本书基于作者团队多年的光刻工艺（包括先进光刻工艺）研发经验，从集成电路工厂的基本结构、半导体芯片制造中常用的控制系统、图表等基本内容出发，依次介绍光刻基础知识，一个6晶体管静态随机存储器的电路结构与3个关键技术节点中SRAM 制造的基本工艺流程，光刻机的发展历史、光刻工艺8步流程、光刻胶以及掩模版类型，光刻工艺标准化与光刻工艺仿真举例，光刻技术的发展、应用以及先进光刻工艺的研发流程，光刻工艺试流片和流片的基本过程，光刻工艺试流片和流片中出现的常见问题和解决方法，光刻工艺中采用的关键技术举例以及其他两种与光刻相关的技术等内容。 本书不仅介绍光刻工艺相关基础知识，还介绍了一种符合工业标准的标准化研发方法，通过理论与仿真相结合，力求更加清楚地展示研发过程。本书可供光刻技术领域科研院所的研究人

本书提炼了模拟集成电路设计的基本概念和精华。首先对MOST和BJT两种器件模型进行分析和比较；然后以此为两条线索，分别介绍相应的基本单元电路，详细分析各类放大器；随后分别研究噪声、失真、滤波器、ADC/DAC和振荡器电路等，每一章都结合MOST和BJT两种电路进行分析与比较。本书既侧重于基础知识，对模拟和混合信号集成电路中的许多重要概念，以直观形象的语言进行描述；又侧重介绍与现代集成电路工艺相关的*电路的研究方向和热点。本书出版之后，广受好评，现已成为模拟集成电路设计领域几大经典著作之一，成为世界许多知名大学的教材，同时也是集成电路设计领域工程技术人员的重要参考书。

本书共10章，基于公开文献全方位地介绍了低温等离子体蚀刻技术在半导体产业中的应用及潜在发展方向。以低温等离子体蚀刻技术发展史开篇，对传统及已报道的先进等离子体蚀刻技术的基本原理做相应介绍，随后是占据了本书近半篇幅的逻辑和存储器产品中等离子体蚀刻工艺的深度解读。此外，还详述了逻辑产品可靠性及良率与蚀刻工艺的内在联系，聚焦了特殊气体及特殊材料在等离子体蚀刻方面的潜在应用。后是先进过程控制技术在等离子体蚀刻应用方面的重要性及展望，以及虚拟制造在集成电路发展中的应用。 本书可以作为从事等离子体蚀刻工艺研究和应用的研究生和工程技术人员的参考书籍。

本书介绍了非线性有限元的主要内容: 三场变分原理(应力、速度和变形率); 一种拉格朗日格式(完全的和更新的拉格朗日有限元格式); 隐式积分和显式积分两种求解方法(隐式积分主要是牛顿-拉夫森(Newton-Raphson)方法,显式积分主要是中心差分方法),以及纽马克-贝塔(Newmark- )方法; 材料、几何和接触三类非线性(材料非线性包括非线性弹性、塑性和黏弹性; 几何非线性包括大应变、大位移、大转动,结合率形式本构的应力更新算法处理大转动问题,采用弧长法求解屈曲问题; 接触(边界)非线性主要采用拉格朗日乘子法和罚函数法); 各种单元形式,包括杆件、平面和三维实体单元,梁和板壳结构单元等(在非线性有限元中应用的单元主要是C0 形函数的线性单元,因此考虑了控制剪切自锁、体积自锁、薄膜自锁和沙漏模式)。 本书针对每部分内容给出了理论公式、计算框图和部分例题,便

该教材内容主要涵盖材料的基础知识介绍、原子的结构与键合、金属和陶瓷的结构、高分子结构、固体缺陷、扩散、力学性能、变形和强化机制、失效、相图、相变、电性能、材料类型及其应用、材料的合成制备与加工、复合材料、材料的腐蚀与降解、热性能、磁性能、光学性能、材料科学与工程所涉及的经济，环境和社会问题 。 本书内容全面、先进。不仅是材料学科的必修课教材，也是应用物理、化学工业、信息工程、生物工程、电子电工、车辆工程、航空航天等专业的必要补充教材。也可为专业人员提供参考价值。

