本书着重介绍了半导体制造设备,并从实践的角度出发,选取了具有代表性的设备进行讲解。为了让读者加深对各种设备用途的理解,采用了一边阐述半导体制造工艺流程、一边说明各制造工艺中所使用的制造设备及其结构和原理的讲解方式,力求使读者能够系统性地了解整个半导体制造的体系。本书可作为从事集成电路工艺与设备方面工作的工程技术人员,以及相关研究人员的参考用书,也可作为高等院校微电子、集成电路相关专业的规划教材和教辅用书。
本书是实用电子技术的入门读物。全书采用要诀、说明与图解相结合的形式,将电子技术基础知识和基本操作技能编写成要诀形式介绍给广大电子初学者,具有朗朗上口,易懂好记的特点。本书内容丰富、图文并茂、实用操作性强。主要内容包括电子技术基础、电子元器件的参数与检测、模拟电子电路、数字电子电路、电器维修与电子制作。