光刻技术是所有微纳器件制造的核心技术。特别是在集成电路制造中,正是由于光刻技术的不断提高才使得摩尔定律(器件集成度每两年左右翻一番)得以继续。本书覆盖现代光刻技术的主要方面,包括设备、材料、仿真(计算光刻)和工艺,内容直接取材于 集成电路制造技术,为了保证 性,特别侧重于 32nm 节点以下的技术。书中引用了很多工艺实例,这些实例都是经过生产实际验证的,希望能对读者有所启发。
平流层飞艇可在高空长时间驻留,在遥感探测等领域具有广阔的应用前景。本书共6章,介绍了艇载高分辨率成像探测系统技术。对于艇载微波载荷,分析了大口径共形轻量化天线关键技术,基于子阵结构大口径稀疏阵列天线论述了主动雷达和外辐射源雷达的成像探测性能,同时介绍了基于大型阵列的低频信号产生方法。对于艇载光学载荷,分析了大口径轻量衍射光学系统关键技术,阐述了相干探测光学成像概念,在此基础上论述了激光雷达和红外相机的成像探测性能,探讨了激光本振红外阵列探测器及其在干涉和相干成像中的应用问题。
本书是作者及合作者在从事 高技术研究发展计划激光领域工作期间公开发表的论文的汇编,包括激光概述、对几种激光器技术的研究和评述、激光技术的可能应用、光束质量研究、高能激光系统的一些物理问题等。
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了 主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
本书是作者及合作者在从事 高技术研究发展计划激光领域工作期间公开发表的论文的汇编,包括激光概述、对几种激光器技术的研究和评述、激光技术的可能应用、光束质量研究、高能激光系统的一些物理问题等。
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〈无线电〉合订本(68周年版·下) 囊括了《无线电》杂志2023年第7~12期创客、制作、火腿、装备、入门、教育、史话等栏目的所有文章,其中有热门的开源硬件、智能控制、物联网应用、机器人制作等内容,也有电路设计、电学基础知识等内容,还有丰富的创客活动与创客空间的相关资讯。这些文章经过整理,按期号、栏目等重新分类编排,以方便读者阅读。 本书内容丰富,文章精练,实用性强,适合广大电子爱好者、电子技术人员、创客及相关专业师生阅读。
业余无线电通信 从1994年开始出版,已经成为业余无线电爱好者的入门工具书。 本书是由业余无线电家童效勇(BA1AA)和陈方(BA4RC)为广大业余无线电编写的业余无线电通信入门教材,书中系统地介绍了开设、操作业余无线电台的相关知识和法律法规,主要内容包括:业余无线电通信简史、业余无线电通信操作实践、收发报技术的自我训练、业余无线电奖励证书和竞赛活动、不同业余无线电波段的运用、业余短波天线、业余无线电收发信机、依法设置和使用业余无线电台等。 业余无线电通信 既可作为开展业余无线电活动的教材,也可作为业余无线电爱好者的自修读本和手册。
本书是作者及合作者在从事 高技术研究发展计划激光领域工作期间公开发表的论文的汇编,包括激光概述、对几种激光器技术的研究和评述、激光技术的可能应用、光束质量研究、高能激光系统的一些物理问题等。
龚惠兴编著的《中国电子信息工程科技发展研究》是“中国电子信息工程技术发展研究(领域篇)”蓝皮书感知专题单行本的上篇——“遥感技术及其应用”,从可见光、红外、激光、微波遥感技术及其在测绘、气象、海洋、国土资源与生态环境等方面的应用两个层面出发,综述近年来遥感技术发展态势和国内外应用现状,分析发展趋势,探讨前沿技术和关注的热点问题。 本书可供光电、红外、雷达遥感行业的专业研究人员和科技管理者阅读参考,也可供高等学校的在校大学生、研究生学习参考。
本书是配合"软件无线电技术”的理论教学而编写的实验教程,主要内容包括软件无线电基础知识、软件无线电体系结构、软件无线电硬件平台、软件无线电信号处理算法、软件无线电典型应用等。本书综合应用MATLAB、LabVIEW、Verilog HDL等编程语言,通过XSRP软件无线电平台,实现了理论仿真与工程实现相结合。全书共4章,分为基础知识、基础性实验、设计性实验和综合性实验。基础性实验包括MATLAB仿真实验和XSRP软件无线电平台硬件实验,设计性实验均在XSRP软件无线电平台上通过FPGA编程实现,综合性实验通过LabVIEW和MATLAB编程,在XSRP软件无线电平台上构建通信系统。
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了 主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
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《中大功率开关变换器》对中大功率开关变换器系统的多学科方面进行了有关讨论,包括基本的电力电子技术、数字控制和硬件、传感器、模拟信号的预处理、保护器件和故障管理、脉冲宽度调制(PWM)算法、中大功率的开关变换器等。《中大功率开关变换器》适合从事电力电子技术设计与制造的工程技术人员阅读,也可作为电气自动控制技术相关专业的本科生和研究生的参考书。
利用软件定义与虚拟化技术,形成可裁剪、可 的弹性无线网络,可为多种应用场景提供差异化的服务能力。《软件定义无线网络及虚拟化》围绕“软件定义无线网络与虚拟化”这一主题,介绍了软件定义与虚拟化技术的发展历程,并从无线网络功能、无线网络平台、无线网络资源三个方面阐述了软件定义与虚拟化技术在无线网络中的应用,介绍了 5G 网络中的软件定义与虚拟化技术,并列举了基于软件定义与虚拟化技术的无线接入网实例。
随着三维激光扫描传感设备硬件的快速发展,可保留三维空间中原始语义信息(几何信息、颜色、反射强度等)的点云已成为代表性的新型数据源之一。语义分割作为三维场景语义分析与解译的重要前提,在无人驾驶、高精地图、智慧城市等 重大需求的推动下,已成为测绘遥感、计算机视觉等领域的重大研究课题。本书以语义分割的理论与方法为研究内容,以点云为研究对象,从点云类型、深度学习基础知识、点云的组织与管理、融合点云与图像的语义分割以及直接基于点云的语义分割等方面进行介绍,是一部多学科交叉、融合的点云语义分割著作。
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了 主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
本书是当今射频和微波器件测量领域的一本实用参考手册和工具书,讨论了 进的射频微波器件测量技术及 的测量实践。本书前面的章节先引入一些基本概念,接着在后续章节深入探讨各种有源和无源器件的测量与应用案例,让读者能够全面了解微波器件测量的重要细节,向用户提供了一套全新的见解,指引用户通过实践了解被测器件的真实特性。它的实用性还在于向读者介绍了如何找到 化的测量设置方法、如何把现代化矢量网络分析仪的强大功能应用到 的极限,以及如何在测量结果中去除测量设备可能对被测器件特性的影响。 本书适合从事射频和微波器件研发与生产测试的工程技术人员,特别是在航空航天和国防电子设备的研究和制造领域、现代无线通信设备的研究和制造领域的工程技术人员作为参考资料。本书也可以作为高等学校中研究微波设计和理论