本书基于作者团队多年的光刻工艺（包括先进光刻工艺）研发经验，从集成电路工厂的基本结构、半导体芯片制造中常用的控制系统、图表等基本内容出发，依次介绍光刻基础知识，一个6晶体管静态随机存储器的电路结构与3个关键技术节点中SRAM 制造的基本工艺流程，光刻机的发展历史、光刻工艺8步流程、光刻胶以及掩模版类型，光刻工艺标准化与光刻工艺仿真举例，光刻技术的发展、应用以及先进光刻工艺的研发流程，光刻工艺试流片和流片的基本过程，光刻工艺试流片和流片中出现的常见问题和解决方法，光刻工艺中采用的关键技术举例以及其他两种与光刻相关的技术等内容。 本书不仅介绍光刻工艺相关基础知识，还介绍了一种符合工业标准的标准化研发方法，通过理论与仿真相结合，力求更加清楚地展示研发过程。本书可供光刻技术领域科研院所的研究人

本书提炼了模拟集成电路设计的基本概念和精华。首先对MOST和BJT两种器件模型进行分析和比较；然后以此为两条线索，分别介绍相应的基本单元电路，详细分析各类放大器；随后分别研究噪声、失真、滤波器、ADC/DAC和振荡器电路等，每一章都结合MOST和BJT两种电路进行分析与比较。本书既侧重于基础知识，对模拟和混合信号集成电路中的许多重要概念，以直观形象的语言进行描述；又侧重介绍与现代集成电路工艺相关的*电路的研究方向和热点。本书出版之后，广受好评，现已成为模拟集成电路设计领域几大经典著作之一，成为世界许多知名大学的教材，同时也是集成电路设计领域工程技术人员的重要参考书。

本书共10章，基于公开文献全方位地介绍了低温等离子体蚀刻技术在半导体产业中的应用及潜在发展方向。以低温等离子体蚀刻技术发展史开篇，对传统及已报道的先进等离子体蚀刻技术的基本原理做相应介绍，随后是占据了本书近半篇幅的逻辑和存储器产品中等离子体蚀刻工艺的深度解读。此外，还详述了逻辑产品可靠性及良率与蚀刻工艺的内在联系，聚焦了特殊气体及特殊材料在等离子体蚀刻方面的潜在应用。后是先进过程控制技术在等离子体蚀刻应用方面的重要性及展望，以及虚拟制造在集成电路发展中的应用。 本书可以作为从事等离子体蚀刻工艺研究和应用的研究生和工程技术人员的参考书籍。

本书介绍了非线性有限元的主要内容: 三场变分原理(应力、速度和变形率); 一种拉格朗日格式(完全的和更新的拉格朗日有限元格式); 隐式积分和显式积分两种求解方法(隐式积分主要是牛顿-拉夫森(Newton-Raphson)方法,显式积分主要是中心差分方法),以及纽马克-贝塔(Newmark- )方法; 材料、几何和接触三类非线性(材料非线性包括非线性弹性、塑性和黏弹性; 几何非线性包括大应变、大位移、大转动,结合率形式本构的应力更新算法处理大转动问题,采用弧长法求解屈曲问题; 接触(边界)非线性主要采用拉格朗日乘子法和罚函数法); 各种单元形式,包括杆件、平面和三维实体单元,梁和板壳结构单元等(在非线性有限元中应用的单元主要是C0 形函数的线性单元,因此考虑了控制剪切自锁、体积自锁、薄膜自锁和沙漏模式)。 本书针对每部分内容给出了理论公式、计算框图和部分例题,便

该教材内容主要涵盖材料的基础知识介绍、原子的结构与键合、金属和陶瓷的结构、高分子结构、固体缺陷、扩散、力学性能、变形和强化机制、失效、相图、相变、电性能、材料类型及其应用、材料的合成制备与加工、复合材料、材料的腐蚀与降解、热性能、磁性能、光学性能、材料科学与工程所涉及的经济，环境和社会问题 。 本书内容全面、先进。不仅是材料学科的必修课教材，也是应用物理、化学工业、信息工程、生物工程、电子电工、车辆工程、航空航天等专业的必要补充教材。也可为专业人员提供参考价值。

