光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。

《机器人触觉传感器设计》对触觉传感器和触觉显示器的设计进行阐述，内容包括触觉传感器和触觉显示器设计中的基础知识、机器人三轴触觉传感器设计、VR触觉显示器设计，以及触觉传感器和触觉显示器应用实例等。《机器人触觉传感器设计》内容是笔者多年的研究成果，结合以往的经验，指出触觉传感器和触觉显示器的终研究方向。

全书共8章，内容包括引言、电位分析法、紫外-可见分光光度法、红外吸收光谱法、原子吸收光谱法、气相色谱法、高效液相色谱法、答疑与解惑(附答案)。介绍了常用仪器分析方法的基本原理、仪器结构和使用方法、应用范围、条件选择与优化、定性方法与定量方法。书中涉及的仪器既有生产实际中的常用仪器，也有具有较大应用潜力的新型仪器，内容新颖、实用。每种方法均安排有多个典型应用实例，分析项目涉及化学、化工、冶金、食品、医药、生物、环境监测等方面，同时编写了实用且具有启发性的选择题与问答题，并附有答案。本书还编写了不同仪器分析方法具有科学性、趣味性和前瞻性的阅读材料。书末附录1至附录4可供查阅常用数据，附录5常见分析化学术语汉英对照可为学习者提供参考。本书既可满足各行业化验员的学习和提高需求，也可作为职业技

本书介绍了32个典型的传感器技术设计案例，内容包含液化气检测报警电路设计、铂热电阻温度测量电路设计、大气压力测量电路设计、电流输出型温度传感器测量电路设计、电阻应变片压力电桥测量电路设计、房间湿度测量电路设计、霍尔转速计电路设计、酒精检测电路设计、空气质量检测电路设计、热电偶温度测量电路设计、位移测量电路设计、温差测量电路设计、温度测量电路设计、烟雾测量电路设计、阳光强度测量显示电路设计、液位测量显示电路设计、转速测量电路设计、振动检测电路设计、一氧化碳测量电路设计、加速度测量电路设计、小型称重电路设计、数字电容测量电路设计、位置检测电路设计、电阻测量电路设计、频率测量电路设计、红外测温电路设计、人体感应自动开关电路设计、红外线自动洗手控制电路设计、红外测距电路设计、基于单片

本书是按照试题形式编写的控制仪表培训教材和参考工具书。本书从基础知识入手，由浅入深并简明扼要地介绍了常用控制系统、通信和过程控制原理等，内容连贯，系统性、实用性和可操作性强。 本书共分为6章，包括可编程控制器（PLC）、集散控制系统（DCS）、安全仪表系统（SIS）、其他控制系统、数据通信与网络、过程控制原理，共精选编录了938道试题，并附有缩略词。各章节安排紧凑，着重对操作步骤、实际应用和操作进行讲解，在语言上力求简洁，通俗易懂。书中部分章节采用提示和注释说明帮助理解，期望解决理论和实际脱节、理论分析枯燥乏味等问题，有利于读者提高控制系统相关的分析问题和解决问题的能力。本书适合仪表工培训、考试和实操维护使用，也可供从事仪表相关工作的工程技术人员和院校师生参考。

《射线数字检测技术》内容包括概述、辐射探测器与其他器件、数字射线检测基本理论、数字射线检测基本技术、工业常用数字射线检测系统、等价性问题、实验及附录。经过本次修订，本书在内容上构成了一个基本完整的数字射线检测技术知识系统，形成了比较清楚的Ⅱ级人员与Ⅲ级人员要求的区分界定。

本书是为了强化识图和初学者的训练而编写的。本书根据线岗位对能力的要求和特点，着重培养读图能力。内容包括：识图基础，机件的各种表达方法，零件图识图，装配图识图等。本书内容丰富，讲解通俗易懂，适用于职业技术专科学校和工科本科学生的制图课教学，也可作为培养高素质的线管理、生产、技术和服务的初、中级的专门人才及劳动者自学培训等的教材。

《机械加工工艺（第3版）》共分为“课程认识”“机械加工精度”“机械加工工艺规程设计基础”“轴类零件的加工工艺设计”“盘、套类零件的加工工艺设计”“箱体零件的加工工艺设计”“螺纹加工方法及丝杠零件的加工工艺设计”“齿轮加工工艺设计”“数控车削加工工艺设计”“数控镗铣、加工中心加工工艺设计”“零件的特种加工工艺设计”等11个教学单元。 除了基础单元部分外，每个单元内容均按照“机械制造类专业的岗位能力要求”，分析本单元承担的任务，选择合适的载体，将实际生产案例有机地融入教材中，做到课堂教学与生产实际的有机结合。 《机械加工工艺（第3版）》可以作为高等院校机械制造类专业学生用书，也可作为企业技术人员的参考资料。

本手册包括机械零件设计工作中常用资料、数据、一般标准和机械基础标准及工程常用材料，还包括螺纹、轴、销、焊、粘、铆连接：轴、轴承、联轴器、离合器、弹簧、链传动、齿轮传动、蜗杆传动、减速器、螺旋传动、常用电动机等技术设计内容，书中资料、标准全新，内容实用、精练，编排合理，查阅、携带方便，由清华大学从事机械零件教学与设计50年的老教授倾心编著。是一本不可多得的工具书，适用广大从事机械设计技术人员和在机械类各专业的毕业设计和课程设计使用。

本书以试题的形式，较为详细地介绍了压力、流量、物位、温度等检测仪表，以及显示仪表和调节阀的原理、结构、选用、安装、调校、维修知识。与版相比，较大幅度地增加了新型仪表方面的内容，并按国家标准和现行国际标准对版进行了修订。全书共分8个部分，收录试题1280多道，每题均附有参考答案。 本书适用于石油、天然气、化工、制药、冶金、电力、建材、轻工、城市给排水和城市煤气等行业的仪表维修工人培训和考核，对仪表及自动化专业的工程技术人员和院校师生也有参考价值。