本书为引进译著。作者全面梳理并总结了其团队在光学制造方面的研究结果。全书包括两大部分:第Ⅰ部分基本相互作用 材料科学,从摩擦学、流体动力学、固体力学、断裂力学、电化学等光学制造的基础理论出发,系统分析了从宏观到微观的材料去除过程,定量描述了光学制造中不同工艺参数与光学元件性能之间的关系。第Ⅱ部分应用 材料技术,详细叙述了工程应用的光学制造,汇总了现代光学制造中缺陷的检测和评价方法,剖析了多方面工艺优化的可行性,说明了各类新的抛光技术;针对高能激光系统要求的高损伤阈值光学元件,书末还给出了高能激光元件制作的关键工艺实例。 本书既是光学制造理论的梳理,也是现代光学制造技术与应用的汇总,涵盖了从光学制造工艺到光学元件性能评价等多方面的理论与实践,是一部兼具理论、方法和实际应用价值的
光刻技术是所有微纳器件制造的核心技术。特别是在集成电路制造中,正是由于光刻技术的不断提高才使得摩尔定律(器件集成度每两年左右翻一番)得以继续。本书覆盖现代光刻技术的主要方面,包括设备、材料、仿真(计算光刻)和工艺,内容直接取材于 集成电路制造技术,为了保证 性,特别侧重于 32nm 节点以下的技术。书中引用了很多工艺实例,这些实例都是经过生产实际验证的,希望能对读者有所启发。
本书是一部论述GaAs基光电阴极的专著,是作者承担国家科研项目的总结。全书共12章,介绍三代微光像增强器、数字微光器件与电子源、GaAs基光电阴极的发展概况;研究GaAs光电阴极的光电发射与光谱响应理论、多信息量测控与评估系统、激活工艺及其优化;研究GaAs基光电阴极中电子与原子结构;提出变组分变掺杂GaAs基光电阴极物理概念,探索反射式和透射式变掺杂宽带响应GaAs、窄带响应GaAlAs和近红外响应InGaAs光电阴极理论,在微光像增强器中进行实践,并分析GaAs光电阴极及像增强器的分辨力;*后针对新一代微光像增强器研究,对GaAs基光电阴极的相关研究进行回顾与展望。