本书系统地介绍当今自动驾驶领域前沿的技术理论，从自动驾驶的背景知识开始，对软硬件平台、感知、地图、定位、规划决策、控制、仿真和安全等方面展开深入讨论，并介绍自动泊车系统和车联网技术的应用。 全书共15章： 第1章是自动驾驶系统的概述(开发结构、场景分类和数据闭环等)； 第2章简要介绍自动驾驶的基础理论，即计算机视觉和深度学习等； 第3、4章是自动驾驶的软硬件平台分析，包括传感器、计算平台、软件架构和操作系统等； 第5~9章分别介绍自动驾驶的感知、地图、定位、规划和控制模块； 第10章重点介绍自动驾驶的仿真模拟模块； 第11章讨论自动驾驶的安全模型； 第12章讨论自动驾驶的一个特例 自动泊车系统； 第13章介绍车联网技术(车 路协同和车辆编队)； 第14、15章分别介绍最近自动驾驶相关的两个技术热点，即3D场景的神经渲染(以Ne

本书重点介绍了化学储能电池理论能量密度的估算，电池材料缺陷化学，相、相变与相图，电池界面问题，离子在固体中的输运，锂离子电池正极材料、负极材料，非水液体电解质材料，全固态锂离子电池，锂空气电池与锂硫电池，表征方法、电化学测量方法，锂二次电池材料的计算研究。同时对锂离子电池基础研究的科学问题、存在的难点、发展趋势等进行了详尽分析。本书内容详实丰富，涵盖了锂离子电池基础科学的关键问题，兼顾实际工程技术问题，努力为我国锂离子电池产学研从业者提供一本从事该领域工作的工具书。本书适合从事锂电池研发的相关人员参考，也适合作为高等院校相关专业师生的教学参考书。

本书共分10章，具体内容安排如下： □□章 绪论 ，主要概述了无入机的发展历程，阐述了多无人机编队控制、多无人机协同控制与决策、无人机集群协同控制与决策的基本概念和国内外发展现状。 第□章 多无人机编队飞行控制 ，主要建立了无人机的数学模型，阐述了几种典型的飞行控制方法，建立了编队相对运动学模型，研究了编队飞行的队形集结、队形保持、队形重构与编队自适应控制技术。 第3章 多无人机协同航迹规划 ，主要研究了二维空间下的单机航迹规划、多无人机协同离线航迹规划和在线航迹规划，以及三维空间下的多无人机协同航迹规划。 第4章 多无人机协同搜索 ，主要研究了基于滚动时域优化的动态目标协同搜索，以及基于粒子群优化的静止目标协同搜索。 第5章 同构多无人机协同察打 ，主要研究了考虑威胁躲避的协同察打、考虑航程约束的

本书是一部系统介绍螺杆真空泵的专著，全书共分7章，系统阐述了螺杆真空泵在设计、制造、应用各个环节所涉及的基本理论和方法，内容包括螺杆真空泵的抽气原理与特点，螺杆真空泵转子型线设计的基础理论和常用基本型线，螺杆转子的螺旋展开方式与动平衡设计方法，螺杆真空泵的结构设计，泵内气体流动与热力学过程分析，以及螺杆真空泵的典型工程应用。本书理论与实践紧密结合，可作为螺杆真空泵理论研究、设计、生产、销售与维护人员以及螺杆真空泵应用领域工作人员的参考书，也可作为高等学校应用物理、真空技术、流体机械、半导体、新能源等相关专业本科生、研究生的参考资料。

