本书从应用的角度出发，介绍了扫描电镜和能谱仪的基本原理及其在实际工作中的一些典型应用。全书分为上、下两篇和一些相关的附录。上篇包括~9章，主要论述了扫描电镜的原理、结构、操作要点和应用中几种常见的图像质量问题，以及一些改善图像质量的应对方法和措施，也列举了多种电子元器件在电应力和环境应力等作用下的一些典型失效案例。书中还介绍了有关电镜和能谱仪的维护、保养及安装场地的选择等注意事项，以供用户在规划和选择安装场地时参考。 下篇包括0~18章，主要介绍了X射线能谱仪的原理、数据采集和处理及具体的应用技术，其中包括Si(Li)与SDD新旧两种谱仪探测芯片的基本原理，以及能谱仪在定性、定量分析中常遇到的一些棘手问题及应对方法。还简略地介绍了罗兰圆波谱仪和平行光波谱仪的原理及它们各自的特点。 书中的附录
汇总了作者团队近年来在微纳光子器件研究领域的**研究成果，系统介绍纳米光子器件的工作原理、设计方法、模拟 段、制作工艺、测试流程，以及应用领域等，并就深度学习、神经网络、梯度下降、启发式算法，包括遗传算法、二元搜索算法、粒子群优化等AI设计算法在微纳光子器件设计领域的应用展开讨论。本书按照微纳光子器件的种类和应用组织撰写， 部分硅基片上微纳光子器件，包括第1章～第4章，主要介绍亚波长光栅耦合器、分束器、滤波器等。第二部分石墨烯太赫兹波束调控器件，包括第5章～第8章，主要介绍石墨烯太赫兹波束调控器件。第三部分超表面和光子晶体器件，包括第9章～ 2章，主要介绍超透镜、混合材料超表面等。第四部分微纳光子器件的智能算法设计，包括 3章和 4章，主要介绍智能算法所设计的分束器等。第五部分微纳光子器件的应用
