光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了 主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

本书系统总结了作者近年来在合成孔径雷达（SAR）卫星图像应用技术研究方面的成果。重点介绍近年来高速发展的高分辨率SAR卫星发展和应用。绪论主要介绍当前 外SAR卫星系统的发展以及在海洋、陆地等方面的应用现状。 ～4章主要从SAR卫星成像原理、成像处理和图像处理等方面介绍SAR图像应用的基础知识。第5章重点论述高分辨率SAR卫星图像呈现的典型特性。第6～8章论述SAR卫星当前的典型应用技术，并结合具体案例进行了分析。第9章重点介绍SAR卫星与可见光、红外、高光谱等其他手段融合应用的基本情况。 0章针对后续技术发展进行了展望

光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了 主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

本书系统总结了作者近年来在合成孔径雷达（SAR）卫星图像应用技术研究方面的成果。重点介绍近年来高速发展的高分辨率SAR卫星发展和应用。绪论主要介绍当前 外SAR卫星系统的发展以及在海洋、陆地等方面的应用现状。 ～4章主要从SAR卫星成像原理、成像处理和图像处理等方面介绍SAR图像应用的基础知识。第5章重点论述高分辨率SAR卫星图像呈现的典型特性。第6～8章论述SAR卫星当前的典型应用技术，并结合具体案例进行了分析。第9章重点介绍SAR卫星与可见光、红外、高光谱等其他手段融合应用的基本情况。 0章针对后续技术发展进行了展望

平流层飞艇可在高空长时间驻留，在遥感探测等领域具有广阔的应用前景。本书共6章，介绍了艇载高分辨率成像探测系统技术。对于艇载微波载荷，分析了大口径共形轻量化天线关键技术，基于子阵结构大口径稀疏阵列天线论述了主动雷达和外辐射源雷达的成像探测性能，同时介绍了基于大型阵列的低频信号产生方法。对于艇载光学载荷，分析了大口径轻量衍射光学系统关键技术，阐述了相干探测光学成像概念，在此基础上论述了激光雷达和红外相机的成像探测性能，探讨了激光本振红外阵列探测器及其在干涉和相干成像中的应用问题。

本书是作者及合作者在从事 高技术研究发展计划激光领域工作期间公开发表的论文的汇编，包括激光概述、对几种激光器技术的研究和评述、激光技术的可能应用、光束质量研究、高能激光系统的一些物理问题等。

本书是作者及合作者在从事 高技术研究发展计划激光领域工作期间公开发表的论文的汇编，包括激光概述、对几种激光器技术的研究和评述、激光技术的可能应用、光束质量研究、高能激光系统的一些物理问题等。

本书针对无线传感器网络领域内的基本概念、新理念和新研究成果等，提供一个全面的指南，不仅对这一领域的核心问题进行了详细的论述，而且对一些细节问题也提供了价值的资料。其重点关注内容包括信息处理技术、网络拓扑、网络覆盖、MAC协议和路由协议、网络自组织协议、网络QoS、嵌入式OS技术、资源分配技术、低功耗技术、网络安全技术、WSN中间件技术、移动WSN技术等。

光刻技术是所有微纳器件制造的核心技术。特别是在集成电路制造中，正是由于光刻技术的不断提高才使得摩尔定律（器件集成度每两年左右翻一番）得以继续。本书覆盖现代光刻技术的主要方面，包括设备、材料、仿真（计算光刻）和工艺，内容直接取材于 集成电路制造技术，为了保证 性，特别侧重于 32nm 节点以下的技术。书中引用了很多工艺实例，这些实例都是经过生产实际验证的，希望能对读者有所启发。

本书是作者及合作者在从事 高技术研究发展计划激光领域工作期间公开发表的论文的汇编，包括激光概述、对几种激光器技术的研究和评述、激光技术的可能应用、光束质量研究、高能激光系统的一些物理问题等。

