本书系统全面地提供了关于近20种传感器的理论(物理原理)、设计和实际应用的知识体系。主要涵盖了数据获取、传递函数、传感器特性、感知的物理原理、传感器的光学元件及接口电路等基本原理, 以及人体探测器、位置与位移和水平传感器、速度和加速度传感器、力和力变传感器、压力传感器、流量传感器、声传感器、湿度传感器、光探测器、电离辐射 探测器、温度传感器、化学和生物传感器及传感器材料与技术等领域的技术与应用。结构层次分明, 内容翔实丰富, 希望能为广大读者的学习和研究带来帮助。 本书可供传感器领域的研发设计人员、应用工程师、技术人员, 以及对现代仪器感兴趣的研究人员使用, 也可供高等院校相关专业本科生及研究生参考。

光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

本书介绍了齿轮箱轴承选型与维护中的相关技术。书中内容从常见的齿轮箱与齿轮箱相关轴承基本性能入手，介绍了齿轮箱轴承的选型原则、齿轮箱轴承的配置、齿轮箱轴承的选型计算、齿轮箱轴承的润滑等在齿轮箱设计过程中的轴承选型技术。同时介绍了齿轮箱轴承的安装、振动监测等齿轮箱轴承维护工作中的相应技术。本书在齿轮箱维护技术部分探讨了基于大数据和人工智能等技术的智能运维技术和数据分析方法。*后本书针对风力发电机齿轮箱轴承的相应选型和维护技术进行了专门的阐述。 本书可供从事齿轮箱设计、使用和维护相关领域工作的技术人员学习参考，也可供齿轮箱技术人员在日常进行设计、试验、维护、保养等涉及轴承相关问题的分析、校核工作中使用，从事齿轮箱轴承应用技术工作的轴承工程师也可将本书作为系统性的参考工具书。

《仪表自动化工程师》系统介绍了油气储运仪表自动化工程师所应掌握的专业基础知识、管理内容及相关知识，并分二三个层级给出相应的测试试题。其中，第1部分专业基础知识重点介绍了流程图基础、网络基础、仪表防护防爆等级、自动化基础等知识；第二部分技术管理及相关知识重点介绍了计量基础资料管理、scADA系统维护、可编程控制器、输油气管道常用系统、scADA系统组态软件使用及维护、ERP系统使用等管理内容；第三部分为试题集，是评估相关从业人员岗位胜任能力的标准。 《仪表自动化工程师》适用于油气储运仪表自动化工程师技术岗位和相关管理岗位人员阅读，可作为业务指导及资质认证培训、考核用书。