高比能固态锂电池具有高比能、高安全、长使役寿命等特性，解决了传统液态锂电池的续航短、易燃、易爆等问题，是下一代理想的高性能储能电池体系。本书重点对高比能固态锂电池中的关键科学问题和核心技术难题等进行了全面而深入的剖析，涵盖了高比能固态锂电池的电解质材料、正负极材料、黏结剂、工艺和配套设备、界面问题、安全性能评估等内容，兼顾实际工程技术和制造装备等问题，努力为我国高比能固态锂电池产学研从业者提供一本非常实用的工具书。本书适合从事高比能固态锂电池研发的相关人员进行参考，也适合作为高等院校、科研机构等相关专业师生的教学参考书。

为了应对我国在集成电路领域,尤其是光刻技术方面严重落后于发达国家的局面,破解光刻制造设备、材料和光学邻近效应修正软件几乎完全依赖进口的困境,作为从事光刻工艺研发近 20 年的资深研发人员,作 者肩负着协助光刻设备、材料和软件等产业链共同研发和发展的责任,将近 20 年的学习成果和研发经验汇编 成书,建立联系我国集成电路芯片的研发和制造,设备、材料和软件的研发,以及大专院校、科研院所的科学 技术研究、人才培养的一座桥梁。 本书以光刻工艺为主线,有机地将光刻设备、光刻材料、光刻成像的理论计算、光刻工艺中各种建模思想 和推导、芯片制造的技术发展要求以及对光刻工艺各项参数的要求紧密地联系在一起,给读者一个整体的图 景。《衍射极限附近的光刻工艺》可供光刻技术领域科研院所的研究人员、大专院校的教师和学生、集成电路工厂

本书介绍了有机硅偶联剂（硅烷偶联剂、大分子硅偶联剂及硅烷偶联剂衍生物等）的合成及应用的相关知识。具体内容涉及有机硅偶联剂基础知识，合成硅烷偶联剂的基础原料，用于有机硅偶联剂合成的硅氢化反应及其他反应；硅烷偶联剂的重要中间体及重要品种的合成及其特性；大分子硅偶联剂和新型硅偶联剂的合成和特性；有机硅偶联剂用于有机聚合物基复合材料中的原理及应用；以及硅烷化技术在金属表面处理中应用和有机硅偶联剂及其衍生物在各类材料保护中的应用。 本书可供从事有机硅偶联剂研究、生产和拓展应用领域的工程技术人员和管理人员使用，也可供大专院校相关专业师生参考。

本书为配管设计(管道设计)参考书，既有系统的管道应力分析理论知识介绍，又有国内外大、中型工程应用实例，同时能够紧密结合*新的现代化工程技术在管道设计中的应用，介绍了现代计算机技术在配管设计中的应用及提高配管设计工作效率的一些技巧，并结合*新版的国内外标准规范，对配管设计应力分析进行了系统的讲解。 主要章节包括：配管设计应力分析基本概念、特点，计算机辅助应力分析软件，管道系统静力分析，管道系统动力分析，管道抗震设计，管道荷载计算，管道支吊架设计。 本书内容实用、资料新颖、图文并茂，可靠性、权威性、先进性、通俗性相结合，可作为配管设计（管道设计）专业人员的实用技术参考资料和培训教材，也可作为工艺、项目管理、施工等人员的参考用书和高等院校相关专业的实用教学资料。

天然气水合物资源在全球分布广泛、储量丰富，是具有前景的清洁能源。然而目前天然气水合物开采仍面临生产效率低下等技术难题，至今未能实现大规模商业开发。由于天然气水合物分解是多孔介质中复杂的多物理化学问题，从孔隙尺度出发认识水合物分解控制机制，对指导水合物高效开采具有重要意义。《天然气水合物分解多物理化学场耦合机理的孔隙尺度研究》针对天然气水合物分解过程，开展了孔隙尺度研究，分析了水合物分解过程多物理化学场控制机制，推动了水合物分解过程的尺度升级研究，为实现天然气水合物高效开发提供了理论基础。 《天然气水合物分解多物理化学场耦合机理的孔隙尺度研究》立足水合物分解过程中的热质传递规律这一科学问题，聚焦水合物开采前沿技术领域，适合从事能源工程、油藏工程等相关领域的读者阅读。

