光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光刻技术；最后介绍了光刻机成像质量的提升与光刻机整机、分系统的技术进步。

全书共8章，内容包括引言、电位分析法、紫外-可见分光光度法、红外吸收光谱法、原子吸收光谱法、气相色谱法、高效液相色谱法、答疑与解惑(附答案)。介绍了常用仪器分析方法的基本原理、仪器结构和使用方法、应用范围、条件选择与优化、定性方法与定量方法。书中涉及的仪器既有生产实际中的常用仪器，也有具有较大应用潜力的新型仪器，内容新颖、实用。每种方法均安排有多个典型应用实例，分析项目涉及化学、化工、冶金、食品、医药、生物、环境监测等方面，同时编写了实用且具有启发性的选择题与问答题，并附有答案。本书还编写了不同仪器分析方法具有科学性、趣味性和前瞻性的阅读材料。书末附录1至附录4可供查阅常用数据，附录5常见分析化学术语汉英对照可为学习者提供参考。本书既可满足各行业化验员的学习和提高需求，也可作为职业技

本书介绍了32个典型的传感器技术设计案例，内容包含液化气检测报警电路设计、铂热电阻温度测量电路设计、大气压力测量电路设计、电流输出型温度传感器测量电路设计、电阻应变片压力电桥测量电路设计、房间湿度测量电路设计、霍尔转速计电路设计、酒精检测电路设计、空气质量检测电路设计、热电偶温度测量电路设计、位移测量电路设计、温差测量电路设计、温度测量电路设计、烟雾测量电路设计、阳光强度测量显示电路设计、液位测量显示电路设计、转速测量电路设计、振动检测电路设计、一氧化碳测量电路设计、加速度测量电路设计、小型称重电路设计、数字电容测量电路设计、位置检测电路设计、电阻测量电路设计、频率测量电路设计、红外测温电路设计、人体感应自动开关电路设计、红外线自动洗手控制电路设计、红外测距电路设计、基于单片

光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

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本书主要介绍仪表工必须掌握的技能，包括标准仪器、通用仪表的使用，仪表电路图、机械图的识读，仪表修理，钳工操作，仪表技术信息的获取、科技写作方法以及仪表工职业道德修养等共23章内容。 为便于仪表工使用，本书除介绍仪表工要掌握的基本技能外，还用较大的篇幅介绍了仪表的调校方法、维修方法，PID参数整定方法等实用性强的技能，书中的一些图表可供现场操作时参考。 本书可供新上岗的仪表工自学使用，亦可供其他仪表工及仪表技术人员、自控仪表专业的师生使用，也可作为培训教材使用。

《仪表自动化工程师》系统介绍了油气储运仪表自动化工程师所应掌握的专业基础知识、管理内容及相关知识，并分二三个层级给出相应的测试试题。其中，第1部分专业基础知识重点介绍了流程图基础、网络基础、仪表防护防爆等级、自动化基础等知识；第二部分技术管理及相关知识重点介绍了计量基础资料管理、scADA系统维护、可编程控制器、输油气管道常用系统、scADA系统组态软件使用及维护、ERP系统使用等管理内容；第三部分为试题集，是评估相关从业人员岗位胜任能力的标准。 《仪表自动化工程师》适用于油气储运仪表自动化工程师技术岗位和相关管理岗位人员阅读，可作为业务指导及资质认证培训、考核用书。

《连续输送机械设计手册》是从事连续输送机械工程技术人员设计的工具书。全书共分十四章，包括：绪论；带式输送机；斗式提升机；板式输送机；刮板输送机；埋刮板输送机；悬挂输送机；架空索道；自动扶梯及自动人行道；螺旋输送机；振动输送机；辊子输送机；气力输送装置；辅助装置。《连续输送机械设计手册》根据现行有关标准，并结合我国输送机械行业的实际，不仅介绍了目前普遍使用的新材料、新结构、新工艺、新产品及新的计算方法，在诸多方面反映了外的成果，而且有些章节还有简明的设计计算实例。《连续输送机械设计手册》技术可靠，内容翔实，查阅方便，图、文、表并茂，是从事输送机械设计、科研、生产、使用等技术人员的工具书，也是高等院校师生很好的参考书。

本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构，阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用。本书主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。 本书可供高等院校传感器技术、微机电系统、测控技术与仪器、自动化工程、机电一体化及仪器仪表等专业的师生作为教材使用，也可供从事传感器、MEMS、仪器仪表等相关专业的技术人员学习参考。

本书系统全面地提供了关于近20种传感器的理论(物理原理)、设计和实际应用的知识体系。主要涵盖了数据获取、传递函数、传感器特性、感知的物理原理、传感器的光学元件及接口电路等基本原理, 以及人体探测器、位置与位移和水平传感器、速度和加速度传感器、力和力变传感器、压力传感器、流量传感器、声传感器、湿度传感器、光探测器、电离辐射探测器、温度传感器、化学和生物传感器及传感器材料与技术等领域的技术与应用。结构层次分明, 内容翔实丰富, 希望能为广大读者的学习和研究带来帮助。 本书可供传感器领域的研发设计人员、应用工程师、技术人员, 以及对现代仪器感兴趣的研究人员使用, 也可供高等院校相关专业本科生及研究生参考。

