光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术,详细介绍了本团队提出的系列新技术,涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术,包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。本书介绍了这些技术的理论基础、原理、模型、算法、仿真与实验验证等内容。以光刻机原位与在线像质检测技术为主,也介绍了投影物镜的离线像质检测技术,涵盖了深紫外干式、浸液光刻机以及极紫外光刻机像质检测技术。
本书以机械工程制图、识图的基本知识、基本理论、基本图形符号、基本画法和基本读法为基础,以机械工程图样实例为分析对象,全面介绍了机械工程图的画法和识读方法。机械工程图分为机械工程图样和机械工程简图,包括总图、外形图、布置图、装配图、零件图、安装图、包装图、捆绑加固图、机构运动简图、电气工程图、液压原理图、气动原理图、管路系统简图、管道图、铸件图、锻件图、钣金图、焊接图、模具图、夹紧和定位图等。 本书贯彻新颁布的标准,全面介绍了国家标准《技术制图》和国家标准《机械制图》;摘要介绍了与机械工程制图相关的国家标准和行业标准;比较介绍了、美国、日本、俄罗斯制图标准;重点介绍了零件标准结构、常用件和标准件基本知识和画法;详细介绍了有关图样管理方面的知识。全书将机械工程制图理论知识与机械工程制图应用
《液压元件选型与系统成套技术》分上下两篇。上篇在对液压泵、马达、缸和各类液压辅件的基本原理进行简要介绍基础上,重点介绍其分类、产品及选型要点。下篇在介绍液压装置的结构类型及其成套技术要点基础上,重点介绍液压泵站、液压阀组、液压总成的设计方法及其安装调试、运转维护和故障诊断。 《液压元件选型与系统成套技术》可供各行业液压气动技术的一线工作人员(设计研发、加工制造、安装调试、操作维护、故障诊断及点检定检、管理营销和教育培训等)使用,也可作为高等院校、职业院校的选修课和实训课教材、课程设计和毕业设计及科研开发的参考书,也可作为设备和技术培训机构及工矿企业的短期培训、上岗培训教材及自学教材,同时可供液压技术爱好者学习参阅。
光学自由曲面的设计、加工及测量技术是一门新兴的学科。《超精密自由曲面光学设计、加工及测量技术》系统介绍了自由曲面光学组件设计、加工、测量的基本理论、发展及应用实例,还总结了作者多年从事超精密加工技术研究的成果和经验。全书共分7章,包括自由曲面光学超精密制造技术概述、自由曲面光学设计、超精密加工技术、光学自由曲面超精密测量技术、超精密加工过程仿真及优化、自由曲面光学组件设计、加工及面形测量集成制造技术平台及自由曲面光学设计实例。《超精密自由曲面光学设计、加工及测量技术》可供光学设计及超精密加工的研究人员、相关企业的技术人员与决策者参考,也可作为高等学校相关专业研究生的参考教材。
本手册介绍了数控机床使用的滚动直线导轨副的主要结构、设计选用计算方法、关键性能的检测与测试方法、配件、安装调试与维护以及主要应用案例,并提供了主流滚动直线导轨副的型谱参数。本书主要面向数控机床设计工程师和功能部件使用工程技术人员等。
《高端轴承技术路线图》面向 2030 年,分析“工业强基”重点领域——高端轴承的现状、挑战与发展目标,凝练实现发展目标必须突破的关键技术及共性技术。通过典型代表产品的介绍,对航空发动机主轴轴承、品质数控机床主轴轴承与机器人轴承、高速动车组轴承、风力发电机组轴承、盾构机主轴承、高性能医疗器械轴承、汽车高端轴承、海洋工程轴承、悬浮类轴承、智能轴承等展开研究与讨论,从市场需求与技术进步角度探讨实现高端轴承自主配套能力的路径、时间节点和阶段性目标。
《舞台机械设计》一书从基础理论到大量的计算实例,较系统地阐述了演出场所机械设备设计的基本理论和计算方法,包含舞台机械物理学、舞台机械部件、机械设计过程和舞台机械纲要四个部分,理论严谨,实例充分,可读性强。本书可作为舞台机械设计方面的教材和培训用书,适合相关院校机械专业、舞台技术专业师生阅读,也可供舞台设备行业的工程技术人员,以及剧场中设计、施工、安装及操作舞台设备的技术人员参考使用。
《五轴自由曲面NC加工刀路优化及误差控制》系统地总结了作者在五轴自由曲面NC加工刀路优化及误差控制基础理论方面的研究成果。全书共分为6章,、2章阐述了五轴曲面加工的背景及意义,介绍了一些外的新成果。第3~6章分别以平头铣刀为对象,以提高自由曲面加工效率和控制误差为目的,提出了一系列新算法,具体内容包括:结合五坐标机床结构,推导主轴旋转式以及工作台旋转式两种机床的误差估算数学方程,以得到步进长度的评估值;综合考虑刀具几何、刀轴方向、给定误差以及加工方向,给出优化初始刀具路径的设计方法,以及覆盖整个曲面的刀具路径迭代算法;通过插补与修正相结合的方法确定无干涉、无过切,并且光顺变化刀具轴向;综合考量以上所研究的技术,给出新的加工刀路规划理论和方法。后记对《五轴自由曲面NC加工刀路优化及误差控制
