《MEMS多晶圆旋转机械：涡轮机、发电机和发动机》作为PowerMEMS领域的一本里程碑式的著作，是由麻省理工学院牵头、历时13年的MEMS微发动机项目研究成果的一个总结。该项目涉及了多个学科的理论与技术，涵盖微制造、薄膜技术、材料科学、结构学、燃烧与传热学、电机科学等多个领域，除麻省理工学院之外还有佐治亚理工学院、克拉克亚特兰大大学、马里兰大学帕克分校等机构一百余名科研人员参与了该项目的研究。PowerMEMS的最终目的是建立微型发电系统，以代替部分现有的常规化学电池系统。便携式电子设备在民用及军事领域的日益普及和发展，致使常规化学电池在能量密度、质量、尺寸等方面成为这类设备的制约因素，实际应用迫切需要一种体积和质量更小的高能量密度电源系统。随着无线无源传感器网络、微型机器人、微型无人机等装置的不断发展，同样
