平流层飞艇可在高空长时间驻留,在遥感探测等领域具有广阔的应用前景。《艇载高分辨率成像探测系统技术》共6章,介绍了艇载高分辨率成像探测系统技术。对于艇载微波载荷,分析了大口径共形轻量化天线关键技术,基于
本书是作者及合作者在从事 高技术研究发展计划激光领域工作期间公开发表的论文的汇编,包括激光概述、对几种激光器技术的研究和评述、激光技术的可能应用、光束质量研究、高能激光系统的一些物理问题等。
本书是微波电子测量领域中有关材料电磁参数测量方法的一部很有参考价值的专著。全书设置12章内容,其中,第1章材料的电磁特性、第2章材料表征的微波理论与技术是全书的基础篇章;第3章至第7章为全书的核心篇章,分别介绍了反射法、传输/反射法、谐振器法、谐振微扰法和平面电路法微波电子测量技术;第8章至第12章属于全书的提高篇章,分别对介电常数和磁导率张量、铁电材料、手性材料、微波电输运特性及材料高温介电特性的测量进行了专题介绍。
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了 主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。