特种焊接技术是指除常规焊接方法(如焊条电弧焊、埋弧焊、气体保护焊等)之外先进的焊接技术。本书主要针对激光焊、电子束焊、等离子弧焊、扩散焊、摩擦焊、冷压焊和热压焊、超声波焊等一些特种焊接方法,从实用性角度对这些焊接方法作了简明的阐述。突出了这些焊接方法的工艺特点和应用,给出了相关技术数据及针对一些典型焊接结构的应用实例,可以指导相关应用场合的焊接生产和新产品研发。本书在保持至第四版特色的基础上,更新了相关内容,突出新颖性、实用性和先进性等特色。 本书主要供从事与产品开发和焊接技术相关的工程技术人员、管理人员和操作人员使用,也可供高等院校、科研单位的有关教学和科研人员参考。
以作者的学术和工程经验为基础,通过工程系统的建模与控制提供了对机械、电气、流体和热力系统统一的处理方法。内容涵盖了传统、先进和智能控制,仪器仪表,实验和设计。包括理论,分析技术,常用的计算工具,仿真细节和应用。 《工程系统的建模与控制》克服了其它有关建模和控制方面书的不足之处,书中的建模都与实际物理系统有关,并阐明了控制系统所适应的特定技术。尽管使用了MATLAB,Simulink和LabVIEW,作者全面地解释了方法背后的要点和解析基础,对给定的系统如何选择合适的工具,对结果进行解释和验证,以及软件工具的局限性。这样的方法可以使读者掌握核心主题,学会在实际中使用概念。
为了适应光纤传感技术和产业的高速发展,《光纤传感器及其应用技术》以光纤中的光调制机理为主线,详细讨论强度调制、相位调制、波长调制和偏振态调制四大类光纤传感器的传感机理、关键问题和应用范例,以及近年来多行业规模化应用的分布式光纤传感技术的原理、方法和关键技术;选择性地将物联网技术中的重要骨架——光纤成网技术,新型光纤聚合物光纤、光子晶体光纤和纳米光纤及其传感应用作为延伸与拓展。《光纤传感器及其应用技术》内容重点突出,结合学科新进展,应用设计实例丰富。有助于在掌握基础理论和应用工具的同时,开阔科研视野、了解学科动态、启发创新思维。
以作者的学术和工程经验为基础,通过工程系统的建模与控制提供了对机械、电气、流体和热力系统统一的处理方法。内容涵盖了传统、先进和智能控制,仪器仪表,实验和设计。包括理论,分析技术,常用的计算工具,仿真细节和应用。 《工程系统的建模与控制》克服了其它有关建模和控制方面书的不足之处,书中的建模都与实际物理系统有关,并阐明了控制系统所适应的特定技术。尽管使用了MATLAB,Simulink和LabVIEW,作者全面地解释了方法背后的要点和解析基础,对给定的系统如何选择合适的工具,对结果进行解释和验证,以及软件工具的局限性。这样的方法可以使读者掌握核心主题,学会在实际中使用概念。
齿轮是机械工业的象征,是机械传动的主要基础零件,但是一直以来从事齿轮工作的人会遇到两个困惑:一是一线(特别是工厂)的齿轮工作者很难读懂传统齿轮几何理论,传统齿轮几何理论的微分几何入门知识就让他们感到头疼;二是即便齿轮工作者花时间和精力去苦学了这些知识,但是学完后也发现往往不能解决实际问题,学不致用。 本书作者在工厂一线,研究了半个世纪的齿轮几何理论,自创了1211体系,提出了能涵盖平面啮合基本定理的空间啮合定理,为齿轮几何计算提供两种便捷的方法,极大地简化了齿轮几何计算的工作量。 全书不涉及微分几何、矩阵等高等数学工具,但却能解决许多用传统齿轮理论无法解决的疑难问题,非常值得推广应用。
《生物进化(第3版)》是一部全面而系统介绍进化生物学的教科书。全书共分23章,涵盖了进化生物学的各个方面,还涉及生命科学甚至社会科学的不同领域。从西方早期的自然神学到达尔文进化论,从生命的早期起源到当今的生物多样性,从传统的化石和形态学证据到如今的DNA和基因组信息,从经典的群体遗传学理论到物种形成的新假说,从基本的生命之树的构建到进化发育研究的新成果,既充分介绍了该学科的基本概念、产生和发展历史、重要的科学问题以及相应的研究领域,也反映了当前人们在宏、微观不同层次上对进化的认识和新进展。 全书内容丰富,结构简洁,语言深入浅出,尤其是各章节均提供了大量的研究实例和参考文献,并配以精美直观的图表和照片,具有很高的可读性和趣味性。可作为生物学及其相关专业高年级本科生和研究生的教材,也
本书根据出版编辑业务、编辑技术与有关规范、标准方面的规定,参考相关专家的有关理论著述和年鉴实务操作编写,分为年鉴基础知识、年鉴编纂工作、编纂技术与规范、常见问题及实例分析,以及相关规定5 个部分。 本书作为年鉴编纂工具书,编排层级清晰,查找便捷,文字简练,操作性强,实用性好,一书在手,可有效解决年鉴编纂各种难题。适合从事年鉴工作的作者和编辑参考使用。
《选煤实用技术丛书:选煤厂管道、阀门与泵的安装使用与维护》着重介绍了选煤厂目前各种泵与风机、阀门与管道的安装与试车要求、使用操作要点、日常维护保养和常见故障处理等实用技术,并附有比较详实的设备性能、规格等资料,以备查用。《选煤实用技术丛书:选煤厂管道、阀门与泵的安装使用与维护》主要供选煤厂生产管理维修人员和技术工人参考使用,也可作为选煤设计、科研人员和大专院校师生的参考资料。