教材、手册的中文化可能是台湾地区近年来在发展科技诸般努力中最弱的一环,但也可能是使科技生根深化最重要的一环。适当的中文教材不仅能大幅提高学习效率,而且经由大家熟悉的文字更能传递理论的逻辑概念、关联脉络以及深层意义,勾画出思路发展,学习的效果更不可以道里计。“材料科学学会”体认到教材中文化的重要性,落实及扩大教学成效,规划出版一系列观念正确、内容丰富的中文教科书。 本书章将微电子材料与工艺作一概览,第二章介绍半导体基本理论。第三章至第十章为集成电路工艺各重要的问题:单晶成长、硅晶薄膜、蚀刻、光刻技术、离子注入、金属薄膜与工艺、氧化、介电层、电子封装技术基础教材,第十一章则为材料分析技术应用。各章邀请专家学者撰写或合撰,务求内容精到详实,兼顾理论与应用,深入浅出,希望不仅成为莘
作为一本资料信息型参考书,《集成电路工艺中的化学品》共7章,内容包括序言、薄膜制备技术及化学品、晶片清洗技术及化学品、光刻技术及化学品、刻蚀技术及化学品、化学机械抛光技术及化学品、载气及其他化学品。2~6章的内容都与集成电路制造过程的关键技术领域相关。在各章的开始,提供了集成电路制造过程关键技术的概述、所涉及的化学反应机理等,然后详细提供工艺中用到的化学品的物理化学性质、应用描述、毒性及安全等相应信息。书中涉及了200多种化学品和气体,全书最后还列出了300余篇参考文献。 将半导体元件生产所需的化学品的有用信息和数据汇集在一起,以“化学品”为中心展开系统描述,提供的化学及工程知识将帮助读者理解电子化学品的关键性作用,在电子化学品和集成电路制造工艺之间搭建起连接的“桥梁”。《集成电路工
集成电路有源器件模型,双极型、MOS、BiCMOS集成电路技术,单晶体管和多晶体管放大器,电流镜、有源负载及其电压和电流参考值,输出级,单端输出的运算放大器,集成电路的频率响应,反馈,反馈放大器的频率响应与稳定性,非线性模拟电路,集成电路中的噪声,全差分运算放大器。本书可用作高等学校电子信息类本科生的教材或参考书。