《光学光刻和极紫外光刻》是一本的光刻技术专著，内容涉及该领域的各个重要方面。在介绍光刻技术应用上，涵盖了全面又丰富的内容；在论述光刻技术的物理机制和数学模型时，采用了完整而不繁琐的方法，增加了可读性。本书在系统地阐述了光学光刻技术的基本内容后，还专门开辟章节，介绍了的极紫外光刻技术的特点和难点，揭示了极紫外光刻的技术奥秘。本书具有全面、完整、翔实和新颖的特点，它凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学的精华。

硅光子技术在电信通信、数据中心、高性能计算、传感、航空航天等领域的广泛应用，特别是随着CMOS(互补金属氧化物半导体)技术的持续发展，光子技术与电子技术的融合有望最终取代电子技术。 本书详细地介绍了硅光子技术，从光无源器件到光有源器件，从功能结构设计到芯片制造，从制造到测试，从器件回路到系统回路，从理论分析计算到仿真等，涵盖器件结构原理、设计、制造、封测、仿真等全流程，结合大量实例详细说明硅光子从器件到系统各个环节的关键要素，并辅以仿真计算源代码供学习和参考。本书共四篇，第1篇介绍硅光子发展及其应用，包括硅光子研究现状、技术挑战和发展机遇；第2篇介绍光无源器件，包括光学材料和光波导、基本功能结构和光输入/输出结构；第3篇介绍光有源器件，包括光调制器、探测器和激光光源；第4篇介绍系统设计

硅基光电子学是作者遵循半导体科学和信息科学的发展规律，在微电子、光电子、光通信领域数十年教学科研成果的总结。本书分为基础篇和应用篇。基础篇由第1章~第10章组成，包括绪论、硅基光电子学基本理论、硅基光波导、硅基光无源器件、硅基光源、硅基光学调制、硅基光电探测、硅基表面等离激元、硅基非线性光学效应、硅基光电子器件工艺及系统集成等。应用篇由第11章~第18章组成，包括硅基光通信和光互连、硅基光交换、硅基光电计算、硅基图像传感、硅基片上激光雷达、硅基光电生物传感、硅基光信号处理、硅基光电子芯片的设计与仿真等。

本书为引进译著。作者全面梳理并总结了其团队在光学制造方面的研究结果。全书包括两大部分：第Ⅰ部分基本相互作用 材料科学，从摩擦学、流体动力学、固体力学、断裂力学、电化学等光学制造的基础理论出发，系统分析了从宏观到微观的材料去除过程，定量描述了光学制造中不同工艺参数与光学元件性能之间的关系。第Ⅱ部分应用 材料技术，详细叙述了工程应用的光学制造，汇总了现代光学制造中缺陷的检测和评价方法，剖析了多方面工艺优化的可行性，说明了各类新的抛光技术；针对高能激光系统要求的高损伤阈值光学元件，书末还给出了高能激光元件制作的关键工艺实例。 本书既是光学制造理论的梳理，也是现代光学制造技术与应用的汇总，涵盖了从光学制造工艺到光学元件性能评价等多方面的理论与实践，是一部兼具理论、方法和实际应用价值的

本书系统介绍了超快激光的相关原理与技术、常用器件及典型应用。全书共12章，第1和第2章概述了超快激光的发展与特性，使读者能够快速地对超快激光有大致了解；第3章叙述了测量飞秒激光脉冲的主要方法；第4和第5章讲述了激光锁模的原理与技术及典型的超快激光光源，通过该内容读者可进一步增强对超快激光的认识；第6和第7章介绍超快激光的频率变换与展宽，通过该技术不仅可极大地丰富超快激光可覆盖的波段，也能有效地扩宽光谱宽度；第8和第9章是有关飞秒激光的非线性脉宽压缩、相位锁定、同步及相干控制与合成的内容，是实现少周期及光波电场可控极端脉冲的重要技术；第10章介绍了基于啁啾脉冲放大原理的飞秒超强激光技术与装置；第11章是目前超快科学的最前沿??阿秒脉冲的原理与技术；最后一章结合典型案例介绍了超快激光的多学科应用。

微纳光子学是关注微纳尺度上光学及光子学的新现象、新效应和新应用的一门分支学科，主要涉及在微纳尺度上光与物质相互作用的规律及光的产生、传输、调制和探测等方面的应用。本书围绕微纳光子学的基础和前沿应用展开，介绍多种微纳表征技术，如高数值孔径物镜成像、近场光学显微和远场光学表征技术，讲述微纳光子学前沿领域理论、技术和应用，如等离激元光学、光场的偏振态调控和微纳光子器件。

