光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
《惯性仪器测试与数据分析》比较系统和全面地介绍了陀螺仪、加速度计和惯导系统的测试原理以及典型的数据分析方法。全书内容可大致分为三个部分:①惯性器件测试部分,介绍了几种常见惯性器件的工作原理和误差建模、惯性器件测试的基本原理和方法以及实验室中常用的惯性仪器测试设备;②数据分析部分,包括回归分析、时间序列分析、频谱分析、阿仑方差分析和系统的kalman滤波等方法;③惯导系统的标定技术部分,结合作者的部分科研成果,详细介绍了捷联惯导系统的标定模型、分立标定方法以及系统级标定方法。书后附有matlab仿真程序可供参考,还有练习题可供读者拓展学习或学生练习使用。 本书可作为导航制导与控制、仪器仪表及相关专业的本科生、研究生的教学用书和参考书,也可供从事相关专业
本书分为两个部分:第壹部分从非数学角度简要综述了解决结构振动问题的方法,并介绍了一些试验模态分析所需的基本理论、信号处理、激励技术、模态参数识别等内容;第二部分主要从现实经验出发,讲述了测试设置、锤击测试、激振器测试和参数估计的注意事项,以及试验过程中的一些经验与技巧,并介绍了一些模态实例。本书语言生动,通俗易懂,内容侧重于模态测试实用技术及实践经验,可以帮助模态测试相关人员轻松、快速、准确地掌握基本概念、方法和技巧,提升工程实践能力。本书可以作为机械制造、汽车、航空航天、石油化工、海洋工程、船舶等领域的工程技术人员和科研工作者从事模态测试工作的参考书,也可以作为理工类院校师生学习模态测试理论和方法的参考教材。
全书包括上、下两篇,上篇介绍热工检测仪表工程,内容包括热工仪表的分类及测量常识,压力、压差测量及仪表、温度测量仪表、流量测量仪表、物位测量仪表、显示仪表的结构、原理及调校、热工及自动化仪表的安装与调试,仪表管线及附件安装,仪表系统的防护。下篇介绍热力工程,内容包括锅炉及辅助设备安装,供热管网工程,热力站及换热器的结构、性能及安装等。本书供从事热工仪表工程、热力工程的安装、检测、围护工作的技术人员使用,有关专业大专院校师生也可作为教学参考读物。
《液压元件选型与系统成套技术》分上下两篇。上篇在对液压泵、马达、缸和各类液压辅件的基本原理进行简要介绍基础上,重点介绍其分类、产品及选型要点。下篇在介绍液压装置的结构类型及其成套技术要点基础上,重点介绍液压泵站、液压阀组、液压总成的设计方法及其安装调试、运转维护和故障诊断。 《液压元件选型与系统成套技术》可供各行业液压气动技术的一线工作人员(设计研发、加工制造、安装调试、操作维护、故障诊断及点检定检、管理营销和教育培训等)使用,也可作为高等院校、职业院校的选修课和实训课教材、课程设计和毕业设计及科研开发的参考书,也可作为设备和技术培训机构及工矿企业的短期培训、上岗培训教材及自学教材,同时可供液压技术爱好者学习参阅。
本书从控制的角度系统地介绍了机器人学的基础知识和当前的发展状况。全书共分为12章,由基础篇、控制结构篇和先进控制篇构成。基础篇着重介绍串联关节机器人的运动学、运动规划和动力学。其中,运动学部分从坐标变换人手,介绍了正向运动学方程的建立、逆向运动学的求解以及机器人的微分运动等内容。控制结构篇着重介绍机器人的传感技术、位置控制和力控制。针对机器人控制领域的研究动态和主要研究方向,先进控制篇介绍了传感信息融合、视觉控制、协调控制、移动机器人技术、智能控制方法等。 全书以串联关节机器人为主,同时兼顾了移动机器人的控制问题。本书注重理论与应用的结合,力求使读者能够尽快掌握机器人控制技术,了解机器人控制的主要研究方向。 本书可作为控制科学与工程、计算机等学科的研究生和高年级本科生教材
《选煤实用技术丛书:选煤厂管道、阀门与泵的安装使用与维护》着重介绍了选煤厂目前各种泵与风机、阀门与管道的安装与试车要求、使用操作要点、日常维护保养和常见故障处理等实用技术,并附有比较详实的设备性能、规格等资料,以备查用。《选煤实用技术丛书:选煤厂管道、阀门与泵的安装使用与维护》主要供选煤厂生产管理维修人员和技术工人参考使用,也可作为选煤设计、科研人员和大专院校师生的参考资料。
仪表安装工程集多工种为一身,仪表安装工不但要掌握仪表专业的知识,还要掌握如电工、钳工、管工、电焊工等工种的操作技能。本手册汇集了相关专业的基础知识,全面系统地介绍了仪表施工全过程的内容。 手册以施工需要为主,注重实用性,内容从图形、符号、识图方法、施工预算、安装工机具、安装材料到施工准备、施工程序、仪表安装、仪表试验直至交工、验收。手册中收录了相关的国家标准供读者参考。 手册适用于石油、化工、轻工、冶金、电力、电子、煤气等行业的仪表工程,是仪表施工人员的手册,同时对仪表及自动化专业的院校师生具有参考价值。
