本书全面、系统地介绍了高荷电离子物理学，内容包括实验室高温等离子体与天体物理等离子体中高荷电离子状态下出现的主要的X射线辐射和基本的原子过程。作者强调对高荷电离子物理学的物理理解，避免多余的数学推导，使本书更便于从事原子物理与等离子体物理、天体物理、激光物理与光谱学等领域的科技工作者的理解。
针对微电子工业中的材料处理工艺（如半导体芯片加工），介绍有关的的低气压射频等离子体的产生方法及物理特性，涉及目前很重要的三种射频等离子体源（单频及多频电容耦合，电感耦合，螺旋波耦合）及其关联性。书中也论述了低温高密度等离子体在微电子器件制备等领域应用的很新进展及相关技术问题。作者在书中精心设计了超过100道习题，有利于读者深入了解掌握所涉及的基本概念。
![中外物理学精品书系·等离子体中的分子过程：带电粒子[日]市川行和（Y.Itikawa） 著北京大学出版社（正版旧书）97](http://img3m0.ddimg.cn/29/23/11939623670-1_l.jpg)
