本书着重介绍了半导体制造设备,并从实践的角度出发,选取了具有代表性的设备进行讲解。为了让读者加深对各种设备用途的理解,采用了一边阐述半导体制造工艺流程、一边说明各制造工艺中所使用的制造设备及其结构和原理的讲解方式,力求使读者能够系统性地了解整个半导体制造的体系。本书可作为从事集成电路工艺与设备方面工作的工程技术人员,以及相关研究人员的参考用书,也可作为高等院校微电子、集成电路相关专业的规划教材和教辅用书。
本书共分为5章,分别包括Tablea Desktop软件简介、数据连接与融合、常用图表制作、图表常用功能和案例介绍。本书着重介绍Tableau Desktop软件在电力企业资产管理中的应用,书中所用到的样本数据均进行了处理。本书可操作性强,对Tableau Desktop软件中的常用图表、常用功能的使用步骤均进行了详细介绍。
组网雷达系统是雷达系统建设发展的重要趋势,在组网雷达系统研制与试验过程中,建模与仿真是一种极为有效的手段,能提高效率,降低成本,能为组网雷达系统关键技术及其对抗技术研究提供支撑。本书除了介绍组网雷达系统建模与仿真的研究进展,重点对单基地雷达系统、分布式组网雷达、集中式组网雷达、雷达交接班、双多基地雷达、组网雷达对抗等建模与仿真方法、组网雷达对抗效能评估等七个方面进行了深入的探讨,很后给出了组网雷达系统对抗仿真系统典型实例。