光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。

《机器人触觉传感器设计》对触觉传感器和触觉显示器的设计进行阐述，内容包括触觉传感器和触觉显示器设计中的基础知识、机器人三轴触觉传感器设计、VR触觉显示器设计，以及触觉传感器和触觉显示器应用实例等。《机器人触觉传感器设计》内容是笔者多年的研究成果，结合以往的经验，指出触觉传感器和触觉显示器的终研究方向。

全书共8章，内容包括引言、电位分析法、紫外-可见分光光度法、红外吸收光谱法、原子吸收光谱法、气相色谱法、高效液相色谱法、答疑与解惑(附答案)。介绍了常用仪器分析方法的基本原理、仪器结构和使用方法、应用范围、条件选择与优化、定性方法与定量方法。书中涉及的仪器既有生产实际中的常用仪器，也有具有较大应用潜力的新型仪器，内容新颖、实用。每种方法均安排有多个典型应用实例，分析项目涉及化学、化工、冶金、食品、医药、生物、环境监测等方面，同时编写了实用且具有启发性的选择题与问答题，并附有答案。本书还编写了不同仪器分析方法具有科学性、趣味性和前瞻性的阅读材料。书末附录1至附录4可供查阅常用数据，附录5常见分析化学术语汉英对照可为学习者提供参考。本书既可满足各行业化验员的学习和提高需求，也可作为职业技

本书主要介绍仪表工必须掌握的技能，包括标准仪器、通用仪表的使用，仪表电路图、机械图的识读，仪表修理，钳工操作，仪表技术信息的获取、科技写作方法以及仪表工职业道德修养等共23章内容。 为便于仪表工使用，本书除介绍仪表工要掌握的基本技能外，还用较大的篇幅介绍了仪表的调校方法、维修方法，PID参数整定方法等实用性强的技能，书中的一些图表可供现场操作时参考。 本书可供新上岗的仪表工自学使用，亦可供其他仪表工及仪表技术人员、自控仪表专业的师生使用，也可作为培训教材使用。

《中华人民共和国电力行业标准（DL/T 596—2021·代替DL/T 596-1996）：电力设备预防性试验规程》规定了运行中交流电力设备预防性试验的项目、周期、判据和方法等要求。《中华人民共和国

《机械制造工艺管理标准及应用》主要面向机械制造企业工艺管理和工艺设计人员，力求易于理解、简便实用。《机械制造工艺管理标准及应用》从标准化角度，为企业工艺管理提供指导和建议。由于现有工艺管理标准没有完全涵盖企业工艺管理的内容，因此《机械制造工艺管理标准及应用》以机械产品工艺工作过程为主线，在现有国家标准基础上，补充完善了相关管理内容，如工艺管理顶层设计和工艺设计控制等。为了便于企业将工艺管理与现有管理体系和管理理念有机融合，在编写过程中，遵循以下管理基本思想和方法： ——系统化、规范化、标准化； ——“PDCA”模式； ——过程方法； ——多目标管理； ——并行工程； ——预防为主； ——全过程管理与重点管理结合； ——科学管理与技术措施相结合。

本书对机械系统可靠性维修及决策模型作了较全面、详细的论述，重点突出工程 应用。主要内容有机械系统故障的概念及其故障分析方法，机械系统可靠性维修，机械系统预防性维修周期决策与维修策略，机械系统维修分配和维修预测。 本书对工程技术人员和从事机械工程及其相关专业的教师、研究生和学生均有较大的参考价值 。

本书是《分析仪器使用与维护丛书》的分册。 本书介绍了紫外可见分光光度计分析测量的基本原理和结构，深入讨论了紫外可见分光光度计的主要技术指标及其测试方法；用较多篇幅，从实际应用的角度，全面、详细地介绍了如何评价或如何挑选紫外可见分光光度计仪器、如何选择分析测试条件、影响分析测试准确度的主要因素、分析测试误差的估算方法，以及对仪器的保养、维修等有关问题。 本书通俗易懂，适用性强，可供科研院所、大专院校、工矿企业中从事紫外可见分光光度计分析测试工作的广大科技工作者阅读。

机械工程手册共有18卷152篇，分基础、工程材料、设计、工艺及设备、电工电子和仪器仪表以及通用机械产品和专用机械产品等部分。本卷是电工、电子与自动控制卷，共有9篇，篇电工基础，第2篇电工设备、第3篇工业电子技术，第4篇电子计算机基础，第5篇自动控制理论，第6篇数控技术，第7篇电气传动控制系统，第8篇机械制造自动化系统，第9篇工业机器人。这些篇分别介绍了机械工程技术人员所需的有关电工、电子与自动抽空方面的基础理论、基础元器件、常用电工设备、电路系统、电子计算机与控制技术的知识和资料。 本手册主要供具有中等技术水平以上的广大机械工程技术人员在综合研究和处理本专业及相关专业的各种技术问题时，起备查、提示、启发的作用，也可供高等学校师生及其他有关人员参考。

《机械设计零件与实用装置图册》是极具典型性和启发性的一本图册，经过数十年搜集与总结，提供了多类型设备中的上千张机构装置图，以及实用的关键数据和方程。 《机械设计零件与实用装置图册》按照装置、动力传动机构和单体零件部分安排内容，章～第5章包括精巧结构，创新装置，连杆，连接，锁紧装置与方法；第6章~0章图解了机械动力传动机构，包括齿轮与齿轮传动，离合器，链、链轮和棘轮，带和带传动装置，轴与联轴器；1章～第20章收录了标准机械零件的常规用法和创新用法，包括螺纹元件，自锁螺钉，销，弹簧，凸轮，橡胶垫圈、垫片和衬套，垫圈，O形密封圈，挡圈，滚珠，轴套与轴承。 《机械设计零件与实用装置图册》供快速查阅，工作时借鉴，目的在于解决机械设计师工作中的各类设计问题，并激发产生创新设计思路。

《精密激光测量技术与系统》介绍了几种典型精密激光测量技术的基本原理、关键技术、系统组成与工作特性，并将基本测量原理、典型商用仪器、被测对象特性和实际应用环境联系起来。《精密激光测量技术与系统》共6章，包括激光基本原理及典型器件、激光干涉测量技术与系统、激光测距技术与系统、激光光栅测量技术与系统、激光共焦测量技术与系统、激光自准直技术与系统。 《精密激光测量技术与系统》可作为测控技术及仪器、光电信息科学与工程、光学工程、机电一体化工程等专业本科高年级学生的教材，也可作为仪器科学与技术、机械工程、精密装备制造等学科和工程领域研究生的教材，还可以作为相关专业科研人员的参考书。