本书阐述了低温等离子体诊断的基本原理与重要技术。从等离子体的基本概念与性质、低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程，到低温等离子体的探针诊断技术及其应用、光谱诊断技术及其应用、质谱诊断技术及其应用、离子能量诊断技术及其应用、波干涉诊断技术、等离子体阻抗分析技术及其应用，较全面地介绍了低温等离子体诊断的基础知识，总结了该领域近年来的一些新进展，提供了低温等离子体诊断应用的实例。
目前，我国的工业正在高速发展的时期，VOCs的使用量与日俱增。现在我国对VOCs排放量并没有官方的统计，估计我国VOCs的年排放量2000万t左右。其排放控制的处理设备将是一个巨大市场。如若我国不掌握有效的污染控制新技术，要么这个巨大的市场将拱手让给外国公司，要么我国的大气环境中VOCs的污染将持续的恶劣下去。而低温等离子体法处理VOCs的技术，能够有效弥补传统技术所具有的缺陷。因此，本书将针对该技术在工业源VOCs治理方面展开讨论，并希望其能够早日实现市场化发展。
