光刻技术是所有微纳器件制造的核心技术。特别是在集成电路制造中，正是由于光刻技术的不断提高才使得摩尔定律（器件集成度每两年左右翻一番）得以继续。本书覆盖现代光刻技术的主要方面，包括设备、材料、仿真（计算光刻）和工艺，内容直接取材于 集成电路制造技术，为了保证 性，特别侧重于 32nm 节点以下的技术。书中引用了很多工艺实例，这些实例都是经过生产实际验证的，希望能对读者有所启发。

光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了 主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

本书是作者及合作者在从事 高技术研究发展计划激光领域工作期间公开发表的论文的汇编，包括激光概述、对几种激光器技术的研究和评述、激光技术的可能应用、光束质量研究、高能激光系统的一些物理问题等。

本书从全新的视角审视多天线系统，旨在将电磁场与微波、天线与传播、移动通信等理论与技术相结合，以期让读者对多天线系统这一现代移动通信核心技术有 深入的理解。本书从多天线系统的信道模型和信道容量出发，从电磁场和电磁波的角度重新剖析多天线之间的相关性，并分析和评估天线的空间相关性和天线间互耦对于多天线系统信道容量和吞吐率的影响，随后进一步给出解决该类影响的天线去耦合方法。针对多天线系统的不同应用场景，本书紧接着阐述多天线系统在基站、终端和无线能量传输场景中的应用，并给出了评估多天线系统各种关键参数的方法。本书面向的主要读者为从事多天线系统研究、开发和测试的专业技术人员，本书也适合作为高校专业课、选修课或者培训班的教材。

平流层飞艇可在高空长时间驻留，在遥感探测等领域具有广阔的应用前景。本书共6章，介绍了艇载高分辨率成像探测系统技术。对于艇载微波载荷，分析了大口径共形轻量化天线关键技术，基于子阵结构大口径稀疏阵列天线论述了主动雷达和外辐射源雷达的成像探测性能，同时介绍了基于大型阵列的低频信号产生方法。对于艇载光学载荷，分析了大口径轻量衍射光学系统关键技术，阐述了相干探测光学成像概念，在此基础上论述了激光雷达和红外相机的成像探测性能，探讨了激光本振红外阵列探测器及其在干涉和相干成像中的应用问题。

本书参照作者出版的3G、4G畅销书，为读者理解5G NR无线接入网技术提供了一个全新的视角。本书除了介绍5G技术发展背景、市场需求、频谱分配和标准化时间表，以及5G NR R15 RAN的各项技术特点，内容还涵盖了NR物理层结构、高层协议、射频和频谱实现，以及NR与LTE共存和互通。本书不仅详解NR技术各个组成部分的基本知识，还为读者揭示了为什么选择了某个技术解决方案的成因。本书第二版全新阐述了5G NR在2020年冻结并发布的R16版RAN技术细节， 新一些全新的章节和内容，包括未授权频谱中的NR、Rel-16中的NR-U、IAB、Rel-16中的V2X和端到端直连、工业物联网、针对PDCCH的URLLC增强的工业物联网，以及RIM/CL和定位的URLLC增强。还包括NR相关的关键技术要求、设计原则、基本NR传输结构的技术特征（显示它是从LTE继承的，从哪里偏离的）和NR多天线传输功能的原因，详细描述初始NR

光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了 主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

本书从全新的视角审视多天线系统，旨在将电磁场与微波、天线与传播、移动通信等理论与技术相结合，以期让读者对多天线系统这一现代移动通信核心技术有 深入的理解。本书从多天线系统的信道模型和信道容量出发，从电磁场和电磁波的角度重新剖析多天线之间的相关性，并分析和评估天线的空间相关性和天线间互耦对于多天线系统信道容量和吞吐率的影响，随后进一步给出解决该类影响的天线去耦合方法。针对多天线系统的不同应用场景，本书紧接着阐述多天线系统在基站、终端和无线能量传输场景中的应用，并给出了评估多天线系统各种关键参数的方法。本书面向的主要读者为从事多天线系统研究、开发和测试的专业技术人员，本书也适合作为高校专业课、选修课或者培训班的教材。

本书参照作者出版的3G、4G畅销书，为读者理解5G NR无线接入网技术提供了一个全新的视角。本书除了介绍5G技术发展背景、市场需求、频谱分配和标准化时间表，以及5G NR R15 RAN的各项技术特点，内容还涵盖了NR物理层结构、高层协议、射频和频谱实现，以及NR与LTE共存和互通。本书不仅详解NR技术各个组成部分的基本知识，还为读者揭示了为什么选择了某个技术解决方案的成因。本书第二版全新阐述了5G NR在2020年冻结并发布的R16版RAN技术细节， 新一些全新的章节和内容，包括未授权频谱中的NR、Rel-16中的NR-U、IAB、Rel-16中的V2X和端到端直连、工业物联网、针对PDCCH的URLLC增强的工业物联网，以及RIM/CL和定位的URLLC增强。还包括NR相关的关键技术要求、设计原则、基本NR传输结构的技术特征（显示它是从LTE继承的，从哪里偏离的）和NR多天线传输功能的原因，详细描述初始NR