本手册采用图形和表格形式，以现行有效的国家标准和行业标准内容为基础，全面、系统、科学地介绍了国内主要五金产品的品种、规格、性能、应用及资料数据和有关标准。全书共分5篇30章，包括：通用零部件及器件、工具、金属材料、非金属材料、基础资料五大部分。本手册具有取材实用、数据齐全、资料新颖、图文对照、使用方便等特点，可供从事五金产品的生产、科研、设计、咨询、使用、销售、采购的人员使用，也可供各个行业的专业技术人员选择使用。

本书系统地介绍当今自动驾驶领域前沿的技术理论，从自动驾驶的背景知识开始，对软硬件平台、感知、地图、定位、规划决策、控制、仿真和安全等方面展开深入讨论，并介绍自动泊车系统和车联网技术的应用。 全书共15章： 第1章是自动驾驶系统的概述(开发结构、场景分类和数据闭环等)； 第2章简要介绍自动驾驶的基础理论，即计算机视觉和深度学习等； 第3、4章是自动驾驶的软硬件平台分析，包括传感器、计算平台、软件架构和操作系统等； 第5~9章分别介绍自动驾驶的感知、地图、定位、规划和控制模块； 第10章重点介绍自动驾驶的仿真模拟模块； 第11章讨论自动驾驶的安全模型； 第12章讨论自动驾驶的一个特例 自动泊车系统； 第13章介绍车联网技术(车 路协同和车辆编队)； 第14、15章分别介绍最近自动驾驶相关的两个技术热点，即3D场景的神经渲染(以Ne

《商品混凝土实用技术手册》主要讲述了商品混凝土名词术语、商品混凝土原材料、商品混凝土配合比设计、商品混凝土技术性能、新型商品混凝土、商品混凝土生产制备、商品混凝土施工、商品混凝土生产与施工设备、商品混凝土质量管理及商品混凝土质量通病分析与防治。本书内容丰富，信息量大，实用性与可操作性强。本书可供从事商品混凝土研究与生产，混凝土建筑工程设计、施工、监理及检测的工程技术人员，以及大专院校无机非金属材料专业、土木工程专业、道路桥梁工程专业的师生阅读参考。

本手册介绍了有限元分析常用的材料本构模型、状态方程、材料动态力学参数的标定方法，给出了上千种常用材料的数值计算材料模型参数，涉及各类金属、陶瓷、玻璃、生物材料、空气、水、冰、地质材料、含能材料、有机聚合物和复合材料等，同时列出了数据来源。手册还提供了相关算例和部分材料参数文件，读者可免费下载（具体方法见封底）。 本手册适合理工科院校的教师、本科高年级学生和研究生作为有限元分析学习辅助教材，也可以作为国防 、航空航天、汽车碰撞、材料加工、生物医学、电子产品、结构工程、采矿、船舶等行业工程技术人员的工程设计和数值计算参考手册，还可应用于有限元计算软件材料库的开发。

本书重点介绍了化学储能电池理论能量密度的估算，电池材料缺陷化学，相、相变与相图，电池界面问题，离子在固体中的输运，锂离子电池正极材料、负极材料，非水液体电解质材料，全固态锂离子电池，锂空气电池与锂硫电池，表征方法、电化学测量方法，锂二次电池材料的计算研究。同时对锂离子电池基础研究的科学问题、存在的难点、发展趋势等进行了详尽分析。本书内容详实丰富，涵盖了锂离子电池基础科学的关键问题，兼顾实际工程技术问题，努力为我国锂离子电池产学研从业者提供一本从事该领域工作的工具书。本书适合从事锂电池研发的相关人员参考，也适合作为高等院校相关专业师生的教学参考书。