本书是一本介绍飞秒激光加工原理、技术和应用的著作。全书分20章。第1章和第2章是飞秒激光脉冲产生和放大的原理以及飞秒激光与物质相互作用的基本原理；第3～6章是飞秒激光加工系统、干涉技术、脉冲整形技术；第7章是表面加工技术；第8章是双光子聚合技术；第9～19章是内部加工技术；第20章是溶液中制备纳米颗粒技术。

This book focuses on optical fiber sensing and structural health monitoring technolo-gies. It provides detailed information on the basic theory of F-P optical fiber sensors,fiber Bragg grating sensors, fiber laser grating sensors and fully distributed optical fiber sensors. Drawing on the authors research achievements and many years of practical experience in the field of engineering structure health monitoring, the book elabo-rates on the structural principle, design and manufacture of optical fiber sensors and monitoring technologies, and briefly describes advances made with regard to multiple

本书系统介绍了红外与太赫兹探测器件中的电子信息理论、物理内涵、光学知识，以及器件制备与应用中所涉及的材料、结构和制冷系统等多方面的内容，对红外与太赫兹器件制备、应用研发以及实际工程使用人员具有很高的参考价值。全书分为5个部分，包括红外与太赫兹探测基础、红外热探测器、红外光子探测器、红外焦平面阵列以及太赫兹探测器与焦平面阵列。其中红外热探测器部分单列了气动探测器一章，红外光子探测器部分分列了多种近十年开始进入成熟期的器件类型，太赫兹探测器从原来的一章扩充为一个部分，并对近期的一些进展做了详细的介绍。

本书提出微波光子多学科协同设计思想与方法，首先从微波光子的跨域交叉融合出发，分析了其多学科特点，探讨了微波光子多学科协同设计的技术挑战；接着，基于微波光子多学科设计的内涵，将需求-功能-逻辑-物理（RFLP）系统工程论方法引入微波光子系统的设计中，形成了基于RFLP的微波光子系统仿真设计的一般方法。同时，深入研究了微波光子器件、处理单元和系统的建模方法，阐明了微波光子跨域特点和时空频多维映射原理，并以微波光子干涉仪系统模型为例，详细阐述了多学科协同设计和建模仿真的思路及方法；最后，本书探讨了不同专业工具所建立的异构模型的统一封装方法，并针对微波光子跨域带来的海量数据处理问题，探讨了多核心、多进程分布式并行计算方法对仿真效率提升的有效性。

本书总结了作者多年来的工作经验和近期研究成果，系统地介绍了高速光电子器件测试和微波封装设计方面的实用技术，先进性、学术性和实用性兼备。全书共12章，内容包括半导体激光器、光调制器和光探测器三种典型高速光电子器件的微波封装设计，网络分析仪扫频测试法、小信号功率测试法、光外差技术等小信号频率响应特性测试方法及测试系统校准方法，数字和模拟通信光电子器件大信号频率响应特性测试方法，光电子器件本征响应特性分析和应用，光谱与频谱分析技术，光注入技术及其应用。

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光电振荡器(optoelectronic oscillator，OEO)通过自振荡产生超低相位噪声微波/毫米波信号，具有光、电两种输出，在微波、光学以及两者的交叉领域均有着重要应用。光电振荡器有望从源头突破现有雷达、电子战等射频系统性能瓶颈，因而其引起了广泛的研究兴趣。本书分为三部分：第一部分介绍光电振荡器的基本理论模型；第二部分介绍光电振荡器的关键技术，包括相位噪声抑制和测量、稳定性提升以及频率拓展等；第三部分介绍光电振荡器的功能拓展，包括宽带振荡、光脉冲产生和典型应用等。

进入21世纪以来，随着激光技术的迅速发展，激光先进制造与加工技术在汽车、机械、航空航天、冶金化工及微电子等领域展现出更广阔的应用前景。本书从介绍激光先进制造与加工技术的基础知识出发，全面、系统地讲述了激光先进制造与加工工艺、方法和应用及成套设备系统。全书共分11章：章，激光先进制造技术基础；第2章，激光器系统；第3章，激光加工技术（包括激光打孔、切割、激光焊接，激光表面改性、激光冲击强化和激光清洗等）；第4章，激光快速成型技术；第5章，激光烧结合成功能陶瓷材料技术；第6章，激光制膜技术；第7章，短波长紫外激光微加工技术；第8章，飞秒激光微加工技术；第9章，激光制备纳米材料技术；0章，激光在工业中的应用；1章，激光加工成套设备系统。本书可供从事光电子、机械和微电子等相关领域的研究人员和工程技术