本书参照作者出版的3G、4G畅销书，为读者理解5G NR无线接入网技术提供了一个全新的视角。本书除了介绍5G技术发展背景、市场需求、频谱分配和标准化时间表，以及5G NR R15 RAN的各项技术特点，内容还涵盖了NR物理层结构、高层协议、射频和频谱实现，以及NR与LTE共存和互通。本书不仅详解NR技术各个组成部分的基本知识，还为读者揭示了为什么选择了某个技术解决方案的成因。本书第二版全新阐述了5G NR在2020年冻结并发布的R16版RAN技术细节， 新一些全新的章节和内容，包括未授权频谱中的NR、Rel-16中的NR-U、IAB、Rel-16中的V2X和端到端直连、工业物联网、针对PDCCH的URLLC增强的工业物联网，以及RIM/CL和定位的URLLC增强。还包括NR相关的关键技术要求、设计原则、基本NR传输结构的技术特征（显示它是从LTE继承的，从哪里偏离的）和NR多天线传输功能的原因，详细描述初始NR

本书是作者及合作者在从事 高技术研究发展计划激光领域工作期间公开发表的论文的汇编，包括激光概述、对几种激光器技术的研究和评述、激光技术的可能应用、光束质量研究、高能激光系统的一些物理问题等。

本书参照作者出版的3G、4G畅销书，为读者理解5G NR无线接入网技术提供了一个全新的视角。本书除了介绍5G技术发展背景、市场需求、频谱分配和标准化时间表，以及5G NR R15 RAN的各项技术特点，内容还涵盖了NR物理层结构、高层协议、射频和频谱实现，以及NR与LTE共存和互通。本书不仅详解NR技术各个组成部分的基本知识，还为读者揭示了为什么选择了某个技术解决方案的成因。本书第二版全新阐述了5G NR在2020年冻结并发布的R16版RAN技术细节， 新一些全新的章节和内容，包括未授权频谱中的NR、Rel-16中的NR-U、IAB、Rel-16中的V2X和端到端直连、工业物联网、针对PDCCH的URLLC增强的工业物联网，以及RIM/CL和定位的URLLC增强。还包括NR相关的关键技术要求、设计原则、基本NR传输结构的技术特征（显示它是从LTE继承的，从哪里偏离的）和NR多天线传输功能的原因，详细描述初始NR

本书参照作者出版的3G、4G畅销书，为读者理解5G NR无线接入网技术提供了一个全新的视角。本书除了介绍5G技术发展背景、市场需求、频谱分配和标准化时间表，以及5G NR R15 RAN的各项技术特点，内容还涵盖了NR物理层结构、高层协议、射频和频谱实现，以及NR与LTE共存和互通。本书不仅详解NR技术各个组成部分的基本知识，还为读者揭示了为什么选择了某个技术解决方案的成因。本书第二版全新阐述了5G NR在2020年冻结并发布的R16版RAN技术细节， 新一些全新的章节和内容，包括未授权频谱中的NR、Rel-16中的NR-U、IAB、Rel-16中的V2X和端到端直连、工业物联网、针对PDCCH的URLLC增强的工业物联网，以及RIM/CL和定位的URLLC增强。还包括NR相关的关键技术要求、设计原则、基本NR传输结构的技术特征（显示它是从LTE继承的，从哪里偏离的）和NR多天线传输功能的原因，详细描述初始NR

利用软件定义与虚拟化技术，形成可裁剪、可 的弹性无线网络，可为多种应用场景提供差异化的服务能力。《软件定义无线网络及虚拟化》围绕“软件定义无线网络与虚拟化”这一主题，介绍了软件定义与虚拟化技术的发展历程，并从无线网络功能、无线网络平台、无线网络资源三个方面阐述了软件定义与虚拟化技术在无线网络中的应用，介绍了 5G 网络中的软件定义与虚拟化技术，并列举了基于软件定义与虚拟化技术的无线接入网实例。

利用软件定义与虚拟化技术，形成可裁剪、可 的弹性无线网络，可为多种应用场景提供差异化的服务能力。《软件定义无线网络及虚拟化》围绕“软件定义无线网络与虚拟化”这一主题，介绍了软件定义与虚拟化技术的发展历程，并从无线网络功能、无线网络平台、无线网络资源三个方面阐述了软件定义与虚拟化技术在无线网络中的应用，介绍了 5G 网络中的软件定义与虚拟化技术，并列举了基于软件定义与虚拟化技术的无线接入网实例。

平流层飞艇可在高空长时间驻留，在遥感探测等领域具有广阔的应用前景。《艇载高分辨率成像探测系统技术》共6章，介绍了艇载高分辨率成像探测系统技术。对于艇载微波载荷，分析了大口径共形轻量化天线关键技术，基于

本书从全新的视角审视多天线系统，旨在将电磁场与微波、天线与传播、移动通信等理论与技术相结合，以期让读者对多天线系统这一现代移动通信核心技术有 深入的理解。本书从多天线系统的信道模型和信道容量出发，从电磁场和电磁波的角度重新剖析多天线之间的相关性，并分析和评估天线的空间相关性和天线间互耦对于多天线系统信道容量和吞吐率的影响，随后进一步给出解决该类影响的天线去耦合方法。针对多天线系统的不同应用场景，本书紧接着阐述多天线系统在基站、终端和无线能量传输场景中的应用，并给出了评估多天线系统各种关键参数的方法。本书面向的主要读者为从事多天线系统研究、开发和测试的专业技术人员，本书也适合作为高校专业课、选修课或者培训班的教材。