《光学光刻和极紫外光刻》是一本的光刻技术专著,内容涉及该领域的各个重要方面。在介绍光刻技术应用上,涵盖了全面又丰富的内容;在论述光刻技术的物理机制和数学模型时,采用了完整而不繁琐的方法,增加了可读性。本书在系统地阐述了光学光刻技术的基本内容后,还专门开辟章节,介绍了的极紫外光刻技术的特点和难点,揭示了极紫外光刻的技术奥秘。本书具有全面、完整、翔实和新颖的特点,它凝聚了作者三十多年光刻领域科研和教学的精华。
本书主要介绍微波激光空间信息网络的基本概念、组成和国内外发展趋势,从整体组网架构和协议、物理层星座设计和拓扑控制、多址接入、路由交换到资源调度等方面,介绍和阐述了空间信息网络体系架构、CCSDS空间信息网络协议、一般星座设计方法、空间信息网络动态拓扑控制机制、多址接入方法、星上微波激光混合交换以及混合链路资源调度方法。