示波器是*广泛使用的电子测量仪器。经过近一个世纪的持续技术革新，现代数字示波器已经是结合了*材料、芯片、计算机、信号处理技术的复杂测量系统。本书结合笔者近20年实际应用经验，对现代数字示波器的原理、测量方法、测量技巧、实际案例等做了深入浅出的解读和分析。本书分为三大部分： 第1~8章介绍现代测量仪器的发展、数字示波器原理、主要指标、测量精度、探头分类及原理、探头对测量的影响、触发条件、数学函数功能等内容； 第9~19章结合实际案例，介绍示波器在信号完整性分析、电源测试、时钟测试、射频测试、宽带信号解调、总线调试、芯片测试中的实际应用案例； 第20~29章侧重高速总线的一致性测试，介绍数字总线，如PCIe 3.0/4.0、SATA、SAS 12G、DDR3/4、10G以太网、CPRI接口、100G背板、100G光模块、400G以太网/PAM4信号的原理及测试方法。本书可

《工业合成生物学》系统梳理了工业合成生物学领域主要产品的发展现状与未来趋势。《工业合成生物学》共分为十章，在概述工业合成生物学发展概况的基础上，重点围绕八类具有代表性的产品展开深入探讨，包括氨基酸、有机酸、维生素、有机醇、长链脂肪酸、芳香族化合物、健康糖与甜味剂、甾体药物。这些产品也是当前工业合成生物学研究*具代表性的产品类型。通过对这些典型产品的合成生物学研究进展进行系统阐述，旨在为其他产品类型的工业化开发提供有益借鉴和参考。

"本书根据作者多年来的压力管道设计切身工作经验和体会，结合国内外大、中型工程典型压力管道设计实例和现代化工程新技术，由浅入深详细介绍了压力管道设计方法，特别分析比较了国内外新版标准规范，突出介绍了现代计算机技术在压力管道工程设计中的应用及技巧，并结合工程实例对压力管道设计进行了系统的讲解。 本书内容包括：压力管道基础知识、计算机辅助压力管道设计软件、材料基础知识、压力管道器材及其选择、装置设备布置、管道布置、压力管道的隔热和防腐蚀、长输管道和公用管道设计、应力分析和管道支吊架、压力管道设计计算机制图与建模、压力管道施工与检验、专业与项目管理。 本书与《工业管道配管设计与工程应用》、《管道应力分析与工程应用》、《管道器材选用与工程应用》可配套使用。本书内容实用，资料新颖，可作为

光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，在模拟半导体、发光二极管、微机电系统、太阳能光伏、微流道和生物芯片、光电子器件/光子器件中都有重要的应用。本书从光刻技术基础知识出发，系统介绍了多种类型光刻胶应用工艺、评测技术。具体包括光刻胶涂布、曝光工艺、曝光后烘烤和显影技术，以及g线和i线光刻胶、KrF和ArF光刻胶、ArF浸没式光刻胶、EUV光刻胶等的特征、应用工艺及评测技术，希望对国内的研究人员有很好的启发和指导意义。

《现代光学设计》分2篇共30章，详细介绍了现代光学设计的方法和要点。本书上篇为光学设计基础，包括光学设计概述、Zemax软件概述、光路计算、光学材料、塞德像差理论、波像差理论、Buchdahl公式、像质评价、消色差、光学自动设计等内容；下篇为光学系统设计，引入了大量的设计实例，介绍了各类常见光学镜头及系统设计方法，包括望远物镜、显微物镜、目镜、照相物镜、投影和照明系统、变焦距系统、红外物镜、折反系统、激光光学系统、折衍混合光学系统等，后还介绍了光学制图等知识。 本书将光学设计理论与光学软件Zemax设计实例结合，内容由浅入深，讲解清晰易懂，可供光学设计师、工程师参考与自学，也可供高校光电信息类专业师生使用。

