《半导体干法刻蚀技术(原书第2版)》是一本全面系统的干法刻蚀技术论著。针对干法刻蚀技术,在内容上涵盖了从基础知识到最新技术,使初学者能够了解干法刻蚀的机理,而无需复杂的数值公式或方程。《半导体干法刻蚀技术(原书第2版)》不仅介绍了半导体器件中所涉及材料的刻蚀工艺,而且对每种材料的关键刻蚀参数、对应的等离子体源和刻蚀气体化学物质进行了详细解释。《半导体干法刻蚀技术(原书第2版)》讨论了具体器件制造流程中涉及的干法刻蚀技术,介绍了半导体厂商实际使用的刻蚀设备的类型和等离子体产生机理,例如电容耦合型等离子体、磁控反应离子刻蚀、电子回旋共振等离子体和电感耦合型等离子体,并介绍了原子层沉积等新型刻蚀技术。
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本书从应用的角度出发,介绍了扫描电镜和能谱仪的基本原理及其在实际工作中的一些典型应用。全书分为上、下两篇和一些相关的附录。上篇包括~9章,主要论述了扫描电镜的原理、结构、操作要点和应用中几种常见的图像质量问题,以及一些改善图像质量的应对方法和措施,也列举了多种电子元器件在电应力和环境应力等作用下的一些典型失效案例。书中还介绍了有关电镜和能谱仪的维护、保养及安装场地的选择等注意事项,以供用户在规划和选择安装场地时参考。 下篇包括0~18章,主要介绍了X射线能谱仪的原理、数据采集和处理及具体的应用技术,其中包括Si(Li)与SDD新旧两种谱仪探测芯片的基本原理,以及能谱仪在定性、定量分析中常遇到的一些棘手问题及应对方法。最后还简略地介绍了罗兰圆波谱仪和平行光波谱仪的原理及它们各自的特点。 书中的
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本书是全球本真正意义上介绍GNSS的书籍,描述了以GPS、格洛纳斯和伽利略这三大系统为主要对象的GNSS的概况,详尽探讨了BPSK-R、BOC、MBOC/TMBOC/CBOC、AltBOC等多种信号调制技术和Interplex、CASM两种复用调制方式,全面剖析了三大系统的卫星信号体制和导航电文,具体给出了三大系统的卫星在它们各自相应时空坐标系中的位置和速度的计算步骤,清晰地解释了伪距、载波相位和多普勒频率等GNSS测量值的定义及其各种测量误差源,深刻、透彻地讨论了单一GNSS、联合GNSS和差分GNSS的定位算法,介绍了多个可用来定量评估不同卫星调制信号在码跟踪精度、互操作性、抗干扰、抗多径等方面性能的参量和方法,归纳总结了现代化GNSS在星座和信号设计方面上所具有的一些优良特性和发展趋势。本书理论分析清晰,实用性强,并且内容力求反映近些年来出现的GNSS技术与成果。
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近年来,曾经如日中天的日本电子产业一路溃败。本书基于详实的统计资料,就其经过和原因进行了详细的阐述。在回顾日本电子产业几十年来荣辱史的同时,也从历史背景、技术发展、产业结构变化和优选趋势等多角度剖析了日本电子产业衰落至此的原因。
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