本书系统总结了作者近年来在合成孔径雷达（SAR）卫星图像应用技术研究方面的成果。重点介绍近年来高速发展的高分辨率SAR卫星发展和应用。绪论主要介绍当前 外SAR卫星系统的发展以及在海洋、陆地等方面的应用现状。 ～4章主要从SAR卫星成像原理、成像处理和图像处理等方面介绍SAR图像应用的基础知识。第5章重点论述高分辨率SAR卫星图像呈现的典型特性。第6～8章论述SAR卫星当前的典型应用技术，并结合具体案例进行了分析。第9章重点介绍SAR卫星与可见光、红外、高光谱等其他手段融合应用的基本情况。 0章针对后续技术发展进行了展望

本书系统阐述了多极化矢量天线阵列信号处理的理论与方法，从极化任意秩、宽线性、分离、解相关等多个角度，发展了新的极化—空间域波束形成技术；提出了基于极化导向扫描对齐、时滞分集正交表示、主核分析、收发优化等的高精度信号参数估计方法；延展了矢量天线阵列在极化波束方向图合成和雷达目标探测中的应用。

本书系统阐述了多极化矢量天线阵列信号处理的理论与方法，从极化任意秩、宽线性、分离、解相关等多个角度，发展了新的极化—空间域波束形成技术；提出了基于极化导向扫描对齐、时滞分集正交表示、主核分析、收发优化等的高精度信号参数估计方法；延展了矢量天线阵列在极化波束方向图合成和雷达目标探测中的应用。

本书系统总结了作者近年来在合成孔径雷达（SAR）卫星图像应用技术研究方面的成果。重点介绍近年来高速发展的高分辨率SAR卫星发展和应用。绪论主要介绍当前 外SAR卫星系统的发展以及在海洋、陆地等方面的应用现状。 ～4章主要从SAR卫星成像原理、成像处理和图像处理等方面介绍SAR图像应用的基础知识。第5章重点论述高分辨率SAR卫星图像呈现的典型特性。第6～8章论述SAR卫星当前的典型应用技术，并结合具体案例进行了分析。第9章重点介绍SAR卫星与可见光、红外、高光谱等其他手段融合应用的基本情况。 0章针对后续技术发展进行了展望

本书是作者及合作者在从事 高技术研究发展计划激光领域工作期间公开发表的论文的汇编，包括激光概述、对几种激光器技术的研究和评述、激光技术的可能应用、光束质量研究、高能激光系统的一些物理问题等。

本书是作者及合作者在从事 高技术研究发展计划激光领域工作期间公开发表的论文的汇编，包括激光概述、对几种激光器技术的研究和评述、激光技术的可能应用、光束质量研究、高能激光系统的一些物理问题等。

本书是作者及合作者在从事 高技术研究发展计划激光领域工作期间公开发表的论文的汇编，包括激光概述、对几种激光器技术的研究和评述、激光技术的可能应用、光束质量研究、高能激光系统的一些物理问题等。

本书是作者及合作者在从事 高技术研究发展计划激光领域工作期间公开发表的论文的汇编，包括激光概述、对几种激光器技术的研究和评述、激光技术的可能应用、光束质量研究、高能激光系统的一些物理问题等。

本书系统阐述了多极化矢量天线阵列信号处理的理论与方法，从极化任意秩、宽线性、分离、解相关等多个角度，发展了新的极化—空间域波束形成技术；提出了基于极化导向扫描对齐、时滞分集正交表示、主核分析、收发优化等的高精度信号参数估计方法；延展了矢量天线阵列在极化波束方向图合成和雷达目标探测中的应用。

《中大功率开关变换器》对中大功率开关变换器系统的多学科方面进行了有关讨论，包括基本的电力电子技术、数字控制和硬件、传感器、模拟信号的预处理、保护器件和故障管理、脉冲宽度调制（PWM）算法、中大功率的开关变换器等。《中大功率开关变换器》适合从事电力电子技术设计与制造的工程技术人员阅读，也可作为电气自动控制技术相关专业的本科生和研究生的参考书。