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本书参照高等学校理科化学专业分析化学教材编审小组修订的综合性大学化学专业《仪器分析教学大纲》的要求编写而成。全书共20章，68个实验，分为基础实验、研究型实验和开放型实验三个层次。在介绍各种近代仪器分析实验的同时，力图反映学科发展的前沿及应用实例，注重培养学生的动手能力、分析问题和解决问题的能力。

本书是测量控制与仪器仪表(临床医疗仪器)工程师资格认证考试培训教材之一。 全书分为三篇十一章。主要内容包括现代医疗仪器设备的基本理论知识；医学影像设备、临床检验设备、电生理及监护设备等相关的诊断技术原理、放疗和肿瘤热疗设备相关的治疗技术原理、消毒灭菌和空气净化设备相关的技术原理；以及现代医疗仪器设备的维护管理和相关政策法规等方面的知识。教材的后还以美国和日本为例，将国际临床工程师资格认证的情况进行了简单的介绍。 本书内容深入浅出、条理分明，涵盖设备种类广，前沿知识容量大。本书不仅可作为培训教材，也可供从事医疗仪器设备与元件及功能材料的设计、研究、制造、应用、维修、管理和营销等相关专业的教师和广大工程技术人员学习与参考。

《仪表工 自学一本通（图解双色版）》首先对仪表的基础知识进行了详细的梳理，其中包括仪表的理论知识、使用技能、仪表维护等；再对仪表工识图做了详细解读，对仪表工提高基础技能有很大帮助；之后分章节对多种仪表进行了细致分析和讲解，包括温度测量仪表、压力测量仪表、流量测量仪表、液位测量仪表、在线分析仪表以及调节阀，从结构到安装方法，再到使用与维修，尽数道来；同时本书在 三章深入讲解了仪表控制方面的关键技术，内容全面而深入，实用性强。 本书从理论到实践，以大量图解的方式讲解专业知识，通俗易懂，可供读者在清晰的知识架构下提升技能。本书适合从事仪器仪表制造加工、安装、维护保养的专业技术人员以及仪表工程师阅读参考。

《化学传感器--传感材料基础(第4册多孔纳米材料的特性及应用影印版)》(作者科瑞特森科韦)主要内容有：多孔半导体：制备原理与特性、基于多孔半导体的气体传感器——方法和特点、应用于微加工传感器技术中的多孔硅的优点、电阻式气体传感器的孔隙度、合成方法、沸石——特性及应用、沸石作为化学传感器中的辅助相、沸石作为功能相等。

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本书从温度测量实际出发，全面系统地介绍了温度计量与测试的基本原理与实用测温技术。全书内容包括：温度与温标的基础知识及测温技术的新进展，膨胀式温度计、电阻温度计、热电温度计及辐射温度计的工作原理、结构、特性、选择与应用，光纤温度传感器等新型温度传感器，测温防爆技术，热电偶保护管所用材料的分类、特性及应用，温度量值传递、测温系统在线原位校准与标准化，固体内部与表面、气体、高温熔体、核电站、芯片与半导体以及航空航天、冶金、石油化工等领域的实用测温技术与应用。本书内容全面、新颖，紧密联系实际，反映了 外有关测温的新理论、新动向，具有很强的系统性、科学性、实用性。 本书可供从事热工计量测试的工程技术人员、科研工作者参考，也可作为高等院校相关专业师生的教学用书或参考书。

《检验仪器分析》以近年来医学实验室常用的基本检验仪器和先进的专业检验仪器为主线，重点介绍了仪器的分类、工作原理、基本结构、性能指标与评价、使用与校准、仪器维护与常见故障处理等内容，重视仪器的质量控制和管理，反映了快速发展的医学实验室检验仪器的现状，对学生的上岗能力、临床应用能力和专业拓展能力的培养有重要作用。 全书共13章，包括绪论、显微镜、离心机、光谱分析相关仪器、色谱与质谱分析相关仪器、生化分析相关仪器、免疫分析相关仪器、血液分析相关仪器、尿液检验相关仪器、微生物检验相关仪器、细胞分子生物学检验相关仪器、即时检验相关仪器以及实验室自动化系统与实验室信息系统等。内容新颖、务实、针对性强，在仪器的工作原理和基本结构等描述上，大量使用简图、线图、实物图；在不同分型仪器的表

介绍了气象仪器的基本原理，以及基本的使用、设计、开发基础。以WMO的基本观测方法及规范为依据，介绍了仪器设计的基础知识及数据通信技术，介绍了各气象要素传感器的工作原理以及温度、湿度、气压、风向风速、降水、辐射等要素的气象检测仪器的设计方法，并在此基础上介绍了综合气象观测系统以及气象观测的质量保证体系。

本手册是一部自动控制原理和自动化仪表在实际工业生产过程中应用的工具书。 手册共分6篇32章，主要内容包括工业生产过程和自动控制系统基础知识；测量仪表和执行器；DCS、PLC、现场总线及工业计算机技术； 控制技术及企业综合自动化；工业生产过程自动控制应用示例，其中包括：化工、炼油、火力发电和钢铁生产等过程； 还介绍了仪表控制系统工程设计的基本知识。 本手册可供广大从事仪表和自动控制的工程技术人员使用，也可作为大专院校师生以及科技管理工作者的常用参考资料。