本书介绍了紫外可见分光光度计仪器和应用的理论基础,仪器关键核心部件的设计和测试,仪器整机的技术指标及测试,仪器的应用及有关问题,仪器的日常维护及常见故障诊断、排除方法,质量检测常用的标准物质、标准光源等;举出了最主要核心部件的设计例子。书中深入讨论了影响紫外可见分光光度计的分析测试数据准确性的主要因素、分析测试误差的估算方法。 本书通俗易懂;可供生命、材料、环境、农业、计量、地质、石油、食品、卫生、冶金、化学化工等各个领域从事紫外可见分光光度计设计、制造、测试、使用和维修的广大科技工作者阅读。
《结构冲击(第2版)》一书研究受到强动载、冲击和爆炸载荷作用的结构及部件产生非弹性变形的性能。工程中在安全计算、事故评估和能量吸收系统方面对此感兴趣。 《结构冲击(第2版)》前5章介绍梁、板和壳的静态性能及动态响应的刚性一塑性分析方法。这几章从工程角度研究了课题的关键特征。其后几章则研究了结构冲击的各种重要现象,引入和详细研究了横向剪力、转动惯量、有限位移和材料的动态性能对结构响应的影响。倒数第2章和第3章考察了在几种能量吸收系统中出现的动态渐进屈曲现象并介绍了动塑性屈曲。关于缩放律的最后一章对于把小尺寸模型响应的实验结果同全尺寸原型的动态性能联系起来是重要的。 《结构冲击(第2版)》对于想要更多地了解关于承受强动载、冲击和爆炸载荷而产生非弹性响应结构的性能的本科生、研究生和专业人士
《机械设计试题集(第2版)》是针对高等院校机械类专业的学生进行《机械设计》课程复习、课程应考以及报考机械类专业研究生所编写的。收录的试卷很多选自近年来上海大学“机械设计”课程考试试卷以及机械类硕士研究生入学考试试卷。书中对每一道试题均做了解答,对于学生的课程应考和考研都具有很强的针对性和很高的应用价值。 《机械设计试题集(第2版)》除可作为机械类专业学生课程应考和报考硕士学位的考前热身教材外,也可为教师课程命题作参考。
《生态学的现状与发展趋势》的主体结构是依据国家自然科学基金委员会生命学部生态学科现行的二级申请代码进行设置。全书包括了十四部分(共46章),其中,部分(共2章)为总论,系统总结了外生态学发展的历史,研判了生态学未来发展趋势,并基于文献计量学方法定量分析了约10年来我国生态学发展态势。第二至第九部分(共25章)从生态学研究对象的层次与时空尺度方面进行系统总结,包括分子与进化生态学、生理生态学、种群与行为生态学、群落生态学、生态系统生态学、景观与区域生态学以及全球变化生态学等。第十至十四部分(共19章),针对当前生态学研究中发展较快的几个热点领域进行系统总结,包括生物多样性科学与保护生物学、环境生物学、微生物生态学、土壤生态学以及生态工程与规划等,既涵盖了新兴的基础生态学研究方向,也包含了
本书共分13章。章主要介绍地下装载机的作用、特点、分类、基本结构、主要参数分析和外的发展状况;第2章至0章主要介绍地下装载机动力系统、传动系统、行走系统、制动系统、转向系统、工作装置、液压系统和电气系统的组成、结构、工作原理、设计和常见故障的排除;1章至3章主要介绍地下装载机的自动化、主要技术参数计算和性能检测。 本书适合大专院校相关专业师生、研究院所和设计单位从事地下装载机的研究、设计人员使用,也可供地下装载机生产企业的管理、技术人员和生产工人、使用地下装载机的矿山维修人员和操作人员参考和使用。
本书循着IEC61508/IEC61511安全生命周期的脉络,以SIS在过程工业的应用为主题,全面解读这些功能安全标准的内涵和要求,指导SIS的工程实践。全书共分11章。章对全书中涉及到的一些关键概念做概括性介绍;第2章介绍在过程工业的SIS应用中有代表性的功能安全标准;第3~6章,围绕着SIS的安全生命周期各阶段的活动,介绍危险和风险分析、安全保护层以及SIF的SIL确定、SIS的工程设计;第7章介绍SIS的核心子系统—逻辑控制器(Logic Solver);第8章介绍SIS的现场安装、调试及维护;第9章介绍SIS的典型应用;0章就IEC61508/IEC61511应用中的典型问题作比较深入的专题探讨;1童介绍IEC62061和IEC61513的要点。 本书适合过程工业领域自控设计、应用、维护人员及安全管理人员阅读,也可作为高等院校自动化及相关专业,与安全仪表系统相关的理工科其他专业的教学参考书。