本书共分10章，具体内容安排如下： □□章 绪论 ，主要概述了无入机的发展历程，阐述了多无人机编队控制、多无人机协同控制与决策、无人机集群协同控制与决策的基本概念和国内外发展现状。 第□章 多无人机编队飞行控制 ，主要建立了无人机的数学模型，阐述了几种典型的飞行控制方法，建立了编队相对运动学模型，研究了编队飞行的队形集结、队形保持、队形重构与编队自适应控制技术。 第3章 多无人机协同航迹规划 ，主要研究了二维空间下的单机航迹规划、多无人机协同离线航迹规划和在线航迹规划，以及三维空间下的多无人机协同航迹规划。 第4章 多无人机协同搜索 ，主要研究了基于滚动时域优化的动态目标协同搜索，以及基于粒子群优化的静止目标协同搜索。 第5章 同构多无人机协同察打 ，主要研究了考虑威胁躲避的协同察打、考虑航程约束的

本书主要围绕离心压气机的设计与分析方法，从流体力学和气动热力学基础理论出发，结合离心压气机领域的最新研究进展，详细阐述了不同几何和气动参数条件下离心压气机内部流场特征和流动机理，针对离心压气机的各个部件全面总结分析了现有的设计方法和性能预测模型。全书一共有9个章节，分别是离心压气机简介、离心压气机进气装置、径向叶轮流动计算、扩压器、详细几何设计、蜗壳、叶轮对出口畸变响应、稳定性和工况范围。

《铝合金阳极氧化与表面处理技术》（第三版）主要介绍铝合金阳极氧化与表面处理技术。书中阐述了阳极氧化膜的形成机理和性能，介绍了阳极氧化、硬质阳极氧化、微弧氧化工艺，讨论了阳极氧化膜着色、染色、封孔和检测技术等，还涉及了铝表面处理生产的环境管理方面的内容。 本书在第二版基础上修改、增补、扩容而成，内容较前两版更加丰富，紧跟国内外生产技术发展、变化，密切结合生产实践和现代化技术应用。 本书可供铝合金材料生产和应用技术人员、表面处理技术人员学习和参考。

复合软包装材料（俗称软包装）的加工行业在中国已有40 多年的发展历史了。作为该行业的龙头企业--塑料印刷复合加工企业，俗称彩印厂--在行业发展的早期，在全国范围内只有屈指可数的几个！如今，国内已有数千家彩印厂，加上与之相关的制版、油墨、薄膜、铝箔、机械、电子、化工等配套企业，总数已超过万家。目前，在世界范围内，塑料薄膜的印刷加工方式仍是凹印和柔印占据了主导地位，平印（干胶印）和喷墨印刷则呈现了强劲的增长势头。在中国市场上，溶剂型干法复合加工技术占据了主导地位，而近几年，无溶剂型干法复合加工技术（俗称无溶剂复合）则获得了快速的发展。 在复合材料（包括塑/塑、铝/塑和纸/塑）的加工和应用过程中，总会出现一些问题或瑕疵。多年来，行业内的从业人员以及相关的大专院校在理论与实践方面进行了大量

《金属材料金相图谱》分上、下两册(共12章)，上册内容包括：铸铁、结构钢、钢中夹杂物、工模具钢、特种钢；下册内容包括：焊接件、粉末冶金、表面渗镀涂层、铜及铜合金、铝及铝合金、轴承合金、其他非铁金属(内有钛及钛合金、锌及锌合金、铅及铅合金、镁及镁合金、镍及镍合金和其他合金)。每章的前面部分是文字说明，简要介绍本章的材料分类、处理工艺、组织特征和检验方法等与本章图片密切相关的共性内容，每章的后面部分为金相图片，包括图号、材料名称、浸蚀剂、处理情况和组织况明。图片均选自科研、生产中常见的正常组织图片、缺陷组织图片和失效分析纠织图片，共计4634幅。 本书适于金相工作者、热加工工艺人员、材料生产、使用等单位的工程技术人员以及科研人员使用，也可供大专院校有关专业师生参考。

