徐泰然、梁仁荣、刘立滨编著的《MEMS与微系统--设计制造及纳尺度工程第2版》从工程设计的角度讲解微机电系统,并同时从电子与机械两个层面介绍相关的技术。作者对本书靠前版进行了细致的修订,并额外增加了全新的一章来介绍纳尺度工程。本书首先对纳米技术的发展历史做了一个简要的回顾,然后对各种纳米结构在工程设计方面的基本原理做了详细的介绍,包括形成纳米结构的制造技术、基于分子动力学的工程设计原理以及纳尺度材料中的流体流动与热传导特性等。本书可作为高校微电子、集成电路设计与集成系统等专业本科生和研究生相应课程的教科书或参考书,对于机械工程或电气工程专业的高年级本科生具有很好重要的参考价值,同时可供与集成电路制造技术有关的专业技术人员学习参考。
本书系统介绍了铁电器件与铁电材料的理论背景以及实用性的材料与器件设计、驱动与控制技术及其典型应用。全书共分11章。-2章介绍了铁电材料的晶体结构、铁电起源和铁电唯象理论;第3章介绍了铁电陶瓷材料的一般制备工艺与器件设计方法;第4~6章分别介绍了高介电陶瓷电容、铁电储存器和热释电器件。 作为本书的重点,第7章介绍了压电陶瓷与压电聚合物材料、新的压电晶体材料以及典型的压电器件,包括压电传感器、换能器和压电致动器等。第8-10章介绍了铁电电光器件、热阻器件和新的多铁性磁电器件。最后一章介绍了铁电器件的应用、市场以及铁电器件的未来发展。 本书各章均穿插有例题、常见问题解答和实验演示,各章末均附有该章要点回顾、测验题和习题。 本书是在版基础上根据最近十余年铁电器件领域的新研究和发展修订而成,全