光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
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《仪表自动化工程师》系统介绍了油气储运仪表自动化工程师所应掌握的专业基础知识、管理内容及相关知识,并分二三个层级给出相应的测试试题。其中,第1部分专业基础知识重点介绍了流程图基础、网络基础、仪表防护防爆等级、自动化基础等知识;第二部分技术管理及相关知识重点介绍了计量基础资料管理、scADA系统维护、可编程控制器、输油气管道常用系统、scADA系统组态软件使用及维护、ERP系统使用等管理内容;第三部分为试题集,是评估相关从业人员岗位胜任能力的标准。 《仪表自动化工程师》适用于油气储运仪表自动化工程师技术岗位和相关管理岗位人员阅读,可作为业务指导及资质认证培训、考核用书。
全书分为5个项目,包括LKJ-2000型列车运行监控记录装置的操作与故障处理、列尾装置的操作与故障处理、JZJ2000型轴承温度监测装置的操作与故障处理、JK00430走行部监测装置的操作与故障处理、ATP列车自动保护系统的操作与故障处理。本书理论联系实际,采用工作过程导向法进行教学展开,注重培养学生的职业能力,结构新颖,重点突出。
本书从温度测量实际出发,全面系统地介绍了温度计量与测试的基本原理与实用测温技术。全书内容包括:温度与温标的基础知识及测温技术的新进展,膨胀式温度计、电阻温度计、热电温度计及辐射温度计的工作原理、结构、特性、选择与应用,光纤温度传感器等新型温度传感器,测温防爆技术,热电偶保护管所用材料的分类、特性及应用,温度量值传递、测温系统在线原位校准与标准化,固体内部与表面、气体、高温熔体、核电站、芯片与半导体以及航空航天、冶金、石油化工等领域的实用测温技术与应用。本书内容全面、新颖,紧密联系实际,反映了 外有关测温的新理论、新动向,具有很强的系统性、科学性、实用性。 本书可供从事热工计量测试的工程技术人员、科研工作者参考,也可作为高等院校相关专业师生的教学用书或参考书。
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《检验仪器分析》以近年来医学实验室常用的基本检验仪器和先进的专业检验仪器为主线,重点介绍了仪器的分类、工作原理、基本结构、性能指标与评价、使用与校准、仪器维护与常见故障处理等内容,重视仪器的质量控制和管理,反映了快速发展的医学实验室检验仪器的现状,对学生的上岗能力、临床应用能力和专业拓展能力的培养有重要作用。 全书共13章,包括绪论、显微镜、离心机、光谱分析相关仪器、色谱与质谱分析相关仪器、生化分析相关仪器、免疫分析相关仪器、血液分析相关仪器、尿液检验相关仪器、微生物检验相关仪器、细胞分子生物学检验相关仪器、即时检验相关仪器以及实验室自动化系统与实验室信息系统等。内容新颖、务实、针对性强,在仪器的工作原理和基本结构等描述上,大量使用简图、线图、实物图;在不同分型仪器的表
衡器技术特别是现代电子称量技术,是物理、力学、机械加工技术、热处理技术、传感器技术、通信及电子计算机等多学科的综合技术结晶。为了快捷而深入地了解电子衡器及自动称量技术方面的相关知识,作者以词条的形式,依据 外相关标准术语和 外相关资料的 信息,汇编了《衡器与自动称量技术简明读本》。本书包括两方面的含义:一是反映了衡器由机械秤(杠杆秤)一机电结合秤一电子秤及自动称量系统的发展历程;二是反映了从物理、力学、机械、传感技术、信息传递及微机等先进技术在此领域内相互渗透带来的丰富硕果。全书共有词条4400余条,每个词条后都有汉英对照,英文名词取自国内外的相关术语、相关资料及产品样本等。本书可供从事衡器设计制造的研究人员、工程技术人员,从事质量计量测试、检定和操作的技术人员使用,还可供高等院校
本书参照高等学校理科化学专业分析化学教材编审小组修订的综合性大学化学专业《仪器分析教学大纲》的要求编写而成。全书共20章,68个实验,分为基础实验、研究型实验和开放型实验三个层次。在介绍各种近代仪器分析实验的同时,力图反映学科发展的前沿及应用实例,注重培养学生的动手能力、分析问题和解决问题的能力。
本书系统全面地提供了关于近20种传感器的理论(物理原理)、设计和实际应用的知识体系。主要涵盖了数据获取、传递函数、传感器特性、感知的物理原理、传感器的光学元件及接口电路等基本原理, 以及人体探测器、位置与位移和水平传感器、速度和加速度传感器、力和力变传感器、压力传感器、流量传感器、声传感器、湿度传感器、光探测器、电离辐射探测器、温度传感器、化学和生物传感器及传感器材料与技术等领域的技术与应用。结构层次分明, 内容翔实丰富, 希望能为广大读者的学习和研究带来帮助。 本书可供传感器领域的研发设计人员、应用工程师、技术人员, 以及对现代仪器感兴趣的研究人员使用, 也可供高等院校相关专业本科生及研究生参考。