本书在中国工程院战略性新兴产业项目组13年持续研究基础上，面向未来战略性新兴产业的创新发展，把握新发展阶段的历史方位，以党的二十大报告中“推动战略性新兴产业融合集群发展”“推动创新链产业链资金链人才链深度融合”（“四链”深度融合）的要求为战略指引，为战略性新兴产业高质量发展提供咨询建议。报告分为综合篇、产业篇、政策篇三大部分，共计13章。综合篇对战略性新兴产业“四链”融合现状进行梳理，并对“四链”深度融合下战略性新兴产业高质量发展策略进行剖析。产业篇围绕新一代信息技术产业、生物产业、能源新技术产业、新材料产业、高端装备制造产业、智能网联新能源汽车产业、节能环保产业及新兴服务业八大战略性新兴产业重点发展领域，重点分析“四链”深度融合下战略性新兴产业高质量发展中面临的重大问题，并提出

《摩擦纳米发电机在工程技术中的应用》是一部系统阐述摩擦纳米发电机（TENG）这一颠覆性能源技术的著作。作为能源与传感领域的前沿突破，摩擦纳米发电机技术为未来科技发展开辟了全新路径。《摩擦纳米发电机在工程技术中的应用》*次从工程应用视角，全方位呈现了该技术的理论体系与实践成果。《摩擦纳米发电机在工程技术中的应用》共12章，内容涵盖技术原理与工程应用两大维度。在理论层面，详细阐述了摩擦纳米发电机的工作原理、高熵能源俘获机制、自驱动传感技术及能量管理策略等核心内容。在应用层面，系统梳理了该技术在多个战略性领域的*新进展，包括机械工程智能化、绿色交通系统、智能建筑监测、智慧电网、海洋资源开发、灾害预警与防控、精密测绘技术及生物医学工程等跨学科应用。

本书系统全面地阐述了真空镀膜技术的基本理论知识体系以及各种真空镀膜方法、设备及工艺。对的薄膜类型、性能检测及评价、真空镀膜技术及装备等内容也进行了详细的介绍，如金刚石薄膜的应用及大面积制备技术、工艺、性能评价等。 本书叙述深入浅出，内容丰富而精炼，工程实践性强，在强化理论的同时，重点突出了工程应用，具有很强的实用性，通俗易懂、简单易学。 本书适用于从事真空镀膜技术、薄膜与表面工程、材料工程等领域相关研究、设计、设备操作及维护工作的技术人员，也可以作为与真空镀膜技术有关的研究人员和真空专业的本科生、研究生教材及参考书使用。

本书共29章,涵盖了真空工程设计的各个领域。包括真空概论;真空技术的物理基础; 真空获得技术与设备;真空工程中制冷低温技术应用基础;真空度测量仪器;低温测试技术;真空与低温技术中的热计算基础;真空管路的流导计算;真空系统的设计;真空与低温容器设计;真空容器的分析设计;真空与低温阀门及法兰;真空运动传动机构;真空工程元件;真空工程材料;容器检漏;真空低温工程中的焊接技术;真空清洁处理;航天器空间环境与设备;航天器空间热环境试验设备设计；真空热处理设备设计；真空薄膜沉积；离子注入改性；真空保鲜食品及真空包装机；各类真空应用装置以及真空工程基础数据。 本书可供各科学技术领域从事真空工程设计、研究、应用的科技人员使用,亦可供高等院校相关专业师生参考。

本书全面系统地介绍了增材制造技术的原理与方法。其主要内容包括增材制造技术概述，常用增材制造技术的核心元器件、激光选区烧结、激光选区熔化、液态树脂光固化成形、熔丝沉积成形、激光近净成形、电弧金属丝材增材制造等技术，以及这些技术的应用案例。本书具有系统性、全面性、普遍性和新颖性，图文并茂，既有理论研究，也有实际应用，是一本对增材制造技术的研究和应用极具实用价值的参考书。

本书以面向新型热管理应用的智能导热材料为目标，根据当今智能导热材料的发展现状，从材料的概念、传热原理、结构设计及应用等角度展开介绍。