本书系统全面地提供了关于近20种传感器的理论(物理原理)、设计和实际应用的知识体系。主要涵盖了数据获取、传递函数、传感器特性、感知的物理原理、传感器的光学元件及接口电路等基本原理, 以及人体探测器、位置与位移和水平传感器、速度和加速度传感器、力和力变传感器、压力传感器、流量传感器、声传感器、湿度传感器、光探测器、电离辐射 探测器、温度传感器、化学和生物传感器及传感器材料与技术等领域的技术与应用。结构层次分明, 内容翔实丰富, 希望能为广大读者的学习和研究带来帮助。 本书可供传感器领域的研发设计人员、应用工程师、技术人员, 以及对现代仪器感兴趣的研究人员使用, 也可供高等院校相关专业本科生及研究生参考。

光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主，也介绍了投影物镜的离线像质检测技术，涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。

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本书介绍了齿轮箱轴承选型与维护中的相关技术。书中内容从常见的齿轮箱与齿轮箱相关轴承基本性能入手，介绍了齿轮箱轴承的选型原则、齿轮箱轴承的配置、齿轮箱轴承的选型计算、齿轮箱轴承的润滑等在齿轮箱设计过程中的轴承选型技术。同时介绍了齿轮箱轴承的安装、振动监测等齿轮箱轴承维护工作中的相应技术。本书在齿轮箱维护技术部分探讨了基于大数据和人工智能等技术的智能运维技术和数据分析方法。*后本书针对风力发电机齿轮箱轴承的相应选型和维护技术进行了专门的阐述。 本书可供从事齿轮箱设计、使用和维护相关领域工作的技术人员学习参考，也可供齿轮箱技术人员在日常进行设计、试验、维护、保养等涉及轴承相关问题的分析、校核工作中使用，从事齿轮箱轴承应用技术工作的轴承工程师也可将本书作为系统性的参考工具书。

全书包括上、下两篇，上篇介绍热工检测仪表工程，内容包括热工仪表的分类及测量常识，压力、压差测量及仪表、温度测量仪表、流量测量仪表、物位测量仪表、显示仪表的结构、原理及调校、热工及自动化仪表的安装与调试，仪表管线及附件安装，仪表系统的防护。下篇介绍热力工程，内容包括锅炉及辅助设备安装，供热管网工程，热力站及换热器的结构、性能及安装等。本书供从事热工仪表工程、热力工程的安装、检测、围护工作的技术人员使用，有关专业大专院校师生也可作为教学参考读物。

该手册是部以仪器主机及仪器元部件结构设计为丰体内容的图书内容包括：测微仪、传感器、线值和角度测量仪器、自动检验机和加工中的检验装置、齿轮、表面粗糙度、圆度、平直度．孔径、滚刀、丝杠、螺旋线、凸轮测量仪等各类仪器；标准量器件、测头及定位装置、瞄准器、细分读数装置、显示器等各种部件；导轨、轴系、微调、夹紧、支承、联轴节、校正、减震阻尼等主要机械结构及常用机构。全书共两篇十章，内容系统、全面，图例丰富实用。全书收集了外有关仪器总装图及部件图图例1000多幅，其中多数选自产品技术图纸，具有实用性和先进性。该手册是高等院校仪器仪表类专业在进行教学及课程设计、毕业设计时的丰要辅助；同时也可供高等院校相近专业师生及从事仪器仪表设计制造、计量、检定、维修业务的科技人员参考。