光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

《惯性仪器测试与数据分析》比较系统和全面地介绍了陀螺仪、加速度计和惯导系统的测试原理以及典型的数据分析方法。全书内容可大致分为三个部分：①惯性器件测试部分，介绍了几种常见惯性器件的工作原理和误差建模、惯性器件测试的基本原理和方法以及实验室中常用的惯性仪器测试设备；②数据分析部分，包括回归分析、时间序列分析、频谱分析、阿仑方差分析和系统的kalman滤波等方法；③惯导系统的标定技术部分，结合作者的部分科研成果，详细介绍了捷联惯导系统的标定模型、分立标定方法以及系统级标定方法。书后附有matlab仿真程序可供参考，还有练习题可供读者拓展学习或学生练习使用。 本书可作为导航制导与控制、仪器仪表及相关专业的本科生、研究生的教学用书和参考书，也可供从事相关专业

《惯性仪器测试与数据分析》比较系统和全面地介绍了陀螺仪、加速度计和惯导系统的测试原理以及典型的数据分析方法。全书内容可大致分为三个部分：①惯性器件测试部分，介绍了几种常见惯性器件的工作原理和误差建模、惯性器件测试的基本原理和方法以及实验室中常用的惯性仪器测试设备；②数据分析部分，包括回归分析、时间序列分析、频谱分析、阿仑方差分析和系统的kalman滤波等方法；③惯导系统的标定技术部分，结合作者的部分科研成果，详细介绍了捷联惯导系统的标定模型、分立标定方法以及系统级标定方法。书后附有matlab仿真程序可供参考，还有练习题可供读者拓展学习或学生练习使用。 本书可作为导航制导与控制、仪器仪表及相关专业的本科生、研究生的教学用书和参考书，也可供从事相关专业的科研和工程技术人员

本书分为两个部分：第壹部分从非数学角度简要综述了解决结构振动问题的方法，并介绍了一些试验模态分析所需的基本理论、信号处理、激励技术、模态参数识别等内容；第二部分主要从现实经验出发，讲述了测试设置、锤击测试、激振器测试和参数估计的注意事项，以及试验过程中的一些经验与技巧，并介绍了一些模态实例。本书语言生动，通俗易懂，内容侧重于模态测试实用技术及实践经验，可以帮助模态测试相关人员轻松、快速、准确地掌握基本概念、方法和技巧，提升工程实践能力。本书可以作为机械制造、汽车、航空航天、石油化工、海洋工程、船舶等领域的工程技术人员和科研工作者从事模态测试工作的参考书，也可以作为理工类院校师生学习模态测试理论和方法的参考教材。

本书以机械工程制图、识图的基本知识、基本理论、基本图形符号、基本画法和基本读法为基础,以机械工程图样实例为分析对象,全面介绍了机械工程图的画法和识读方法。机械工程图分为机械工程图样和机械工程简图,包括总图、外形图、布置图、装配图、零件图、安装图、包装图、捆绑加固图、机构运动简图、电气工程图、液压原理图、气动原理图、管路系统简图、管道图、铸件图、锻件图、钣金图、焊接图、模具图、夹紧和定位图等。 本书贯彻新颁布的标准,全面介绍了国家标准《技术制图》和国家标准《机械制图》;摘要介绍了与机械工程制图相关的国家标准和行业标准;比较介绍了、美国、日本、俄罗斯制图标准;重点介绍了零件标准结构、常用件和标准件基本知识和画法;详细介绍了有关图样管理方面的知识。全书将机械工程制图理论知识与机械工程制图应用

《新型喷灌装备设计理论与技术》是作者袁寿其、李红、施卫东等多年从事新型喷灌装备设计理论与技术研究工作的总结。全书共七章，包括隙控式全射流喷头理论与设计、变量喷洒技术、射流式自吸喷灌泵的理论与设计方法、新型井用潜水泵的理论与设计方法、轻小型喷灌机组优化设计理论与技术、智能控制轻型移动喷灌机组以及喷灌和软管灌溉两用轻小型机组。????《新型喷灌装备设计理论与技术》可供从事喷灌技术和节水灌溉工程研究工作的工程技术人员及高等学校相关专业的师生参考。

全书包括上、下两篇，上篇介绍热工检测仪表工程，内容包括热工仪表的分类及测量常识，压力、压差测量及仪表、温度测量仪表、流量测量仪表、物位测量仪表、显示仪表的结构、原理及调校、热工及自动化仪表的安装与调试，仪表管线及附件安装，仪表系统的防护。下篇介绍热力工程，内容包括锅炉及辅助设备安装，供热管网工程，热力站及换热器的结构、性能及安装等。本书供从事热工仪表工程、热力工程的安装、检测、围护工作的技术人员使用，有关专业大专院校师生也可作为教学参考读物。

