本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术覆盖了集成电路制造所涉及的怕有基本单选工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等对每一种单项工艺,不仅工艺技术加快速热处理、 下一代光刻、分子束外延和金属有机物化学气相淀积等。在此基础上本书讨论了如何将这些单项工艺集成为各种常见的集成电路工艺技术,如CMOS技术、双极型技术和砷化镓技术,还介绍了微电子制造的新领域即微机械电子系统及其工艺技术。本书可作为高等学校微电子专业本科生和研究生相应课程的教科书或参考书,也可供与集成电路制造工艺技术有关的专业技术人员学习参考。
《机器人技术及其应用》系统介绍机器人知识。内容涉及机器人技术的发展简史,机器人的机械结构。机器人运动学和动力学,机器人控制技术。与机器人相关的传感器技术。机器人视觉。最后介绍机器人在工业领域和其它领域的应用,并配有思考题。这是一本比较全面的机器人技术论著。适合作为机电一体化专业和工业自动化专业的本科生和研究生的教材,也适合从事机器人技术研究工作的科技人员和工程技术人员阅读。