带和带传动装置，轴与联轴器；1章～第20章收录了标准机械零件的常规用法和创新用法，包括螺纹元件，自锁螺钉，销，弹簧，凸轮，橡胶垫圈、垫片和衬套，垫圈，O形密封圈，挡圈，滚珠，轴套与轴承。 《机械设计零件与实用装置图册》供快速查阅，工作时借鉴，目的在于解决机械设计师工作中的各类设计问题，并激发产生创新设计思路。