《液压元件选型与系统成套技术》分上下两篇。上篇在对液压泵、马达、缸和各类液压辅件的基本原理进行简要介绍基础上，重点介绍其分类、产品及选型要点。下篇在介绍液压装置的结构类型及其成套技术要点基础上，重点介绍液压泵站、液压阀组、液压总成的设计方法及其安装调试、运转维护和故障诊断。 《液压元件选型与系统成套技术》可供各行业液压气动技术的一线工作人员（设计研发、加工制造、安装调试、操作维护、故障诊断及点检定检、管理营销和教育培训等）使用，也可作为高等院校、职业院校的选修课和实训课教材、课程设计和毕业设计及科研开发的参考书，也可作为设备和技术培训机构及工矿企业的短期培训、上岗培训教材及自学教材，同时可供液压技术爱好者学习参阅。

《叶片式泵 通风机 压缩机（原理、设计、运行、强度）》既深入阐述了叶片式流体机械的原理，又具体介绍了各种机器的设计方法，还介绍了流体机械的运行特性和零部件的强度计算等内容。《叶片式泵 通风机 压缩机（原理、设计、运行、强度）》主要包括四部分内容：叶轮机械的基本概念和基本定理，平面叶栅和离心叶轮内的流动特性，各种损失的计算；离心式流体机械的叶轮和固定过流部件的水力设计，气动设计和热力设计，圆柱形叶片和双曲率叶片的设计方法，压缩机的冷却和冷却器设计；轴流式流体机械基元级的设计，轴流泵和通风机的设计以及多级轴流压缩机的设计；流体机械的运转特性，喘振、失速、联合和调节等内容，主要零部件的强度计算，转子的临界转速计算以及转子的平衡等内容。 《叶片式泵 通风机 压缩机（原理、设计、运行、强度

《模态分析与实验》讲授模态分析理论与模态试验，介绍解析模态分析、实验模态分析、数字信号处理、模态参数识别、模型验证、模态参数应用以及模型修正和预试验分析等基本理论，旨在帮助读者通过模态实验分析了解结构的动力学特性，进而修改模型、优化设计，学会使用实验模态分析的专用软件程序和试验设备。 《模态分析与实验》可作为普通高等院校机械工程本科生的基础平台课教材，也可作为机械工程、车辆工程等专业研究生的专业课教材，同时可供从事机械工程的科技工作者参考。

本书汇集了黑色冶金起重机、有色冶金起重机、热加工起重机共19个专用产品，介绍了各类冶金起重机的用途、构造特点、设计计算要点等内容，以供冶金起重机设计者和使用者参考。

现代显微学在纳米技术领域的研究和发展中起到“眼睛”和“手”的功能。迄今，人们仍在孜孜不倦地寻找纳米尺度上的“火眼金睛”。本手册的目的在于提供关于各种显微学的原理及其在该迅猛发展的领域内应用的综述参考书。本手册共有22个专题，每一专题都由不同研究领域的、处于世界前沿的科学家撰写。本书是第1卷，涵盖的范围包括共聚焦光学显微镜、扫描近场光学显微镜、各种扫描探针显微术、离子显微镜等，共有10个专题。本书力图使读者对所叙述的方法有一个概念上的理解，而不是只停留在对理论的堆砌上。在每一个专题里，都会叙述相关的实例及其应用并加以讨论，使读者对每种显微技术都能明了和理解；还会进一步展示各章之间的内在联系，表明每一种技术如何在综合性的、复杂的测试中各自扮演独特的角色，解决具体的问题。

本书为《压力容器实用技术丛书》之一。作者运用压力容器腐蚀与控制课题研究的理论，并结合作者在压力容器腐蚀与控制研究中多年积累的实践经验，系统、全面地论述了压力容器中各种腐蚀的机制、成因及影响因素，并提出了相应地具体控制措施。本书对各种金属种类与腐蚀性介质接触多辅助以实例说明，具有较强的实用性和指导性。 本书适合从事压力容器领域实例技术工作的工程技术人员阅读参考，也可供相关专业的大学生参考学习。

本手册论述了摩擦、磨损与润滑的基本概念和理论基础知识，润滑材料及其性能检测和评定，润滑系统的设计和润滑装置，典型机械零部件及设备的润滑，密封技术，机械设备润滑状态的监测与诊断技术，设备润滑管理与维护等方面的内容。提供了有关的技术标准和参考资料，并附有润滑技术常用名词术语、图形符号，外润滑油、脂品种对照，设备润滑常用资料，润滑油、脂产品及试验方法标准目录等。 本书内容系统、全面、实用，是从事机械设计、润滑技术和设备维修技术人员的工具书，也可供高等院校有关专业师生参考。