本书系统全面地提供了关于近20种传感器的理论(物理原理)、设计和实际应用的知识体系。主要涵盖了数据获取、传递函数、传感器特性、感知的物理原理、传感器的光学元件及接口电路等基本原理, 以及人体探测器、位置与位移和水平传感器、速度和加速度传感器、力和力变传感器、压力传感器、流量传感器、声传感器、湿度传感器、光探测器、电离辐射 探测器、温度传感器、化学和生物传感器及传感器材料与技术等领域的技术与应用。结构层次分明, 内容翔实丰富, 希望能为广大读者的学习和研究带来帮助。 本书可供传感器领域的研发设计人员、应用工程师、技术人员, 以及对现代仪器感兴趣的研究人员使用, 也可供高等院校相关专业本科生及研究生参考。
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
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《液压元件选型与系统成套技术》分上下两篇。上篇在对液压泵、马达、缸和各类液压辅件的基本原理进行简要介绍基础上，重点介绍其分类、产品及选型要点。下篇在介绍液压装置的结构类型及其成套技术要点基础上，重点介绍液压泵站、液压阀组、液压总成的设计方法及其安装调试、运转维护和故障诊断。 《液压元件选型与系统成套技术》可供各行业液压气动技术的一线工作人员（设计研发、加工制造、安装调试、操作维护、故障诊断及点检定检、管理营销和教育培训等）使用，也可作为高等院校、职业院校的选修课和实训课教材、课程设计和毕业设计及科研开发的参考书，也可作为设备和技术培训机构及工矿企业的短期培训、上岗培训教材及自学教材，同时可供液压技术爱好者学习参阅。
本书提供了材料及其工艺选择的系统方法。 全书基于独特的数据结构，详细阐释了金属材料、陶瓷和玻璃材料、复合材料、聚合物材料等多类材料构成的材料性能图表，并结合公式对材料性能进行解读，确定不同加工工艺、不同材料的选用。 全书共分17章，包含设计过程、工程材料及其性能、材料性能图、材料选择的基本原则与案例等基础内容，多约束与冲突目标及案例、材料与形状的组合选择及案例、杂化材料设计及案例、工艺与工艺选择等专业内容，并从材料与环境、材料与工业设计，以及革新的动力三个方面做了阐述与展望。在光盘中提供了5个附录，介绍了多种材料的相关数据。 读者可以从本书的案例分析开始，依据自身经验的积累，逐级提升问题的复杂程度，直至针对新的设计问题进行建模，形的材料指标和新的材料选用。 本书可
