本书全面系统地阐述了真空装置的定义、分类及基本组成。全书分7章，主要内容有：真空装置概述、真空装置容器、真空抽气机组、真空泵、真空阀门、真空测量及装置的控制系统、真空装置常用制造工艺。 本书将理论与实践有机结合，适用于从事真空工程设计的专业技术人员、设备操作与维护人员阅读，也适合从事与真空技术相关的科研人员以及大专院校相关专业师生阅读参考。
本书着重论述真空电子技术在军事信息装备中的应用。主要内容有：真空电子技术概论；速调管；行波管；正交场微波管；高功率微波源；气体放电器件；阴极和热子组件；真空微电子学；微波管发射机；微波管发射机电源；脉冲调制器；微波管发射机的控制、保护和监测；军用微波系统等。读者对象：从事军事电子系统和广播电视、卫星通信、计算机终端、工业加热等民用系统研究、制造、使用的有关人员、各级领导和计划管理人员。
本书是半导体器件和半导体技术入门书，内容包括半导体的基本知识、各种半导体及集成电路，此外还以较大篇幅介绍集成电路制造技术及其技术要素。这些知识不仅是半导体技术的基础，而且对于以MEMS为代表的超精密技术也是非常重要的。本书深入浅出、图文并茂的叙述方式，有助于初学者进一步理解集成电路技术。本书给出的丰富信息量和对先进技术发展动向的分析，也有利于集成电路产业的管理人员和技术人员的知识更新。本书可以作为微电子技术及相近专业本科生的教学参考书，亦可作为从事导体、集成电路产业的管理、技术人员的自学用书。
