目前应用在航空航天、汽车电子和弹药等领域上的开关有惯性开关和电子开关两大类,电子开关易受干扰且电子开关一般要使用电子计时器,计时器的关键部件为石英晶体或晶体振荡器。普通的石英晶体在高过载情况下易受损,若采用特殊的抗冲击晶体成本会较高。机械式惯性开关具有成本低、抗干扰能力强的特点。但是,传统的惯性开关采用的是弹簧和质量块结构,体积较大而且由于加工和装配误差,弹簧的一致性很难保证,造成阈值的散布范围大,可靠性和安全性不高。以MEMS技术为基础的MEMS开关不但体积小、响应快、能够捕捉微弱的信号,而且工艺性能好,适合批量生产,可以广泛应用于通信、宇航、自动化仪器、汽车、军事等领域,能够大大降低系统成本,提高工作效率。 引信用MEMS开关使用环境非常恶劣,和其他工程用MEMS开关不同,引信用MEMS开关要