本书是一部系统介绍螺杆真空泵的专著，全书共分7章，系统阐述了螺杆真空泵在设计、制造、应用各个环节所涉及的基本理论和方法，内容包括螺杆真空泵的抽气原理与特点，螺杆真空泵转子型线设计的基础理论和常用基本型线，螺杆转子的螺旋展开方式与动平衡设计方法，螺杆真空泵的结构设计，泵内气体流动与热力学过程分析，以及螺杆真空泵的典型工程应用。本书理论与实践紧密结合，可作为螺杆真空泵理论研究、设计、生产、销售与维护人员以及螺杆真空泵应用领域工作人员的参考书，也可作为高等学校应用物理、真空技术、流体机械、半导体、新能源等相关专业本科生、研究生的参考资料。

思考流程（thinking process,TP）是约束理论（theory of constrains，TOC）创始人艾利 高德拉特博士开发的一套系统化解决问题的逻辑树工具，用以解决包含人这一因素在内的复杂系统问题。《逻辑思考流程：解决复杂问题的系统化方法》是思考流程领域的一本经典著作，作者威廉 德特默在十余年亲身讲授和应用思考流程的基础上，对思考流程进行了深度优化，提出了一种更简洁、有效的方法来构建和应用思考流程逻辑树，同时补充了一个新的逻辑树工具 目标树，并用更加详细的树和关键链项目管理替代了原思考流程中的转变树。《逻辑思考流程：解决复杂问题的系统化方法》共分为三部分，部分介绍了逻辑树应遵循或满足的一般性规则及目标树的构建；第二部分介绍了现状树、冲突图和未来树的构建与应用；第三部分介绍了树，并对影响组织变革的因素进行了讨论。

高比能固态锂电池具有高比能、高安全、长使役寿命等特性，解决了传统液态锂电池的续航短、易燃、易爆等问题，是下一代理想的高性能储能电池体系。本书重点对高比能固态锂电池中的关键科学问题和核心技术难题等进行了全面而深入的剖析，涵盖了高比能固态锂电池的电解质材料、正负极材料、黏结剂、工艺和配套设备、界面问题、安全性能评估等内容，兼顾实际工程技术和制造装备等问题，努力为我国高比能固态锂电池产学研从业者提供一本非常实用的工具书。本书适合从事高比能固态锂电池研发的相关人员进行参考，也适合作为高等院校、科研机构等相关专业师生的教学参考书。

为了应对我国在集成电路领域,尤其是光刻技术方面严重落后于发达国家的局面,破解光刻制造设备、材料和光学邻近效应修正软件几乎完全依赖进口的困境,作为从事光刻工艺研发近 20 年的资深研发人员,作 者肩负着协助光刻设备、材料和软件等产业链共同研发和发展的责任,将近 20 年的学习成果和研发经验汇编 成书,建立联系我国集成电路芯片的研发和制造,设备、材料和软件的研发,以及大专院校、科研院所的科学 技术研究、人才培养的一座桥梁。 本书以光刻工艺为主线,有机地将光刻设备、光刻材料、光刻成像的理论计算、光刻工艺中各种建模思想 和推导、芯片制造的技术发展要求以及对光刻工艺各项参数的要求紧密地联系在一起,给读者一个整体的图 景。《衍射极限附近的光刻工艺》可供光刻技术领域科研院所的研究人员、大专院校的教师和学生、集成电路工厂

本书介绍了有机硅偶联剂（硅烷偶联剂、大分子硅偶联剂及硅烷偶联剂衍生物等）的合成及应用的相关知识。具体内容涉及有机硅偶联剂基础知识，合成硅烷偶联剂的基础原料，用于有机硅偶联剂合成的硅氢化反应及其他反应；硅烷偶联剂的重要中间体及重要品种的合成及其特性；大分子硅偶联剂和新型硅偶联剂的合成和特性；有机硅偶联剂用于有机聚合物基复合材料中的原理及应用；以及硅烷化技术在金属表面处理中应用和有机硅偶联剂及其衍生物在各类材料保护中的应用。 本书可供从事有机硅偶联剂研究、生产和拓展应用领域的工程技术人员和管理人员使用，也可供大专院校相关专业师生参考。

