光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
纤维增强复合材料具有卓越的物理机械性能,在航空航天、高铁、汽车等工程领域得到广泛应用。《纤维增强复合材料结构无损检测和评价(英文版)》聚焦于纤维增强复合材料的缺陷检测、定位和评价。《纤维增强复合材料结构无损检测和评价(英文版)》主要介绍纤维增强复合材料的介绍和研究背景,纤维增强复合材料无损检测与评价导论,纤维增强复合材料的外观试验,纤维增强复合材料结构无损检测技术,纤维增强复合材料的红外热成像测试与评价,纤维增强复合材料太赫兹测试技术,声发射技术在纤维增强复合材料检测中的应用,纤维增强复合材料结构的其他无损检测方法,以及纤维增强复合材料无损检测的结论、发展现状与展望等内容。
《碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法(精)》重点介绍碳/碳化硅(C/SiC)、硅/碳化硅(si/SiC)两相涂层、化学气相沉积碳化硅(CVDSiC)、反应烧结碳化硅(RBSiC)和烧结碳化硅(sSiC)等5种典型国产SiC光学材料光学面形加工的基础理论和工艺。全书分为8章.主要介绍了5种典型SiC光学材料的机械特性、显微结构与力学行为特性,C/SiC、RBSiC与SSiC3种坯体材料在非球面磨削过程中的去除机理,碳化硅反射镜研磨工艺参数对材料去除率、表面粗糙度和亚表面裂纹深度的影响规律,SiC光学材料的传统抛光、芬顿辅助抛光、磁流变抛光与离子束抛光的加工特性,以及一些加工实例。李圣怡、戴一帆等专著的《碳化硅光学反射镜超精密加工的基础理论与方法(精)》可供从事空间光学设计与制造,光学加工、超精密加工与测量,光学精密仪器等精密工程领域
本书把原位激光技术与超声振动去应力技术结合,以作者团队长期的科研成果为基础,系统阐述了激光对材料微熔池温度场、应力场的影响规律,残余热应力的产生机理,超声振动对激光焊接熔池应力场的动态响应规律,超声振动对焊接热过程的影响规律,超声振动对熔池凝固行为的影响规律,超声振动对焊缝力学行为的影响规律,为高频超声去应力激光焊修技术在航空乃至民用原位修理领域的应用做出理论和实践探索。 本书对于从事激光加工技术应用和研究、材料加工成形、工程维修等领域的工程技术人员及高等院校师生有较强的参考价值。
本书主要对环境振动试验的来源、振动试验对实验室的要求、振动夹具的设计要素、振动试验的操作规范、振动设备故障的处理、振动试验结果的评判、振动冲击对产品的影响机理、产品的抗振设计与验证等振动应用领域的相关因素着重进行介绍。本书大量采用来自工作实践的案例,并结合振动理论、振动相关标准、质量审核等振动试验相关因素编制而成,因此是振动试验工作理论与实践的结合,是少有的介绍振动试验应用的一本书籍。本书对人们快速了解振动试验、振动相关标准、各类质量审核、环境研究对产品设计的价值,对振动工作人员提高振动设备的采购质量、提高振动夹具的设计质量、提高振动试验结果的复现性,以及对相关人员设计和建造一个完善的实验室等,都能起到积极的作用。本书适合振动应用领域相关工程技术人员使用,也可作为大学本科、
单晶硅作为一种典型的硬脆半导体材料,广泛应用于微电子领域。超精密加工技术可以实现硅表面的高质量加工,但加工方法需要很高的实验条件和工作成本。 《单晶硅超精密加工技术仿真》以材料力学、超精密加工等学科为理论基础,建立单晶硅超精密车削的有限元和分子动力学模型,优化切削参数以及刀具参数,解决传统研究中只能通过大量实验来确定工艺参数的弊端,降低实验成本,提高加工效率。 《单晶硅超精密加工技术仿真》适合从事超精密加工技术研究的科研工作者、工程技术人员或高校教师、本科生、研究生阅读,也可以作为科普读物,加深读者对这一领域的了解。
本书综述了数字化虚拟样机技术的发展历程、关键技术、未来发展趋势;以靠前很具代表性的复杂机械系统动力学建模及数字化仿真软件ADAMS/View为平台,对ADAMS/View具体应用、参数化建模、专业化二次开发进行了全面、具体阐述,将ADAMS/View不错编程与工程实践可靠性分析相结合,针对串联机器人、明弧焊接机器人和滚动轴承等机械领域典型机构进行系统可靠性分析,提出并建立了对多体复杂机械系统误差虚拟可靠性试验的方法。本书分析了ADAMS/View不错参数化编程、多体复杂机械系统误差虚拟可靠性试验实现方法等关键技术。在工程应用价值上,本书将指导企业产品的研发和创新,使得机械系统从源头上对产品的可靠性进行控制,保证产品能够长寿命、高可靠性和低成本开发。
《风力机翼型及叶片优化设计理论/绿色能源科学与技术丛书·卷三》介绍了风力机专用翼型、叶片气动外形及其内部结构的设计理论与方法,主要包括五部分内容:风力机专用翼型族的设计理论与方法,新翼型族的风洞试验,叶片气动外形设计与优化,复合材料风力机新型叶片结构优化设计以及叶片二元翼段气动弹性稳定性分析。除了阐述风力机叶片设计相关基本概念和基本理论外,书中重点介绍了目前风力机专用翼型设计中先进的理念与方法、叶片气动性能优化设计方法以及气动载荷条件下的复合材料风力机叶片结构优化设计方法,并给出了结果评价。 《风力机翼型及叶片优化设计理论/绿色能源科学与技术丛书·卷三》可作为高等院校风电相关专业的研究生以及风电相关行业科研院所的工作人员的参考书,也可供机械工业部门和其他工业部门气动与结构设计