全书首先系统地对表面形貌测量仪器的发展进行了综述，然后从原理、结构、信号处理、软件设计等方面论述了基于微恒力位移传感器的表面形貌测量系统、基于激光聚焦伺服式传感器的轮廓仪、基于激光干涉测量的轮廓仪等三种表面形貌测量仪器，最后论述了表面形貌测量仪器的关键部件——运动工作台。全书力求具有创新性、实用性和先进性。 本书可作为高等院校测控技术及仪器专业本科生、仪器科学与技术专业研究生及教师的参考书，亦可供工矿企业从事仪器开发、管理的工程技术人员参考。