《工业合成生物学》系统梳理了工业合成生物学领域主要产品的发展现状与未来趋势。《工业合成生物学》共分为十章，在概述工业合成生物学发展概况的基础上，重点围绕八类具有代表性的产品展开深入探讨，包括氨基酸、有机酸、维生素、有机醇、长链脂肪酸、芳香族化合物、健康糖与甜味剂、甾体药物。这些产品也是当前工业合成生物学研究*具代表性的产品类型。通过对这些典型产品的合成生物学研究进展进行系统阐述，旨在为其他产品类型的工业化开发提供有益借鉴和参考。

本书以工业装置设备设施为主线，对各种配管设计进行了详细的讲解，既有系统的理论知识，又有国内外大中型装置典型工程应用实例，同时与*的现代化工程技术、国内外标准规范、配管设计计算机技术相结合。本书主要内容包括：通用配管设计，管廊，塔，容器，反应器，换热设备，加热炉，泵，压缩机，装卸站及码头，罐，管道系统的伴热设计，建构筑物的布置设计，其他设施的配管设计，配管器材的选用，管道柔性及支架设计，配管的施工与检验，计算机技术在配管设计中的工程应用与创新，配管设计专业的职业发展。本书内容实用、资料新颖、图文并茂，可靠性、权威性、先进性、通俗性相结合。本书可作为配管设计（管道设计）专业人员的实用技术参考资料和培训教材，也可作为工艺、施工、项目管理人员的参考用书和高等院校相关专业的实用教学资

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，在模拟半导体、发光二极管、微机电系统、太阳能光伏、微流道和生物芯片、光电子器件/光子器件中都有重要的应用。本书从光刻技术基础知识出发，系统介绍了多种类型光刻胶应用工艺、评测技术。具体包括光刻胶涂布、曝光工艺、曝光后烘烤和显影技术，以及g线和i线光刻胶、KrF和ArF光刻胶、ArF浸没式光刻胶、EUV光刻胶等的特征、应用工艺及评测技术，希望对国内的研究人员有很好的启发和指导意义。

本书为配管设计(管道设计)参考书，既有系统的管道应力分析理论知识介绍，又有国内外大、中型工程应用实例，同时能够紧密结合*新的现代化工程技术在管道设计中的应用，介绍了现代计算机技术在配管设计中的应用及提高配管设计工作效率的一些技巧，并结合*新版的国内外标准规范，对配管设计应力分析进行了系统的讲解。 主要章节包括：配管设计应力分析基本概念、特点，计算机辅助应力分析软件，管道系统静力分析，管道系统动力分析，管道抗震设计，管道荷载计算，管道支吊架设计。 本书内容实用、资料新颖、图文并茂，可靠性、权威性、先进性、通俗性相结合，可作为配管设计（管道设计）专业人员的实用技术参考资料和培训教材，也可作为工艺、项目管理、施工等人员的参考用书和高等院校相关专业的实用教学资料。

天然气水合物资源在全球分布广泛、储量丰富，是具有前景的清洁能源。然而目前天然气水合物开采仍面临生产效率低下等技术难题，至今未能实现大规模商业开发。由于天然气水合物分解是多孔介质中复杂的多物理化学问题，从孔隙尺度出发认识水合物分解控制机制，对指导水合物高效开采具有重要意义。《天然气水合物分解多物理化学场耦合机理的孔隙尺度研究》针对天然气水合物分解过程，开展了孔隙尺度研究，分析了水合物分解过程多物理化学场控制机制，推动了水合物分解过程的尺度升级研究，为实现天然气水合物高效开发提供了理论基础。 《天然气水合物分解多物理化学场耦合机理的孔隙尺度研究》立足水合物分解过程中的热质传递规律这一科学问题，聚焦水合物开采前沿技术领域，适合从事能源工程、油藏工程等相关领域的读者阅读。